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公开(公告)号：CN115308140A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202211239231.9
申请日：2022-10-11
申请人： 杭州众硅电子科技有限公司
IPC分类号： G01N21/25 , G01N21/01 , B24B37/013
摘要： 本发明公开了一种化学机械抛光的在线监测装置，设于抛光盘内，可随抛光盘转动；其包括光源；光学镜组，用于接收光源发出的光束，产生准直光束；光路转折单元，用于接收准直光束，将其形成入射光路，入射光路透过抛光盘的通光窗口，照射至抛光盘上的晶圆表面，晶圆表面将入射光路反射后经过光路转折单元形成出射光路；探测器，用于接收出射光路，以获取对应的光谱信息，确定晶圆抛光的终点。本发明采用光学镜组缩束准直的方式耦合光源，解决了传统光纤耦合导致的光源光强利用率低的问题；采用信号控制方式调节光源并实时监测光强，保证测量信号的稳定性，提升探测精度，延长光源的使用寿命。
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公开(公告)号：CN114083427A
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN202210077397.9
申请日：2022-01-24
申请人： 杭州众硅电子科技有限公司
IPC分类号： B24B37/005 , B24B49/12 , B24B37/26 , H01L21/66
摘要： 本发明公开了一种抛光垫表面状况在线检测方法，包括以下步骤：光学传感器在抛光垫上方移动，以获取光学传感器与抛光垫表面的距离信息；根据测得的距离信息，区分抛光垫表面液体的分布情况，对应使用不同的修正计算公式，计算得到抛光垫表面沟槽的深度值；将抛光垫表面沟槽修正后的深度值与预设阈值比较，判断抛光垫上的沟槽深度状况，以确定抛光垫是否需要更换。本发明还公开了一种抛光垫表面状况在线检测系统。本发明依靠光学传感器非接触在线测量抛光垫表面状态，防止了接触检测对抛光垫表面可能造成的损害，在线的测量使得抛光垫表面状态的监测及时，能够准确而高效的实现对抛光垫表面状态的检测，检测的时效性更强，测量精确。
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公开(公告)号：CN117182761A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311239658.3
申请日：2023-09-22
申请人： 杭州众硅电子科技有限公司
IPC分类号： B24B37/013 , B24B37/00 , B24B49/12
摘要： 本发明公开了一种化学机械抛光的在线监测装置，设于抛光盘内，可随抛光盘转动，其包括光源；光学镜组，用于接收光源发出的光束，产生准直光束；反射单元，用于接收准直光束并将其反射形成入射光路；检测探头，设于抛光垫的通光窗口下方，其包括石英导光管和单芯光纤，石英导光管用于接收入射光路，并将其从检测探头靠近晶圆的一端出射，单芯光纤用于接收经过晶圆表面反射的出射光路；探测器，与单芯光纤连接，用于接收出射光路，以获取对应的光谱信息，确定晶圆抛光的终点。本发明从光源到检测探头的光源光路采用自由空间传播，从检测探头到探测器的信号光路采用光纤传播，两种光束的传播方式依靠检测探头的设计得以良好过渡，实现高精度检测。
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公开(公告)号：CN114083427B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202210077397.9
申请日：2022-01-24
申请人： 杭州众硅电子科技有限公司
IPC分类号： B24B37/005 , B24B49/12 , B24B37/26 , H01L21/66
摘要： 本发明公开了一种抛光垫表面状况在线检测方法，包括以下步骤：光学传感器在抛光垫上方移动，以获取光学传感器与抛光垫表面的距离信息；根据测得的距离信息，区分抛光垫表面液体的分布情况，对应使用不同的修正计算公式，计算得到抛光垫表面沟槽的深度值；将抛光垫表面沟槽修正后的深度值与预设阈值比较，判断抛光垫上的沟槽深度状况，以确定抛光垫是否需要更换。本发明还公开了一种抛光垫表面状况在线检测系统。本发明依靠光学传感器非接触在线测量抛光垫表面状态，防止了接触检测对抛光垫表面可能造成的损害，在线的测量使得抛光垫表面状态的监测及时，能够准确而高效的实现对抛光垫表面状态的检测，检测的时效性更强，测量精确。
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公开(公告)号：CN220902928U
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202322600970.2
申请日：2023-09-22
申请人： 杭州众硅电子科技有限公司
IPC分类号： B24B37/013 , B24B37/00 , B24B49/12
摘要： 本实用新型公开了一种化学机械抛光的在线监测装置，设于抛光盘内，可随抛光盘转动，包括光源；光学镜组，用于接收光源发出的光束，产生准直光束；反射单元，用于接收准直光束并将其反射形成入射光路；检测探头，设于抛光垫通光窗口下方，包括石英导光管和单芯光纤，石英导光管用于接收入射光路，并将其从检测探头靠近晶圆的一端出射，单芯光纤用于接收经过晶圆表面反射的出射光路；探测器，与单芯光纤连接，用于接收出射光路，以获取对应的光谱信息，确定晶圆抛光的终点。本实用新型从光源到检测探头的光源光路采用自由空间传播，从检测探头到探测器的信号光路采用光纤传播，两种光束的传播方式依靠检测探头的设计得以良好过渡，实现高精度检测。
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公开(公告)号：CN219666220U
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202320163700.7
申请日：2023-01-13
申请人： 杭州众硅电子科技有限公司
IPC分类号： B24B37/013 , H01L21/306 , H01L21/66
摘要： 本实用新型公开了一种化学机械抛光的在线监测装置，设于抛光盘内，可随抛光盘转动；其包括光源；光学镜组，用于接收光源发出的光束，产生准直光束；光路转折单元，用于接收准直光束，将其形成入射光路，入射光路透过抛光盘的通光窗口，照射至抛光盘上的晶圆表面，晶圆表面将入射光路反射后经过光路转折单元形成出射光路；探测器，用于接收出射光路，以获取对应的光谱信息，确定晶圆抛光的终点。本实用新型采用光学镜组缩束准直的方式耦合光源，解决了传统光纤耦合导致的光源光强利用率低的问题；采用信号控制方式调节光源并实时监测光强，保证测量信号的稳定性，提升探测精度，延长光源的使用寿命。
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公开(公告)号：CN219040433U
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202222854675.5
申请日：2022-10-26
申请人： 杭州众硅电子科技有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , G01V9/00 , G01V8/20
摘要： 本实用新型公开了一种晶圆有无检测的提拉结构机械手，包括机械手本体，其具有提拉臂，由提拉臂围设形成的弧形缺口部，及位于弧形缺口部底部的开口端，弧形缺口部的内径与晶圆的外径适配，开口端的宽度小于晶圆的外径，晶圆进入弧形缺口部所在平面后，机械手和晶圆相对平移，可使得晶圆垂直挂设在开口端；机械手本体设有至少一传感器，以用于实时检测晶圆是否挂设在开口端。本实用新型通过直接在机械手本体上安装各种类型传感器，能够在多机械手传输晶圆的复杂情况下实时且可靠地检测每个晶圆传输手是否存在晶圆，杜绝了传感器与机械传动结构的互相干扰，提高了可靠性；无需安装辅助检测结构，大大简化了安装调试的便捷性。
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