公开(公告)号：CN111477699A

公开(公告)日：2020-07-31

申请号：CN202010296965.5

申请日：2020-04-16

申请人： 杭州紫芯光电有限公司

发明人： 郭道友 ,  王顺利 ,  贺晨冉 ,  陶江伟 ,  张丽滢 ,  常裕鑫

IPC分类号： H01L31/0224 ,  H01L31/032 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/036 ,  H01L31/109 ,  H01L31/18 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

摘要： 本发明属于光电转换技术领域，具体涉及一种基于α-Ga2O3/TiO2异质结的日盲紫外探测器及其制备方法，所述探测器从下至上包含透明导电衬底、α-Ga2O3/TiO2异质结光敏层、石墨烯-银纳米线透明电极层和第一金属电极层，还包括设置于透明导电衬底上的第二金属电极层；所述α-Ga2O3/TiO2异质结光敏层包括若干阵列分布的α-Ga2O3/TiO2异质结纳米柱，α-Ga2O3/TiO2异质结纳米柱包括内核α-Ga2O3纳米柱、包覆于所述内核α-Ga2O3纳米柱侧壁和靠近所述石墨烯-银纳米线透明电极层一端的TiO2层。本发明的探测器利用α-Ga2O3/TiO2异质结促进了光生载流子的自动分离，以石墨烯-银纳米线复合膜做透明上电极，大大提高了探测器的有效光照面积，从而获得高的光响应度。

公开(公告)号：CN111477699B

公开(公告)日：2022-03-29

申请号：CN202010296965.5

申请日：2020-04-16

申请人： 杭州紫芯光电有限公司

发明人： 郭道友 ,  王顺利 ,  贺晨冉 ,  陶江伟 ,  张丽滢 ,  常裕鑫

IPC分类号： H01L31/0224 ,  H01L31/032 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/036 ,  H01L31/109 ,  H01L31/18 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

摘要： 本发明属于光电转换技术领域，具体涉及一种基于α‑Ga2O3/TiO2异质结的日盲紫外探测器及其制备方法，所述探测器从下至上包含透明导电衬底、α‑Ga2O3/TiO2异质结光敏层、石墨烯‑银纳米线透明电极层和第一金属电极层，还包括设置于透明导电衬底上的第二金属电极层；所述α‑Ga2O3/TiO2异质结光敏层包括若干阵列分布的α‑Ga2O3/TiO2异质结纳米柱，α‑Ga2O3/TiO2异质结纳米柱包括内核α‑Ga2O3纳米柱、包覆于所述内核α‑Ga2O3纳米柱侧壁和靠近所述石墨烯‑银纳米线透明电极层一端的TiO2层。本发明的探测器利用α‑Ga2O3/TiO2异质结促进了光生载流子的自动分离，以石墨烯‑银纳米线复合膜做透明上电极，大大提高了探测器的有效光照面积，从而获得高的光响应度。

公开(公告)号：CN111463297B

公开(公告)日：2021-10-12

申请号：CN202010297420.6

申请日：2020-04-16

申请人： 杭州紫芯光电有限公司

发明人： 陶江伟 ,  王顺利 ,  张丽滢 ,  徐金阳 ,  郭道友 ,  常裕鑫

IPC分类号： H01L31/0224 ,  H01L31/032 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/036 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/0203 ,  H01L31/109 ,  H01L31/18 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

摘要： 本发明涉及一种基于柔性钛金属丝/氧化镓纳米阵列的日盲紫外探测器及其制备方法，探测器从下至上依次包括下PE保护膜、柔性Ti金属丝下电极、TiO2/β‑Ga2O3纳米柱阵列、石墨烯/Ag纳米线复合电极、Ag上电极以及上PE保护膜，其中柔性Ti金属丝为圆柱体，且所述Ti金属丝外部有TiO2，β‑Ga2O3纳米柱位于所述TiO2顶部，形成TiO2/β‑Ga2O3纳米柱阵列。本发明的PN结结构日盲紫外探测器，具有三维空间结构，柔性可弯曲，日盲特性稳定，重复性良好，具有优异的化学和热稳定性，封装后的器件与衬底结合力强，可大面积制备，重复性好，有望在可穿戴、便捷式的紫外探测器领域广泛应用。

公开(公告)号：CN111463297A

公开(公告)日：2020-07-28

申请号：CN202010297420.6

申请日：2020-04-16

申请人： 杭州紫芯光电有限公司

发明人： 陶江伟 ,  王顺利 ,  张丽滢 ,  徐金阳 ,  郭道友 ,  常裕鑫

IPC分类号： H01L31/0224 ,  H01L31/032 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/036 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/0203 ,  H01L31/109 ,  H01L31/18 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

摘要： 本发明涉及一种基于柔性钛金属丝/氧化镓纳米阵列的日盲紫外探测器及其制备方法，探测器从下至上依次包括下PE保护膜、柔性Ti金属丝下电极、TiO2/β-Ga2O3纳米柱阵列、石墨烯/Ag纳米线复合电极、Ag上电极以及上PE保护膜，其中柔性Ti金属丝为圆柱体，且所述Ti金属丝外部有TiO2，β-Ga2O3纳米柱位于所述TiO2顶部，形成TiO2/β-Ga2O3纳米柱阵列。本发明的PN结结构日盲紫外探测器，具有三维空间结构，柔性可弯曲，日盲特性稳定，重复性良好，具有优异的化学和热稳定性，封装后的器件与衬底结合力强，可大面积制备，重复性好，有望在可穿戴、便捷式的紫外探测器领域广泛应用。

公开(公告)号：CN112635587A

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN202011629182.0

申请日：2020-12-30

申请人： 杭州紫芯光电有限公司

发明人： 王顺利 ,  陶江伟 ,  张丽滢 ,  徐金阳 ,  郭道友 ,  常裕鑫

IPC分类号： H01L31/0224 ,  H01L31/032 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/036 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/109 ,  H01L31/18 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

摘要： 本发明涉及一种基于TiO2/Ga2O3纳米相结的柔性日盲紫外探测器及其制备方法，探测器包括Ag上电极，柔性钛片下电极，位于所述Ag上电极和所述柔性钛片下电极之间的TiO2/α/β‑Ga2O3相结纳米柱阵列和石墨烯/Ag纳米线复合电极，其中，柔性钛片作为柔性钛片衬底；所述TiO2/α/β‑Ga2O3相结纳米柱阵列包括位于所述柔性钛片衬底上TiO2层，位于所述TiO2层上的α/β‑Ga2O3相结纳米柱阵列，所述α/β‑Ga2O3相结纳米柱阵列包括若干间隔设置的α/β‑Ga2O3相结纳米柱；所述石墨烯/Ag纳米线复合电极位于所述α/β‑Ga2O3相结纳米柱背离所述TiO2层一端，所述Ag上电极部分覆盖所述石墨烯/Ag纳米线复合电极。本发明的多异质结结构日盲紫外探测器，日盲特性稳定，具有优异的化学和热稳定性，有望在可穿戴、便捷式的紫外探测器领域广泛应用。