公开(公告)号：CN103688222A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201180071024.0

申请日：2011-10-06

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 渊上真一郎 ,  山口典生 ,  爱甲雅彦 ,  清水巧治 ,  竹泽浩义

IPC: G03F7/42 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/422 ,  G03F7/425 ,  H01L21/31133

Abstract: 本发明提供一种使用光致抗蚀剂的剥离液的剥离液循环系统；在湿法蚀刻大面积的基板上的Cu膜或Cu合金膜从而进行布线等时，该光致抗蚀剂的剥离液能够不损害Cu膜地进行剥离并且不降低与Cu膜上所沉积的层之间的粘接力。该剥离液循环系统具有：抗蚀剂剥离装置，重复使用包含含有主剂、极性溶剂和水的混合液以及抗蚀剂成分的剥离液，剥离液中的抗蚀剂浓度达到规定的值时，将剥离液的一部分从排出管排出，接受新的剥离液的供给；废液罐；蒸馏再生装置，蒸馏废液罐中的剥离液；成分检测装置，检测前述分离液中的主剂和极性溶剂的组成比率；调和装置，追加不足部分的主剂、极性溶剂和水使得分离液的主剂和极性溶剂以及水的比率达到预定的比率，调制混合液；供给罐，储存混合液。

公开(公告)号：CN110536730B

公开(公告)日：2021-12-03

申请号：CN201880014598.6

申请日：2018-11-02

Applicant: 瑞环控股有限公司 ,  松下电器产业株式会社

Inventor： 小田昭昌 ,  铃木崇夫 ,  石泽英树 ,  增田义登 ,  宝木雅人 ,  清水巧治

IPC: B01D3/14 ,  B01D3/42 ,  C02F1/04

Abstract: 本发明的课题在于，提供即使被处理液的不挥发性成分析出也能够发挥优异的处理效率的溶液处理装置和溶液处理方法。本发明的溶液处理装置(1A)的特征在于，其具备：第1气液分离单元(10)，其将被处理液(L1)加热、使蒸气馏出并且使所保持的浓缩液的一部分出罐；第2气液分离单元(20)，其将从前述第1气液分离单元(10)出罐的浓缩液加热、使蒸气馏出并且使所保持的浓缩液的一部分出罐；以及，控制单元(30)，其控制前述第1气液分离单元(10)，以使在前述第1气液分离单元(10)中被处理液(L1)中含有的不挥发性成分不析出，前述第2气液分离单元(20)的作为将浓缩液加热的部位且与浓缩液接触的接液部位对不挥发性成分呈耐附着性。

公开(公告)号：CN110536730A

公开(公告)日：2019-12-03

申请号：CN201880014598.6

申请日：2018-11-02

Applicant: 瑞环控股有限公司 ,  松下电器产业株式会社

Inventor： 小田昭昌 ,  铃木崇夫 ,  石泽英树 ,  增田义登 ,  宝木雅人 ,  清水巧治

IPC: B01D3/14 ,  B01D3/42 ,  C02F1/04

Abstract: 本发明的课题在于，提供即使被处理液的不挥发性成分析出也能够发挥优异的处理效率的溶液处理装置和溶液处理方法。本发明的溶液处理装置(1A)的特征在于，其具备：第1气液分离单元(10)，其将被处理液(L1)加热、使蒸气馏出并且使所保持的浓缩液的一部分出罐；第2气液分离单元(20)，其将从前述第1气液分离单元(10)出罐的浓缩液加热、使蒸气馏出并且使所保持的浓缩液的一部分出罐；以及，控制单元(30)，其控制前述第1气液分离单元(10)，以使在前述第1气液分离单元(10)中被处理液(L1)中含有的不挥发性成分不析出，前述第2气液分离单元(20)的作为将浓缩液加热的部位且与浓缩液接触的接液部位对不挥发性成分呈耐附着性。