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    致动器以及使用其的电子设备
    2.
    发明授权
    致动器以及使用其的电子设备 失效

    公开(公告)号：CN101488723B

    公开(公告)日：2012-07-18

    申请号：CN200910002664.0

    申请日：2009-01-14

    申请人： 株式会社东芝

    发明人： 西垣亨彦 ,  长野利彦 ,  板谷和彦 ,  川久保隆

    IPC分类号： H02N2/02

    CPC分类号： H01H57/00 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/032 ,  H01G5/18 ,  H01H2057/006 ,  H01L41/094 ,  H01L41/0973

    摘要： 本发明提供一种致动器以及使用其的电子设备，该致动器通过降低梁的翻翘的影响，最大静电电容大，此外缓和了在最大静电电容附近的静电电容的急剧的变化。本发明提供一种致动器，具备：第1梁，其从第1固定端延伸到第1连接端；第1固定部，其连结第1固定端与基板，并使上述第1梁在基板的主面的上方空出间隙地支撑第1梁；第2梁，其从第2连接端延伸到第1作用端，与第1梁并排地设置，并且具有由从第1作用端向着第2连接端延伸的第1缝隙分割而成的第1分割部；第1连接部，其连结第1连接端与第2连接端，并且使上述第2梁在基板的主面的上方空出间隙地保持第2梁；第1固定电极，其与第1分割部的、第1作用端侧的一部分相对，并且设置在基板的主面上。

    薄膜致动反射镜阵列及其制造方法
    4.
    发明授权
    薄膜致动反射镜阵列及其制造方法 失效 转让

    公开(公告)号：CN1061203C

    公开(公告)日：2001-01-24

    申请号：CN95196202.7

    申请日：1995-10-17

    申请人： 大宇电子株式会社

    发明人： 闵庸基

    IPC分类号： H04N9/31 ,  G02B26/08

    CPC分类号： B81C1/00214 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/042 ,  B81C1/00174 ,  B81C2201/0109 ,  G02B26/0858 ,  H04N9/30

    摘要： 薄膜致动反射镜阵列，包括：有源矩阵，具有含连接端子和晶体管阵列的基底；致动结构阵列，各致动结构包括第二薄膜电极，下电致位移元件，中间薄膜电极，上电致位移元件和第一薄膜电极，其制法包括：提供有源矩阵并在其顶上形成薄膜待除层；选择地去除薄膜待除层；在其上形成第二薄膜电极层；选择地去除第二薄膜电极层；淀积下电致位移层；形成中间电极层；淀积上电致位移层；形成第一薄膜电极层，将形成的多层结构构形成半成品致动结构阵列；去除薄膜待除层。

    薄膜致动反射镜阵列及其制造方法
    5.
    发明公开
    薄膜致动反射镜阵列及其制造方法 失效 转让

    公开(公告)号：CN1163689A

    公开(公告)日：1997-10-29

    申请号：CN95196202.7

    申请日：1995-10-17

    申请人： 大宇电子株式会社

    发明人： 闵庸基

    IPC分类号： H04N9/31 ,  G02B26/08

    CPC分类号： B81C1/00214 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/042 ,  B81C1/00174 ,  B81C2201/0109 ,  G02B26/0858 ,  H04N9/30

    摘要： 薄膜致动反射镜阵列，包括：有源矩阵，具有含连接端子和晶体管阵列的基底；致动结构阵列，各致动结构包括第二薄膜电极，下电致位移元件，中间薄膜电极，上电致位移元件和第一薄膜电极，其制法包括：提供有源矩阵并在其顶上形成薄膜待除层；选择地去除薄膜待除层；在其上形成第二薄膜电极层；选择地去除第二薄膜电极层；淀积下电致位移层；形成中间电极层；淀积上电致位移层；形成第一薄膜电极层，将形成的多层结构构形成半成品致动结构阵列；去除薄膜待除层。

    反射镜驱动装置及其驱动方法
    7.
    发明公开
    反射镜驱动装置及其驱动方法 无效

    公开(公告)号：CN104297919A

    公开(公告)日：2015-01-21

    申请号：CN201410341476.1

    申请日：2014-07-17

    申请人： 富士胶片株式会社

    发明人： 直野崇幸

    IPC分类号： G02B26/08

    CPC分类号： G02B26/0858 ,  B81B3/0043 ,  B81B7/008 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/042 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/04 ,  G02B26/105 ,  H01L41/0933 ,  H01L41/1876

    摘要： 一种反射镜驱动装置及其驱动方法，能够提高位移效率，且在设置有传感器部的情况下，也能够获得足够大的位移角。夹着用于支撑反射镜部(2)的反射镜支撑部(4)而在两侧配置第一促动器部(11)及第二促动器部(22)。第一促动器部(11)和第二促动器部(22)的上部电极和下部电极对应于共振模式振动的压电体内的主应力的应力分布而被分割，与第一上部电极部(111)及第三上部电极部(221)的位置相对应的压电体部分和与第二上部电极部(112)及第四上部电极部(222)的位置相对应的压电体部分产生相互逆向的应力。下部电极也同样被分割，能够向基于分割配置的不同压电体部分的上部电极部和下部电极部施加同相位的驱动电压。