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公开(公告)号：CN107112712A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580053741.9
申请日：2015-11-20
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/13
CPC classification number: H01S3/13 , G01J1/0425 , G01J1/0474 , G01J3/28 , G01J9/0246 , G01J2009/0257 , G02B27/48 , H01S3/08004 , H01S3/08009 , H01S3/08036 , H01S3/0811 , H01S3/0823 , H01S3/1305 , H01S3/134 , H01S3/137 , H01S3/2251 , H01S3/2256
Abstract: 窄带化激光装置可以具有：激光谐振器，其包含使光谱宽度窄带化的光学元件；一对放电电极，它们隔着激光谐振器的脉冲激光的光路配置；电源，其对一对放电电极施加脉冲状的电压；第1波长计测器，其对从激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测，输出第1计测结果；第2波长计测器，其对从激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测，输出第2计测结果；以及控制部，其根据第2计测结果对第1计测结果进行校正。控制部根据以第1方式控制电源时的第2计测结果与以第2方式控制电源时的第2计测结果之差，对第1计测结果进行校正，其中，该第1方式是电源以第1重复频率对一对放电电极施加脉冲状的电压，该第2方式是电源以比第1重复频率高的第2重复频率对一对放电电极施加脉冲状的电压。
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公开(公告)号：CN117426030A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202180098815.6
申请日：2021-07-29
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Inventor： 石田启介
Abstract: 放电激励型激光装置具有对脉冲激光的脉冲能量进行控制的电源，该放电激励型激光装置的控制方法包含以下步骤：在第1期间内，一边使波长周期性地变动，一边从放电激励型激光装置输出包含多个脉冲的脉冲激光；使用多个脉冲的脉冲能量的第1时序数据，计算伴随着波长的变动对电源中设定的电压指令值进行校正的校正数据；以及在第2期间内，取得电压指令值，使用校正数据对被取得的电压指令值进行校正，按照被校正后的电压指令值从放电激励型激光装置输出脉冲激光。
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公开(公告)号：CN111316512B
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN201780096556.7
申请日：2017-12-05
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 本公开的准分子激光装置具有：标准具分光器，其计测激光的条纹波形；以及控制器，其求出根据标准具分光器的计测结果得到的谱空间中的第1比例的面积，根据所求出的第1比例的面积计算激光的第1谱线宽度，并且，根据相关函数对第1谱线宽度进行校正，该相关函数表示由基准计测器计测出的激光的第2谱线宽度与第1谱线宽度的相关。
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公开(公告)号：CN116918196A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202180093444.2
申请日：2021-03-25
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Inventor： 石田启介
IPC: H01S3/104
Abstract: 气体激光装置具有：激光振荡器，其包含一对放电电极和激光侧谐振器，该一对放电电极相互对置地配置且通过施加电压而利用激光气体产生光，该激光侧谐振器使光进行谐振；放大器，其包含放大部和放大侧谐振器；分束器，其使来自激光侧谐振器的光的一部分反射；光传感器，其检测被分束器反射的光；以及处理器，其根据光传感器的输出对电压进行控制。放大侧谐振器包含后镜和放大侧输出耦合镜，激光侧谐振器包含光栅和激光侧输出耦合镜。在电压低于电压的阈值的情况下，处理器将电压维持在阈值以上的固定值。
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公开(公告)号：CN108352673B
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201580084190.2
申请日：2015-12-10
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 窄带化激光装置可以具有：激光谐振器，其包含使谱线宽度窄带化的光学元件；分光器，其对从激光谐振器输出的脉冲激光所包含的多个脉冲检测分光强度分布；光谱波形生成部，其生成对多个脉冲的分光强度分布进行相加而得的光谱波形；装置函数存储部，其存储分光器的装置函数；波长频度函数生成部，其生成表示多个脉冲的中心波长的频度分布的波长频度函数；以及去卷积处理部，其使用装置函数和波长频度函数来对光谱波形进行去卷积处理。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111194510B
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN201780095631.8
申请日：2017-11-27
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 本公开的准分子激光装置具有：腔，其在内部包含激光气体和一对电极，激光气体的气压根据对一对电极之间施加的电压被进行控制，由此生成进行脉冲振荡的激光；电源，其对一对电极之间施加电压；以及控制器，其输入激光的谱线宽度的目标值，在目标值从第1目标值变化为第2目标值的情况下，根据将第2目标值作为参数的第1函数对气压的控制中使用的电压进行校正，根据校正后的电压对气压进行控制。
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公开(公告)号：CN114207959A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN201980099083.5
申请日：2019-09-11
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Inventor： 石田启介
IPC: H01S3/097
Abstract: 激光装置具有：激光谐振器；腔，其被配置于激光谐振器的光路上；一对电极，它们被配置于腔；电源，其对电极施加电压；存储部，其存储有使脉冲激光的脉冲能量成为规定的值的电压值；以及控制部，其设定被施加给电极的电压的施加电压值，控制部根据电压指令值和存储部中存储的电压值，设定用于输出在多次突发振荡中的1次突发振荡中输出的脉冲激光中包含的多个脉冲中的表示脉冲的顺序的脉冲编号为1以上且小于i的脉冲的施加电压值，并根据电压指令值和相对于电压指令值的偏置值，设定用于输出脉冲编号为i以上且小于j的脉冲的施加电压值，其中，i为大于1的整数，设j为大于i的整数。
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公开(公告)号：CN108352673A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201580084190.2
申请日：2015-12-10
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 窄带化激光装置可以具有：激光谐振器，其包含使谱线宽度窄带化的光学元件；分光器，其对从激光谐振器输出的脉冲激光所包含的多个脉冲检测分光强度分布；光谱波形生成部，其生成对多个脉冲的分光强度分布进行相加而得的光谱波形；装置函数存储部，其存储分光器的装置函数；波长频度函数生成部，其生成表示多个脉冲的中心波长的频度分布的波长频度函数；以及去卷积处理部，其使用装置函数和波长频度函数来对光谱波形进行去卷积处理。
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公开(公告)号：CN114207959B
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN201980099083.5
申请日：2019-09-11
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Inventor： 石田启介
IPC: H01S3/097
Abstract: 激光装置具有：激光谐振器；腔，其被配置于激光谐振器的光路上；一对电极，它们被配置于腔；电源，其对电极施加电压；存储部，其存储有使脉冲激光的脉冲能量成为规定的值的电压值；以及控制部，其设定被施加给电极的电压的施加电压值，控制部根据电压指令值和存储部中存储的电压值，设定用于输出在多次突发振荡中的1次突发振荡中输出的脉冲激光中包含的多个脉冲中的表示脉冲的顺序的脉冲编号为1以上且小于i的脉冲的施加电压值，并根据电压指令值和相对于电压指令值的偏置值，设定用于输出脉冲编号为i以上且小于j的脉冲的施加电压值，其中，i为大于1的整数，设j为大于i的整数。
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公开(公告)号：CN107851958B
公开(公告)日：2021-01-12
申请号：CN201580081429.0
申请日：2015-08-07
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 窄带化激光装置通过进行包括第1突发振荡和接着第1突发振荡而进行的第2突发振荡的多次的突发振荡而输出脉冲激光，该窄带化激光装置包括：激光谐振器；腔，其配置在激光谐振器之间；配置于腔内的一对电极；电源，其对一对电极施加脉冲电压；波长选择元件，其配置于激光谐振器；谱带宽度可变部，其配置在激光谐振器；及控制部，其测量开始第2突发振荡之前的规定期间中的占空比和从结束第1突发振荡时起到开始第2突发振荡为止的停止时间，并根据占空比和停止时间而控制谱带宽度可变部。
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