公开(公告)号：CN105228965B

公开(公告)日：2018-01-05

申请号：CN201480026612.6

申请日：2014-05-09

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 岛田和哉 ,  爱甲雅彦 ,  铃木靖纪 ,  家田智之 ,  深谷泰史 ,  三好雄三 ,  清水勇斗

IPC: C03C15/00 ,  C02F1/58 ,  C02F1/60

Abstract: 用以氢氟酸为主要成分的研磨液研磨铝硼硅酸盐玻璃时在玻璃表面上、研磨装置的贮存部以及配管内产生泥污、品质劣化、装置停止这些问题。本发明的玻璃研磨方法的特征在于，其为用包含氢氟酸的研磨液研磨含Al玻璃的方法，其具有：使研磨前述玻璃之后的使用后研磨液中的溶解Al固体化得到反应后研磨液的工序；将前述反应后研磨液固液分离得到再生研磨液的工序；和用前述再生研磨液研磨前述玻璃的工序，通过强制地固体化、去除作为泥污原因物质的Al‑F络合物从而即便循环使用研磨液也可以使得玻璃表面、研磨装置各部的泥污的产生得以抑制。

公开(公告)号：CN105228965A

公开(公告)日：2016-01-06

申请号：CN201480026612.6

申请日：2014-05-09

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 岛田和哉 ,  爱甲雅彦 ,  铃木靖纪 ,  家田智之 ,  深谷泰史 ,  三好雄三 ,  清水勇斗

IPC: C03C15/00 ,  C02F1/58 ,  C02F1/60

Abstract: 用以氢氟酸为主要成分的研磨液研磨铝硼硅酸盐玻璃时在玻璃表面上、研磨装置的贮存部以及配管内产生泥污、品质劣化、装置停止这些问题。本发明的玻璃研磨方法的特征在于，其为用包含氢氟酸的研磨液研磨含Al玻璃的方法，其具有：使研磨前述玻璃之后的使用后研磨液中的溶解Al固体化得到反应后研磨液的工序；将前述反应后研磨液固液分离得到再生研磨液的工序；和用前述再生研磨液研磨前述玻璃的工序，通过强制地固体化、去除作为泥污原因物质的Al-F络合物从而即便循环使用研磨液也可以使得玻璃表面、研磨装置各部的泥污的产生得以抑制。