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公开(公告)号：CN106693853B
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201610884273.6
申请日：2016-10-10
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: B01J19/08
Abstract: 本发明提供微粒制造装置以及微粒制造方法，通过由被热等离子体加热后的气体对投入材料进行加热，从而提高材料的蒸发效率而能够实现微粒的生产量的增加与低成本化。该微粒制造装置具有：真空腔室(1)；材料供给装置(10)，其与真空腔室连接，从材料供给口(12)向真空腔室内供给材料颗粒(30)；电极(4)，其设置于真空腔室而产生等离子体；以及回收装置(3)，其与真空腔室连接而回收微粒，该微粒制造装置在真空腔室内生成放电而由所述材料制造微粒，回收装置与材料供给装置由配管(20)连接，该微粒制造装置具有通过配管且利用由等离子体加热后的真空腔室内的气体的热来加热材料的材料加热循环装置(80)。
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公开(公告)号：CN108686596A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201810206981.3
申请日：2018-03-13
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够提高微粒的处理效率并增加生产量的微粒制造装置以及方法。该微粒制造装置具有：真空室；材料供给装置，与真空室一端侧连接，将材料粒子从材料供给口向真空室内供给；多个电极，被配置于真空室中间部，相位相互不同的交流电力分别被施加并产生等离子体；和回收装置，与真空室另一端连接并回收微粒，所述微粒制造装置产生等离子体，从材料粒子制造微粒，在真空室中间部具有：在从材料供给口附近到回收装置之间相对于材料流动的方向分别交叉的、材料供给口侧的第1电极配置区域、和从第1电极配置区域向回收装置侧分离的第2电极配置区域，在第1电极配置区域和第2电极配置区域分别配置多根电极并构成为多级。
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公开(公告)号：CN107224944A
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201710075012.4
申请日：2017-02-10
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: B01J13/04
CPC classification number: B01J19/088 , B01J2219/0809 , B01J2219/0813 , B01J2219/0828 , B01J2219/083 , B01J2219/0839 , B01J2219/0875 , B01J2219/0886 , B01J2219/0898 , H01J37/32055 , H01J37/32458 , H01J37/32825 , H01J2237/339 , B01J13/046
Abstract: 本发明提供一种微粒子制造装置以及制造方法，通过使在针对回收量以及投入电力能量的处理中所利用的能量的效率变良好，从而能够增加微粒子的生产量以及实现低成本化。具有真空腔(1)、与真空腔连接且从材料供给口(12)向真空腔内供给材料粒子(30)的材料供给装置(10)、设置于真空腔且产生等离子体的电极(4)、以及与真空腔连接且回收微粒子的微粒子回收装置(3)，在所述真空腔内产生放电并根据所述材料来制造所述微粒子的装置，在真空腔的壁(13)与所述等离子体产生区域之间设置内腔(51)，该内腔(51)在与所述真空腔之间设置外侧空间(115)，还具备向所述真空腔的所述壁与所述内腔的壁(51a)之间的所述外侧空间供给气体的气体供给管(15)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106693853A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201610884273.6
申请日：2016-10-10
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: B01J19/08
Abstract: 本发明提供微粒制造装置以及微粒制造方法，通过由被热等离子体加热后的气体对投入材料进行加热，从而提高材料的蒸发效率而能够实现微粒的生产量的增加与低成本化。该微粒制造装置具有：真空腔室(1)；材料供给装置(10)，其与真空腔室连接，从材料供给口(12)向真空腔室内供给材料颗粒(30)；电极(4)，其设置于真空腔室而产生等离子体；以及回收装置(3)，其与真空腔室连接而回收微粒，该微粒制造装置在真空腔室内生成放电而由所述材料制造微粒，回收装置与材料供给装置由配管(20)连接，该微粒制造装置具有通过配管且利用由等离子体加热后的真空腔室内的气体的热来加热材料的材料加热循环装置(80)。
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公开(公告)号：CN108722325B
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN201810211540.2
申请日：2018-03-14
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: B01J19/08
Abstract: 本发明提供一种能够将材料高效地大量投入到等离子体、增加生产量并且以低成本进行生产的微粒制造装置以及方法。在真空室(1)内，对包含材料粒子(17)的材料气体(MG)进行供给的材料供给装置(10)的多个材料供给口(12)被设置于比多根电极(4)更靠铅垂方向的下侧的位置，在材料供给装置的多个材料供给口的内周，配置供给第1保护气体(SG1)的第1保护气体供给口(13a)，并且在多个材料供给口的外周，配置供给第2保护气体(SG2)的多个第2保护气体供给口(13b)。
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公开(公告)号：CN110124599B
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN201910082964.8
申请日：2019-01-28
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: B01J19/08
Abstract: 本发明提供一种微粒制造装置以及微粒制造方法，微粒制造装置具备：反应室，沿铅垂方向从下方向上方延伸；材料供给装置，从材料供给口向铅垂上方将材料粒子供给到反应室内；第1电极配置区域，在反应室内的内周壁具有多个下部电极；第2电极配置区域，在比第1电极配置区域更靠铅垂上方的反应室内的内周壁具有多个上部电极；回收部，与反应室内的铅垂上方的另一端侧连接来回收微粒；电源，能变更向下部电极和上部电极中的至少一方的电极施加的交流电力的频率；控制部，将向下部电极施加的交流电力的频率设定为在向上部电极施加的交流电力的频率以上的频率，通过下部电极和上部电极产生电弧放电，从而在反应室内产生等离子体，由材料粒子生成微粒。
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公开(公告)号：CN105810548A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201510947370.0
申请日：2015-12-17
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
CPC classification number: B22F9/14 , B22F1/0018 , B22F2999/00 , C01F7/023 , C01P2004/64 , C04B35/111 , C04B35/14 , C04B35/573 , C04B35/591 , C04B35/62813 , C04B35/62834 , C04B2235/5454 , B22F3/003 , B22F2202/13 , H01J37/32055 , B01J19/087 , B01J2219/0809 , B01J2219/0898 , B82Y40/00 , H01J37/32743
Abstract: 本发明提供一种能够将材料高效且大量地向等离子体投入，从而增加生产量且以低成本进行生产的微粒制造装置以及微粒制造方法。该微粒制造装置具有：真空腔室(1)；材料供给装置(10)，其与真空腔室连接且将材料的颗粒(30)从材料供给口(12)向真空腔室内供给；多根电极(4)，其与真空腔室连接且前端向真空腔室内露出而产生等离子体(25)；以及回收装置(3)，其与真空腔室连接且回收微粒(31)，该微粒制造装置是在真空腔室内产生放电而由材料制造微粒的装置，其中，在真空腔室中，材料供给装置的材料供给口设置在比多根电极靠铅垂方向的下侧的位置。
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公开(公告)号：CN117321005A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202280034993.7
申请日：2022-05-17
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: C01G23/047
Abstract: 复合微粒的制造方法包括：准备含有第1选择元素的原料和含有第2选择元素的原料的工序，所述含有第1选择元素的原料包含选自铜元素、钼元素、银元素中的1种以上的第1选择元素，所述含有第2选择元素的原料包含选自钛、锗、硅、锡、铝、锌、锆、铪、铁、钇、铌、钽、钙、镁、铟、钨、钼、镍中的1种以上的第2选择元素；以及复合微粒生成工序，将所准备的各原料导入热等离子体中而使之蒸发，将蒸发了的各原料冷却，由此生成复合微粒，所述复合微粒以平均粒径为10nm以上且300nm以下、所选择的第2选择元素的氧化物为母材粒子，在母材粒子的表面存在平均粒径为0.5nm以上且300nm以下、包含氧化亚铜、氧化铜、铜、氧化钼、氧化银或银中的至少1种的含有第1选择元素的微粒。
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