公开(公告)号：CN119534470A

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN202411208346.0

申请日：2024-08-30

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 西田麻衣子 ,  畠泽翔太 ,  佐川正悟 ,  增田修 ,  奥山真人

IPC: G01N21/892 ,  G01N21/84 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明涉及薄膜检查装置、薄膜检查方法以及程序。无需人工监视或作业而容易地进行薄膜产生缺陷的检测。在光学性地检查重叠的状态的薄膜中产生的缺陷的薄膜检查装置中，通过光源向薄膜照射光(步骤S1)，通过相机(光学传感器)检测在薄膜中反射的光中的至少漫射光(步骤S2)。薄膜检查装置通过从由相机的输出信号得到的第1图像数据提取检查定时下的检查区域(步骤S5)，并对与检查区域对应的第2图像数据进行数据处理，从而检测缺陷(步骤S6)。

公开(公告)号：CN115684189A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202210870412.5

申请日：2022-07-22

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 畠泽翔太 ,  佐川正悟 ,  河邑阳祐

IPC: G01N21/892 ,  G01N21/88 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明涉及薄膜检查装置、薄膜检查方法以及记录介质。无需基于人工的监视而容易地进行薄膜中产生的缺陷的检测。一种薄膜检查装置，光学性地检查重叠的状态的薄膜中产生的缺陷，在所述薄膜检查装置中，由光源将光照射到薄膜的检查区域(步骤S1)，由相机(光学传感器)拍摄薄膜的检查区域并检测在检查区域中反射的光中的漫射光(步骤S2)，由控制部通过对相机的输出信号进行数据处理来检测缺陷(步骤S5)。