公开(公告)号：CN220290757U

公开(公告)日：2024-01-02

申请号：CN202320872059.4

申请日：2023-04-14

申请人： 杭州众硅电子科技有限公司

发明人： 傅棽

IPC分类号： H01L21/66 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/687 ,  B08B13/00 ,  G01V8/10

摘要： 本实用新型公开了一种用于半导体清洗单元的晶圆有无检测装置，包括：第一传输机构，设于清洗箱一侧，并沿清洗箱的排布方向延伸；两个及以上的第二传输机构，可沿第一传输机构移动；机械手，活动设于第二传输机构，用于取放晶圆；检测机构，与机械手对应设置，包括分别设于机械手两侧的发射端和接收端，发射端和接收端的连线与机械手上夹持的晶圆相垂直，且发射端和/或接收端设于第二传输机构。本实用新型机械手和检测机构对应设置，能够实现多个机械手同时到清洗箱内取放晶圆时分别检测而互不干扰，检测独立性强，检测成功率高；结构简单高效，节省成本；光信号能够垂直打在晶圆上，误报率低；可实现机械手带着晶圆的翻转动作，方便后续工艺。

公开(公告)号：CN219040433U

公开(公告)日：2023-05-16

申请号：CN202222854675.5

申请日：2022-10-26

申请人： 杭州众硅电子科技有限公司

发明人： 傅棽 ,  杨哲

IPC分类号： H01L21/677 ,  G01V9/00 ,  G01V8/20

摘要： 本实用新型公开了一种晶圆有无检测的提拉结构机械手，包括机械手本体，其具有提拉臂，由提拉臂围设形成的弧形缺口部，及位于弧形缺口部底部的开口端，弧形缺口部的内径与晶圆的外径适配，开口端的宽度小于晶圆的外径，晶圆进入弧形缺口部所在平面后，机械手和晶圆相对平移，可使得晶圆垂直挂设在开口端；机械手本体设有至少一传感器，以用于实时检测晶圆是否挂设在开口端。本实用新型通过直接在机械手本体上安装各种类型传感器，能够在多机械手传输晶圆的复杂情况下实时且可靠地检测每个晶圆传输手是否存在晶圆，杜绝了传感器与机械传动结构的互相干扰，提高了可靠性；无需安装辅助检测结构，大大简化了安装调试的便捷性。