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公开(公告)号:CN102566270A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201110353244.4
申请日:2011-11-07
申请人: 株式会社东进世美肯
摘要: 本发明涉及一种光致抗蚀剂组合物,更具体地,涉及一种包含(a)5~30重量%的酚醛清漆树脂;(b)2~10重量%的二叠氮类感光性化合物;(c)1~70重量%的二烷基醚(dialkyl ether)类共溶剂;及(d)余量的有机溶剂的光致抗蚀剂组合物,其在真空干燥时不会形成倒锥形,具有优异的涂布均匀度,而且能够防止产生涂布斑点。
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公开(公告)号:CN102566270B
公开(公告)日:2016-07-06
申请号:CN201110353244.4
申请日:2011-11-07
申请人: 株式会社东进世美肯
摘要: 本发明涉及一种光致抗蚀剂组合物,更具体地,涉及一种包含(a)5~30重量%的酚醛清漆树脂;(b)2~10重量%的二叠氮类感光性化合物;(c)1~70重量%的二烷基醚(dialkyl ether)类共溶剂;及(d)余量的有机溶剂的光致抗蚀剂组合物,其在真空干燥时不会形成倒锥形,具有优异的涂布均匀度,而且能够防止产生涂布斑点。
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