公开(公告)号：CN118293787B

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202410721297.4

申请日：2024-06-05

Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司

Inventor： 杨甬英 ,  江佳斌 ,  曹频 ,  胡殿浒

IPC: G01B9/02015 ,  G01B9/02 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种基于四波共路干涉的球面动态干涉仪及其检测方法。本发明利用一个组合的双干涉系统，包括泰曼格林干涉系统和四波共路干涉系统；其中泰曼格林干涉系统用于对整个光路中的被检镜进行调整，实现消球差镜的焦点与被检面的球心重合的光路对准调整，不做检测。待调整完成后，另一组四波共路干涉系统对被检镜的被检面的波前图像进行采集，具体是利用具有随机编码混合光栅的四波干涉传感器，获取稳定的被检测球面的波前信息，从而隔离外界的振动影响，本发明既能够实现必要的光路对准调整，又能够有效去除外界的振动影响，实现高精度的精密被检面的面形检测。

公开(公告)号：CN118293787A

公开(公告)日：2024-07-05

申请号：CN202410721297.4

申请日：2024-06-05

Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司

Inventor： 杨甬英 ,  江佳斌 ,  曹频 ,  胡殿浒

IPC: G01B9/02015 ,  G01B9/02 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种基于四波共路干涉的球面动态干涉仪及其检测方法。本发明利用一个组合的双干涉系统，包括泰曼格林干涉系统和四波共路干涉系统；其中泰曼格林干涉系统用于对整个光路中的被检镜进行调整，实现消球差镜的焦点与被检面的球心重合的光路对准调整，不做检测。待调整完成后，另一组四波共路干涉系统对被检镜的被检面的波前图像进行采集，具体是利用具有随机编码混合光栅的四波干涉传感器，获取稳定的被检测球面的波前信息，从而隔离外界的振动影响，本发明既能够实现必要的光路对准调整，又能够有效去除外界的振动影响，实现高精度的精密被检面的面形检测。