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公开(公告)号：CN113439371B
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN201980091052.5
申请日：2019-03-26
Applicant: 国立大学法人长冈技术科学大学 , 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/097
Abstract: 高电压脉冲产生装置对被配置于气体激光装置的激光腔内的一对放电电极之间施加脉冲状的高电压，该高电压脉冲产生装置具有：n个变压器芯，它们构成变压器，n为2以上的自然数，n个变压器芯分别构成为形成沿着第1面的磁路，n个变压器芯各自的与第1面平行的第1方向的宽度比与第1面平行且与第1方向垂直的第2方向的宽度大；变压器的n个一次侧电路，n个一次侧电路彼此并联连接，n个一次侧电路分别包含至少1个一次侧线圈、和与至少1个一次侧线圈并联连接的m个脉冲产生部，m为2以上的自然数；以及变压器的二次侧电路，其包含二次侧线圈，所述二次侧电路与一对放电电极连接。
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公开(公告)号：CN109478757A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201680087553.2
申请日：2016-08-05
Applicant: 极光先进雷射株式会社
CPC classification number: H01S3/09702 , H01S3/097 , H01S3/09705 , H01S3/0975 , H01S3/104
Abstract: 放电激励式的气体激光装置具有：A.第1放电电极和第2放电电极，它们对置配置；B.多个峰化电容器，它们与第1放电电极连接；C.充电器；D.多个脉冲功率模块，其中，1个脉冲功率模块包含了D1.从充电器被施加充电电压的充电电容器、D2.针对保存在充电电容器中的电能进行脉冲压缩而作为输出脉冲向相应的峰化电容器输出的脉冲压缩电路、和D3.配置在充电电容器与脉冲压缩电路之间的开关；E.多个输出脉冲传感器，其中，1个输出脉冲传感器检测1个脉冲功率模块输出的输出脉冲；以及F.控制部，其根据各输出脉冲传感器的检测结果来控制向各开关输入的开关信号的定时。
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公开(公告)号：CN113383468B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN201980091035.1
申请日：2019-03-26
Applicant: 国立大学法人长冈技术科学大学 , 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/097
Abstract: 高电压脉冲产生装置对被配置于气体激光装置的激光腔内的一对放电电极之间施加脉冲状的高电压，该高电压脉冲产生装置具有：n个变压器芯，它们构成变压器，n为2以上的自然数；变压器的n个一次侧电路，n个一次侧电路分别包含与基准电位连接的第1端子和与充电器连接的第2端子，并且包含至少1个一次侧线圈、与至少1个一次侧线圈并联连接的至少1个二极管、和与至少1个一次侧线圈并联连接的至少1个脉冲产生部；以及变压器的二次侧电路，其包含二次侧线圈，所述二次侧电路与一对放电电极连接。
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公开(公告)号：CN113383468A
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN201980091035.1
申请日：2019-03-26
Applicant: 国立大学法人长冈技术科学大学 , 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/097
Abstract: 高电压脉冲产生装置对被配置于气体激光装置的激光腔内的一对放电电极之间施加脉冲状的高电压，该高电压脉冲产生装置具有：n个变压器芯，它们构成变压器，n为2以上的自然数；变压器的n个一次侧电路，n个一次侧电路分别包含与基准电位连接的第1端子和与充电器连接的第2端子，并且包含至少1个一次侧线圈、与至少1个一次侧线圈并联连接的至少1个二极管、和与至少1个一次侧线圈并联连接的至少1个脉冲产生部；以及变压器的二次侧电路，其包含二次侧线圈，所述二次侧电路与一对放电电极连接。
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公开(公告)号：CN107735914B
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN201580080993.0
申请日：2015-07-14
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 本准分子激光装置从外部装置接收目标脉冲能量的数据而输出脉冲激光，其中，该准分子激光装置可以具有：主振荡器；至少一个放大器，它们分别包含配置在从主振荡器输出的脉冲激光的光路上的腔室、配置在腔室中的一对电极、对一对电极施加电压的电源；以及控制部，其根据目标脉冲能量，针对至少一个放大器中的一个放大器，使电源停止对一对电极施加电压。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107851957A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201580082010.7
申请日：2015-09-14
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 该激光系统具备：第1激光装置；第2激光装置；公共的充电电压测量部，其测量向第1充电电容器充电的充电电压及向第2充电电容器充电的充电电压；至少一个泄放电路，它们使向第1充电电容器充电的充电电压及向第2充电电容器充电的充电电压分别降低；及泄放电路控制部，其根据由充电电压测量部测量的电压来控制至少一个泄放电路。
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公开(公告)号：CN118661351A
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202280090781.0
申请日：2022-03-15
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/038 , H01S3/0977
Abstract: 在气体激光装置的腔室中，从在第一主电极与第二主电极之间沿着规定方向延伸的假想轴到第一端部的距离随着从规定方向上的一侧朝向另一侧而变长，从假想轴到第二端部的距离随着从规定方向上的一侧朝向另一侧而变短。
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公开(公告)号：CN118235302A
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202280075028.4
申请日：2022-10-30
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/038
Abstract: 气体激光装置具备：导电性激光腔，其包括开口及一对窗；电绝缘部，其堵住开口；第一电极，其固定于电绝缘部的位于激光腔的内部空间侧的面上；以及第二电极，其在激光腔的内部空间中与第一电极对置，第一电极具有：接触区域，其与电绝缘部的面接触；对置面，其与第二电极对置；以及第一曲面，其包含于从接触区域到对置面的区域中，朝向第一电极的外侧呈凸状弯曲，在第一电极的沿着如下的面的截面中，接触区域位于与第一曲面相比靠第一电极的内侧的位置，第一曲面是与电绝缘部非交叉的圆的圆周或者椭圆的圆周的一部分，其中面在第一电极与第二电极的分离方向以及与分离方向正交的规定方向上延伸。
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公开(公告)号：CN116491033A
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202080106922.4
申请日：2020-12-10
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/0977
Abstract: 本公开的一个观点的气体激光装置具有：主放电电路，其向被配置于激光腔的内部的一对主放电电极供给使其产生主放电的主放电电压；以及预备电离电路，其向被配置于激光腔的内部的预备电离电极供给使其产生电晕放电的预备电离电压。主放电电路具有：升压脉冲变压器；主电容器和开关，它们与升压脉冲变压器的一次侧连接；第1电源，其对主电容器进行充电；第1电容器，其与升压脉冲变压器的二次侧并联连接；第1磁开关，其与第1电容器连接；以及峰化电容器，其经由第1磁开关与第1电容器并联连接，并且与主放电电极并联连接，电晕放电开始的时机与主放电开始的时机之间的间隔为30ns以上且60ns以下。
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公开(公告)号：CN109478757B
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN201680087553.2
申请日：2016-08-05
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 放电激励式的气体激光装置具有：A.第1放电电极和第2放电电极，它们对置配置；B.多个峰化电容器，它们与第1放电电极连接；C.充电器；D.多个脉冲功率模块，其中，1个脉冲功率模块包含了D1.从充电器被施加充电电压的充电电容器、D2.针对保存在充电电容器中的电能进行脉冲压缩而作为输出脉冲向相应的峰化电容器输出的脉冲压缩电路、和D3.配置在充电电容器与脉冲压缩电路之间的开关；E.多个输出脉冲传感器，其中，1个输出脉冲传感器检测1个脉冲功率模块输出的输出脉冲；以及F.控制部，其根据各输出脉冲传感器的检测结果来控制向各开关输入的开关信号的定时。
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