公开(公告)号：CN85107033A

公开(公告)日：1987-04-01

申请号：CN85107033

申请日：1985-09-21

Applicant: 株式会社三丰制作所

Inventor： 福吉稔 ,  古头隆 ,  中村哲夫

IPC: G01D5/20 ,  G01B7/00

Abstract: 一个接触信号测头，接触探针基座由固定在测头外壳内的支座活动支撑，Z轴活动支撑机构将接触探针安装在接触探针基座上。Z轴支撑机构包括固定在探针基座上下端的膜片、与膜片中部紧固的一根支撑轴，探针固定在支撑轴下端。当接触探针接触工件的外表面时，探针基座和Z轴支撑机构能支撑接触探针相对于测头作三维自由运动。这套装置有一个电接触信号检测器，它包括许多能产生出电接触信号的磁心和检测线圈。

公开(公告)号：CN85106993A

公开(公告)日：1987-04-01

申请号：CN85106993

申请日：1985-09-19

Applicant: 株式会社三丰制作所

Inventor： 森田英夫 ,  安孙子贤二 ,  中村哲夫

IPC: G01B7/28

Abstract: 一表面跟踪器，其上带有连续跟踪工件表面轮廓的测头，通过三维坐标电信号读出工件形状。测头与X轴滑座刚性连接，X轴滑座通过Y轴滑座和Z轴滑座支承在基座上，各滑座可相互垂直滑动。因此，测头可以在工件上滑动。Z轴滑座通过悬挂弹簧悬挂在基座上，并支承着X轴滑座和Y轴滑座。在基座和X轴滑座之间使用一根复位弹簧提供复位力，使测头回复至原点位置。各滑座的滑动面均供以压缩空气，以形成空气支承。

公开(公告)号：CN1005168B

公开(公告)日：1989-09-13

申请号：CN85107033

申请日：1985-09-21

Applicant: 株式会社三丰制作所

Inventor： 福吉稔 ,  古头隆 ,  中村哲夫

IPC: G01B7/28 ,  G01D5/20

Abstract: 一个接触信号测头，接触探针基座由固定在测头外壳内的支座活动支撑，Z轴活动支撑机构将接触探针安装在接触探针基座上。Z轴支撑机构包括固定在探针基座上下端的膜片，与膜片中部紧固的一根支撑轴，探针固定在支撑轴下端。当接触探针接触工件的外表面时。探针基座和Z轴支撑机构能支撑接触探针相对于测头作三维自由运动。这套载置有一个电接触信号检测器，它包括许多能产生出电接触信号的磁心和检测线圈。

公开(公告)号：CN1005167B

公开(公告)日：1989-09-13

申请号：CN85106993

申请日：1985-09-19

Applicant: 株式会社三丰制作所

Inventor： 森田英夫 ,  安孙子贤二 ,  中村哲夫

IPC: G01B7/28

Abstract: 一表面跟踪器，其上带有连续跟踪工件表面轮廓的测头，通过三维座标电信号读出工件形状。测头与X轴滑座刚性连接，X轴滑座通过Y轴滑座和Z轴滑座支承在基座上，各滑座可相互垂直滑动。因此，测头可以在工件上滑动。Z轴滑座通过悬挂弹簧悬挂在基座上，并支承着X轴滑座和Y轴滑座。在基座和X轴滑座之间使用一根复位弹簧提供复位力，使测头回复至原点位置。各滑座的滑动面均供以压缩空气，以形成空气支承。