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公开(公告)号：CN104380173A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201380031233.1
申请日：2013-05-30
申请人： 松下知识产权经营株式会社
IPC分类号： G02B26/10
CPC分类号： G02B26/0858 , G02B26/0841 , G02B26/105 , G02B27/0006 , G03G15/04072 , H01L41/042 , H01L41/0933
摘要： 光学反射元件(1)具备：框体(6)；一端连接于所述框体的内侧的驱动部(5)；连接于驱动部的另一端的可动部(4)；设置于所述可动部的表面的反射部(2)；和设置于所述可动部的电极。所述驱动部构成为通过驱动信号而被驱动来使所述可动部振动。所述电极构成为被输入比所述驱动信号高的频率的高频信号。该光学反射元件高速且以大偏转角被驱动，能够防止尘埃向所述可动部的附着。
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公开(公告)号：CN104272167B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201380023796.6
申请日：2013-04-24
申请人： 松下知识产权经营株式会社
CPC分类号： G02B26/0858 , B81B3/0043 , B81B2201/032 , B81B2201/042 , B81B2203/0163 , G02B26/0833 , G02B26/10 , G02B26/101 , G02B26/105
摘要： 本发明提供一种光学反射元件，具有：反射镜部、一对接合部、一对振动部、多个驱动部、和固定部。接合部分别具有与反射镜部的对置的各个位置连接的第1端、和该第1端的相反侧的第2端，沿第1轴延伸。振动部分别具有与接合部的一方的第2端连接的中央部。多个驱动部分别设置在一对振动部的各自上，使反射镜部转动。在固定部连结一对振动部的各两端。定义为与接合部的第1轴正交的方向的长度的梁宽，大于一对振动部各自的梁宽。
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公开(公告)号：CN104272166A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201380023785.8
申请日：2013-04-24
申请人： 松下知识产权经营株式会社
IPC分类号： G02B26/10
CPC分类号： G02B26/0858 , G02B26/101 , G02B26/105
摘要： 光学反射元件具备：固定部，其具有彼此处于相反侧的一对边；一对第一振动部，其具有分别与固定部的一对边连接的一端；一对连接部，其分别与一对第一振动部的另一端连接；可动框，其经由一对连接部以能够转动的方式支承于一对第一振动部的另一端；一对第二振动部，其具有分别与可动框的一对边连接的一端；以及反射镜部，其以能够转动的方式与一对第二振动部的另一端连接。一对第二振动部构成为，使绕转动轴的转动振动传递至反射镜部。一对连接部在转动轴的方向上与可动框连接。一对连接部与可动框的基于反射镜部的转动振动而产生的变位量最小的部分连接。该光学反射元件能够减少不必要的振动，能够投影清晰的图像。
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公开(公告)号：CN113631882B
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202080024631.0
申请日：2020-03-05
申请人： 松下知识产权经营株式会社
IPC分类号： G01C19/5733
摘要： 提供了一种在尺寸上减小且在灵敏度上提高的角速度传感器。锚定器构件(7)支持框架状构件(6)。第一输入电极(81)位于框架状构件(6)的外侧以与框架状构件(6)分离，并且固定到基板(2)。第二输入电极(82)包括位于框架状构件二输入电极(82)面对第一输入电极(81)并且在规定方向上是可位移的。第一参考电极(91)位于框架状构件(6)的内侧并且固定到基板(2)。第二参考电极(92)包括位于框架状构件(6)的内侧且连接到框架状构件(6)的电极部。第二参考电极(92)面对第一参考电极(91)并且在规定方向上是可位移的。在结构组件(3)中，在关于基板(2)限定的厚度方向上的平面图中，第一输入电极(6)的外侧且连接到框架状构件(6)的电极部。第(56)对比文件JP H09236436 A,1997.09.09US 2002083777 A1,2002.07.04US 2006117852 A1,2006.06.08US 2015377621 A1,2015.12.31US 5908986 A,1999.06.01US 8322213 B2,2012.12.04WO 2018021166 A1,2018.02.01WO 2018193890 A1,2018.10.25程雷,李景森,李立勇等.小型静电陀螺仪电极面积及电极装配误差研究.中国惯性技术学报.2004,(第3期),51-55.Huang, Y. H.等. Effects of electrodearea and interval on the sensitivity ofbilateral silicon detectors used forneutron dosimetry.RadiationMeasurements.2018,220-224.
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公开(公告)号：CN103827725B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201280047344.7
申请日：2012-09-21
申请人： 松下知识产权经营株式会社
IPC分类号： G02B26/10
CPC分类号： G02B26/105
摘要： 本发明提供一种光学反射元件，其具备：反射镜；与反射镜连接的框体；通过振动使反射镜以旋转轴为中心旋转的驱动梁。框体通过将反射镜置于其间且相互位于相反侧的两个连接部与反射镜连接。框体的刚性比反射镜的刚性高。旋转轴与连结第一连接部和第二连接部的线段正交。该光学反射元件能够抑制反射镜的动态挠曲。
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公开(公告)号：CN103370865B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201280008799.8
申请日：2012-02-16
申请人： 松下知识产权经营株式会社
CPC分类号： G02B7/1821 , B81B3/0043 , B81B3/007 , B81B2203/0109 , B81B2203/0163 , G02B26/0858 , G02B26/101 , G02B26/105 , H01L41/081 , H01L41/0953 , H02N2/10 , H02N2/108
摘要： 本发明提供一种蜿蜒型振动器，其具备：振动梁；压电致动器，其设置在振动梁上。振动梁具有：多个折返部；和多个连结部，该多个连结部与多个折返部交替配置并与多个折返部连结。振动梁具有实质上由连续的多个折返形状形成的蜿蜒形状。压电致动器具有：下部电极，其设置在振动梁上；压电膜，其设置在下部电极上；和上部电极，其设置在压电膜上。在多个折返部各自的内周中点的附近，或者在多个折返形状各自的内周的曲率变化的曲率变化点的附近的至少一方，设置不存在压电膜的不存在区域。该蜿蜒型振动器能够得到大移位。
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公开(公告)号：CN113631882A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202080024631.0
申请日：2020-03-05
申请人： 松下知识产权经营株式会社
IPC分类号： G01C19/5733
摘要： 提供了一种在尺寸上减小且在灵敏度上提高的角速度传感器。锚定器构件(7)支持框架状构件(6)。第一输入电极(81)位于框架状构件(6)的外侧以与框架状构件(6)分离，并且固定到基板(2)。第二输入电极(82)包括位于框架状构件(6)的外侧且连接到框架状构件(6)的电极部。第二输入电极(82)面对第一输入电极(81)并且在规定方向上是可位移的。第一参考电极(91)位于框架状构件(6)的内侧并且固定到基板(2)。第二参考电极(92)包括位于框架状构件(6)的内侧且连接到框架状构件(6)的电极部。第二参考电极(92)面对第一参考电极(91)并且在规定方向上是可位移的。在结构组件(3)中，在关于基板(2)限定的厚度方向上的平面图中，第一输入电极(81)与第二输入电极(82)的电极部在规定方向上位于框架状构件(6)与重量构件(4)之间。
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公开(公告)号：CN104272167A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201380023796.6
申请日：2013-04-24
申请人： 松下知识产权经营株式会社
CPC分类号： G02B26/0858 , B81B3/0043 , B81B2201/032 , B81B2201/042 , B81B2203/0163 , G02B26/0833 , G02B26/10 , G02B26/101 , G02B26/105
摘要： 本发明提供一种光学反射元件，具有：反射镜部、一对接合部、一对振动部、多个驱动部、和固定部。接合部分别具有与反射镜部的对置的各个位置连接的第1端、和该第1端的相反侧的第2端，在第1轴方向上延伸。振动部分别具有与接合部的一方的第2端连接的中央部。多个驱动部分别设置在一对振动部的各自上，使反射镜部转动。在固定部连结一对振动部的各两端。定义为与接合部的第1轴正交的方向的长度的梁宽，大于一对振动部各自的梁宽。
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公开(公告)号：CN104094429B
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201380007536.X
申请日：2013-01-29
申请人： 松下知识产权经营株式会社
IPC分类号： H01L41/09 , H01L41/22 , B06B1/06 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , G02B26/08 , H01H57/00
摘要： 压电致动器器件具备：振动部和构成为使振动部振动的驱动部。振动部具有：振动的下部振动层和与下部振动层的上表面结合且与下部振动层一起振动的上部振动层。驱动部具有：设于下部振动层的下表面的上部电极层、设于上部电极层的下表面的压电体层和设于压电体层的下表面的下部电极层。振动部的下部振动层的主成分为有机材料。振动部的上部振动层的主成分为无机材料。下部振动层的纵弹性系数小于上部振动层的纵弹性系数。该压电致动器器件能不使尺寸和消耗电力增大地使抗干扰振动性和振动部的挠曲量较大。
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公开(公告)号：CN104755992A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201380056768.4
申请日：2013-10-01
申请人： 松下知识产权经营株式会社
IPC分类号： G02B26/10
CPC分类号： H01L41/0933 , B81B3/0048 , B81B2203/0154 , B81B2203/0163 , B81B2203/058 , G02B26/0858 , G02B26/101 , H01L41/0825 , H01L41/0953 , H02N11/006
摘要： 致动器具有：固定框；一对第1振动部；可动框；一对第2振动部；可动部；和第1监控信号检测部。第1振动部分别与固定框的内侧对置，具有连接于固定框的内侧的第1端和连接于可动框的外侧的第2端。第2振动部分别与可动框的内侧对置，具有连接于可动框的内侧的第1端和连接于可动部的第2端。第2振动部在与第1振动部延伸的方向正交的方向上延伸。第1监控信号检测部设置于可动框与第1振动部的连接部分，对可动框的位移进行检测。
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