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公开(公告)号：CN1115555C
公开(公告)日：2003-07-23
申请号：CN97111442.0
申请日：1997-05-22
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01N21/8903
Abstract: 本发明是使用光的缺陷检查方法及其检查装置。用由半导体激光一维配置的列状光源和投影透镜在被检查物体上进行强度变化的虚线状照明。用线状传感器通过物镜摄像。接着一边用试样台使被检查物体依序移动一边通过用线状传感器的信号和试样台的信号形成图像的前处理部向图象处理部输入图像信号并进行图象处理，以此可以检测被检查物体上的光学不均匀部分，确认有否裂纹缺陷。以此方法可高精度、高速度地检测陶瓷基板和金属烧结材料等的裂纹缺陷。
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公开(公告)号：CN1093264C
公开(公告)日：2002-10-23
申请号：CN96106812.4
申请日：1996-06-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G02B5/18
CPC classification number: G02B5/1871 , G02B27/46 , Y10S359/90
Abstract: 一种其凹部基本上为矩形形状的相位光栅，光栅深度比通过等式：|n-n0|×(p-d′/e)/p×d′＝(λ/2)×(1+2m)，(其中，m＝0，±1，±2，…)计算得到的深度d′为更深一个规定范围内的值，所述深度d′取决于因相位光栅的衍射产生部分干涉的光的波长λ、相位光栅的间距长度p、相位光栅之基料的折射率n、相位光栅周围介质的折射率n0、以及作为光栅深度与光栅凹部斜面宽度之比的形态比e。
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公开(公告)号：CN1064757C
公开(公告)日：2001-04-18
申请号：CN96110780.4
申请日：1996-06-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01N21/23
Abstract: 将液晶层3设在平行或正交尼科尔棱镜的两个偏振片2、6之间，并在其间放置一相移片4使第一偏振片透射方向与光轴一致，再测量第二偏振片透射光强为极限值时的旋转角度，并按相移片旋转角度计算双折射层的厚度。另一方法采用了一个半波片，首先将液晶层设在光强为极限值的位置，调整两个偏振片间的半波片使第一偏振片透镜方向与光轴一致，然后测量当第二偏振片透射光强度为极限值时的半波片旋转角度，再根据该角度计算双折射层厚度。
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公开(公告)号：CN102007392B
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201080001377.9
申请日：2010-01-21
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01M11/0228
Abstract: 本发明提供一种折射率测定装置。以将被检物(23)夹在中间的方式配置两个探针光学系统(22、24)以便用于测定被检物(23)，由此，利用该被检物的干涉信号算出通过局部确定的被检物中的光的光程长度，而且，通过测定探针光学系统的位置而算出该部分的几何厚度，求出光程长度和几何厚度这两个值，并基于这些值和基准物的计算值，求出被检物的折射率分布。
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公开(公告)号：CN1182211A
公开(公告)日：1998-05-20
申请号：CN97111442.0
申请日：1997-05-22
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01N21/8903
Abstract: 本发明是使用光的缺陷检查方法及其检查装置。用由半导体激光一维配置的列状光源和投影透镜在被检查物体上进行强度变化的虚线状照明。用线状传感器通过物镜摄像。接着一边用试样台使被检查物体依序移动一边通过用线状传感器的信号和试样台的信号形成图像的前处理部向图象处理部输入图像信号并进行图象处理,以此可以检测被检查物体上的光学不均匀部分,确认有否裂纹缺陷。以此方法可高精度、高速度地检测陶瓷基板和金属烧结材料等的裂纹缺陷。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1170139A
公开(公告)日：1998-01-14
申请号：CN96106812.4
申请日：1996-06-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G02B5/18
CPC classification number: G02B5/1871 , G02B27/46 , Y10S359/90
Abstract: 一种其凹部基本上为矩形形状的相位光栅,光栅深度比通过等式:丨n－no丨×(p－d′/e)/p×d′=(λ/2)×(1+2m),(其中,m=0,±1,±2,…)计算得到的深度d′为更深一个规定范围内的值,所述深度d′取决于因相位光栅的衍射产生部分干涉的光的波长λ、相位光栅的间距长度p、相位光栅之基料的折射率n、相位光栅周围介质的折射率no、以及作为光栅深度与光栅凹部斜面宽度之比的形态比e。
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公开(公告)号：CN1155652A
公开(公告)日：1997-07-30
申请号：CN96110780.4
申请日：1996-06-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01B11/06
CPC classification number: G01N21/23
Abstract: 将液晶层3设在平行或正交尼科尔棱晶的两个偏振片2、6之间，并在其间设置一相移片4使第一偏振片透射方向与光轴一致，再测量第二偏振片透射光强为极限值时的旋转角度，并按相移片旋转角度计算双折射层厚度。另一方法采用了一个半波片，首先将液晶层设在光强为极限值的位置，调整两个偏振片间的半波片使第一偏振片透射方向与光轴一致，然后测量当第二偏振片透射光强为极限值时的半波片旋转角度，再根据该角度计算双折射层厚度。
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公开(公告)号：CN102007392A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN201080001377.9
申请日：2010-01-21
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01M11/0228
Abstract: 本发明提供一种折射率测定装置。以将被检物(23)夹在中间的方式配置两个探针光学系统(22、24)以便用于测定被检物(23)，由此，利用该被检物的干涉信号算出通过局部确定的被检物中的光的光程长度，而且，通过测定探针光学系统的位置而算出该部分的几何厚度，求出光程长度和几何厚度这两个值，并基于这些值和基准物的计算值，求出被检物的折射率分布。
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公开(公告)号：CN102713504B
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201180006951.4
申请日：2011-12-15
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B9/02064 , G01B9/0209
Abstract: 本表面形状测定方法将包含不同的波长的白色光(8A)分割成参照光(8C)和测定光(8B)，使测定光(8B)向被测定面(3)入射，使参照光(8C)向第一衍射光栅(20)入射，将参照光(8C)和由被测定面(3)反射出的测定光(8B)合成，作为干涉光(8D)，来测定被测定面(3)的表面形状，其中该参照光(8C)是从第一衍射光栅(20)通过第一光路向第二衍射光栅(21)入射之后、从第二衍射光栅(21)通过第一光路向第一衍射光栅(20)入射而从第一衍射光栅(20)射出的光。
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公开(公告)号：CN100595512C
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200610168573.0
申请日：2006-12-21
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 福井厚司
CPC classification number: G01B11/0625 , G11B7/00375 , G11B7/1353 , G11B2007/13722
Abstract: 本发明提供一种内部具有相互平行的多个界面的基板的界面位置测定方法及测定装置，将从具有与所述基板表面垂直的光轴的平行光仅沿一轴方向聚光的聚光线相对于所述基板表面倾斜形成，使所述聚光线与所述基板交叉，将所述聚光线在所述基板中反射的反射光中具有光强度峰值的位置作为界面，由此能够同时测定基板内部的多个界面，能够进行高速的界面位置测定。
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