公开(公告)号：CN1005168B

公开(公告)日：1989-09-13

申请号：CN85107033

申请日：1985-09-21

Applicant: 株式会社三丰制作所

Inventor： 福吉稔 ,  古头隆 ,  中村哲夫

IPC: G01B7/28 ,  G01D5/20

Abstract: 一个接触信号测头，接触探针基座由固定在测头外壳内的支座活动支撑，Z轴活动支撑机构将接触探针安装在接触探针基座上。Z轴支撑机构包括固定在探针基座上下端的膜片，与膜片中部紧固的一根支撑轴，探针固定在支撑轴下端。当接触探针接触工件的外表面时。探针基座和Z轴支撑机构能支撑接触探针相对于测头作三维自由运动。这套载置有一个电接触信号检测器，它包括许多能产生出电接触信号的磁心和检测线圈。

公开(公告)号：CN85107033A

公开(公告)日：1987-04-01

申请号：CN85107033

申请日：1985-09-21

Applicant: 株式会社三丰制作所

Inventor： 福吉稔 ,  古头隆 ,  中村哲夫

IPC: G01D5/20 ,  G01B7/00

Abstract: 一个接触信号测头，接触探针基座由固定在测头外壳内的支座活动支撑，Z轴活动支撑机构将接触探针安装在接触探针基座上。Z轴支撑机构包括固定在探针基座上下端的膜片、与膜片中部紧固的一根支撑轴，探针固定在支撑轴下端。当接触探针接触工件的外表面时，探针基座和Z轴支撑机构能支撑接触探针相对于测头作三维自由运动。这套装置有一个电接触信号检测器，它包括许多能产生出电接触信号的磁心和检测线圈。