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公开(公告)号：CN116018731A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202080103984.X
申请日：2020-09-09
申请人： 极光先进雷射株式会社
IPC分类号： H01S3/137
摘要： 窄带化气体激光装置具备：窄带化装置，其包含波长色散元件；输出耦合镜；激光腔室，其配置在由窄带化装置和输出耦合镜构成的光谐振器的光路上；第1保持架，其支承输出耦合镜；第2保持架，其将第1保持架支承为能够绕第1保持架的旋转轴进行旋转；以及调整装置，其支承于第2保持架，通过与第1保持架接触来使第1保持架绕旋转轴进行旋转。窄带化装置具有以下特性：当窄带化装置的内部的温度上升时，使朝向输出耦合镜射出的光的射束指向向第1方向变化。第2保持架和调整装置构成为，通过第2保持架和调整装置在它们的温度上升时发生热膨胀，使第1保持架沿对从输出耦合镜输出的激光的射束指向向第1方向变化进行抑制的方向旋转。
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公开(公告)号：CN108352673B
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201580084190.2
申请日：2015-12-10
申请人： 极光先进雷射株式会社
摘要： 窄带化激光装置可以具有：激光谐振器，其包含使谱线宽度窄带化的光学元件；分光器，其对从激光谐振器输出的脉冲激光所包含的多个脉冲检测分光强度分布；光谱波形生成部，其生成对多个脉冲的分光强度分布进行相加而得的光谱波形；装置函数存储部，其存储分光器的装置函数；波长频度函数生成部，其生成表示多个脉冲的中心波长的频度分布的波长频度函数；以及去卷积处理部，其使用装置函数和波长频度函数来对光谱波形进行去卷积处理。
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公开(公告)号：CN111194510B
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN201780095631.8
申请日：2017-11-27
申请人： 极光先进雷射株式会社
摘要： 本公开的准分子激光装置具有：腔，其在内部包含激光气体和一对电极，激光气体的气压根据对一对电极之间施加的电压被进行控制，由此生成进行脉冲振荡的激光；电源，其对一对电极之间施加电压；以及控制器，其输入激光的谱线宽度的目标值，在目标值从第1目标值变化为第2目标值的情况下，根据将第2目标值作为参数的第1函数对气压的控制中使用的电压进行校正，根据校正后的电压对气压进行控制。
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公开(公告)号：CN111566533A
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN201780096537.4
申请日：2017-12-07
申请人： 极光先进雷射株式会社
IPC分类号： G02B7/02
摘要： 光学元件的移动装置具有：第1保持部，其保持第1光学元件；第2保持部，其保持第2光学元件，并具有相对于接近第1保持部的第1方向倾斜的倾斜面；引导部，其能够与第1方向平行地移动第2保持部；以及弹性部件，其被配置于第1保持部与第2保持部之间的、第1面通过的位置，该第1面与倾斜面垂直地交叉且与第1方向平行。
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公开(公告)号：CN108352673A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201580084190.2
申请日：2015-12-10
申请人： 极光先进雷射株式会社
摘要： 窄带化激光装置可以具有：激光谐振器，其包含使谱线宽度窄带化的光学元件；分光器，其对从激光谐振器输出的脉冲激光所包含的多个脉冲检测分光强度分布；光谱波形生成部，其生成对多个脉冲的分光强度分布进行相加而得的光谱波形；装置函数存储部，其存储分光器的装置函数；波长频度函数生成部，其生成表示多个脉冲的中心波长的频度分布的波长频度函数；以及去卷积处理部，其使用装置函数和波长频度函数来对光谱波形进行去卷积处理。
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公开(公告)号：CN111566533B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN201780096537.4
申请日：2017-12-07
申请人： 极光先进雷射株式会社
IPC分类号： G02B7/02 , G02B27/09 , G02B7/10 , G03F7/20 , H01S3/02 , H01S3/038 , H01S3/08 , H01S3/106 , H01S3/134 , H01S3/139 , H01S3/225
摘要： 光学元件的移动装置具有：第1保持部，其保持第1光学元件；第2保持部，其保持第2光学元件，并具有相对于接近第1保持部的第1方向倾斜的倾斜面；引导部，其能够与第1方向平行地移动第2保持部；以及弹性部件，其被配置于第1保持部与第2保持部之间的、第1面通过的位置，该第1面与倾斜面垂直地交叉且与第1方向平行。
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公开(公告)号：CN116097532A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202080103980.1
申请日：2020-09-08
申请人： 极光先进雷射株式会社
IPC分类号： H01S3/137
摘要： 窄带化模块具有：壳体；棱镜，其被配置于壳体的内部空间，光透过棱镜；载置部，其被配置于内部空间，载置有棱镜；固定单元，其被配置于内部空间，将棱镜固定于载置部；以及遮光部件。遮光部件被配置于内部空间，对在内部空间中从光产生且向固定单元行进的散射光进行遮光。
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公开(公告)号：CN108475896A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201680077589.2
申请日：2016-02-02
申请人： 极光先进雷射株式会社
IPC分类号： H01S3/137
摘要： 窄带化激光装置可以进行包括第1突发振荡和接在第1突发振荡后进行的第2突发振荡的多次突发振荡而输出脉冲激光，该窄带化激光装置具有：激光谐振器；腔，其配置在激光谐振器之间；一对电极，它们配置于腔；电源，其向一对电极施加脉冲电压；波长选择元件，其配置于激光谐振器；谱带宽度可变部，其配置于激光谐振器；波长可变部，其变更波长选择元件的选择波长；以及控制部，其根据从第1突发振荡结束时到第2突发振荡开始时之间的谱带宽度可变部的控制量，控制波长可变部。
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公开(公告)号：CN107851958B
公开(公告)日：2021-01-12
申请号：CN201580081429.0
申请日：2015-08-07
申请人： 极光先进雷射株式会社
摘要： 窄带化激光装置通过进行包括第1突发振荡和接着第1突发振荡而进行的第2突发振荡的多次的突发振荡而输出脉冲激光，该窄带化激光装置包括：激光谐振器；腔，其配置在激光谐振器之间；配置于腔内的一对电极；电源，其对一对电极施加脉冲电压；波长选择元件，其配置于激光谐振器；谱带宽度可变部，其配置在激光谐振器；及控制部，其测量开始第2突发振荡之前的规定期间中的占空比和从结束第1突发振荡时起到开始第2突发振荡为止的停止时间，并根据占空比和停止时间而控制谱带宽度可变部。
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