电极制造方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100405550C

    公开(公告)日:2008-07-23

    申请号:CN200410095163.9

    申请日:2004-07-30

    摘要: 提供一种电极制造方法,能够对于碳纳米管和量子点等的微细结构自匹配地形成电极。该电极制造方法,具有:在基板的表面上形成多个突出部的突出部形成步骤;向上述多个突出部间导入大小随热、光或第一溶剂而变化的第一粒子的第一粒子导入步骤;通过对上述第一粒子赋予热、光或第一溶剂中的任一种,在俯视所述基板时的所述多个突出部之间的范围内变更该第一粒子的大小的尺寸变更步骤;向上述基板的表面淀积电极材料的电极材料淀积步骤;以及通过去除上述第一粒子,使位于上述突出部上的电极材料残留作为电极,而有选择地去除位于上述第一粒子上的电极材料,以形成电极的电极形成步骤。