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公开(公告)号:CN101738854A
公开(公告)日:2010-06-16
申请号:CN200910209666.7
申请日:2009-11-04
申请人: 株式会社东进世美肯
摘要: 本发明涉及一种显示器元件用图案形成方法,其用于形成可适用于剥离工序的凹割形状轮廓。本发明通过使用特定结构的聚合化合物来增加感光速度,并可在形成多层光刻胶层时容易形成凹割形状轮廓,从而容易适用于剥离工序。另外,还可以形成大厚度的图案,并且可以省略工艺中的蚀刻工序,从而可以实现工序简单化。
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公开(公告)号:CN106502049A
公开(公告)日:2017-03-15
申请号:CN201610800081.2
申请日:2016-08-31
申请人: 株式会社东进世美肯
摘要: 本发明涉及一种用于铜膜的光刻胶组合物,其包含:酚醛清漆树脂5重量%至30重量%;二叠氮类感光性化合物2重量%至10重量%;由以下化学式1表示的噻二唑类化合物0.005重量%至0.8重量%;以及余量有机溶剂,在所述化学式1中,R1和R2分别独立地表示氢、具有1至20个碳原子的烷基、氨基或巯基,此时上述R1和R2中的一个是巯基。根据本发明的光刻胶组合物,其在铜膜基板上提高蚀刻性能,使得与基板的附着力及电路线宽均匀性皆优秀。因此,在工业现场将铜膜基板上的蚀刻偏差(etch bias)降到最低,从而容易实现信号传递特性及布线宽度减小、高分辨率等。[化学式1]
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公开(公告)号:CN102566270A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201110353244.4
申请日:2011-11-07
申请人: 株式会社东进世美肯
摘要: 本发明涉及一种光致抗蚀剂组合物,更具体地,涉及一种包含(a)5~30重量%的酚醛清漆树脂;(b)2~10重量%的二叠氮类感光性化合物;(c)1~70重量%的二烷基醚(dialkyl ether)类共溶剂;及(d)余量的有机溶剂的光致抗蚀剂组合物,其在真空干燥时不会形成倒锥形,具有优异的涂布均匀度,而且能够防止产生涂布斑点。
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公开(公告)号:CN106502049B
公开(公告)日:2021-06-15
申请号:CN201610800081.2
申请日:2016-08-31
申请人: 株式会社东进世美肯
摘要: 本发明涉及一种用于铜膜的光刻胶组合物,其包含:酚醛清漆树脂5重量%至30重量%;二叠氮类感光性化合物2重量%至10重量%;由以下化学式1表示的噻二唑类化合物0.005重量%至0.8重量%;以及余量有机溶剂,在所述化学式1中,R1和R2分别独立地表示氢、具有1至20个碳原子的烷基、氨基或巯基,此时上述R1和R2中的一个是巯基。根据本发明的光刻胶组合物,其在铜膜基板上提高蚀刻性能,使得与基板的附着力及电路线宽均匀性皆优秀。因此,在工业现场将铜膜基板上的蚀刻偏差(etch bias)降到最低,从而容易实现信号传递特性及布线宽度减小、高分辨率等。[化学式1]
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公开(公告)号:CN104793464B
公开(公告)日:2019-12-24
申请号:CN201410795461.2
申请日:2014-12-18
IPC分类号: G03F7/004 , G03F7/075 , G03F7/20 , H01L21/336
摘要: 本发明公开光刻胶组合物、形成图案的方法和制造薄膜晶体管衬底的方法,所述组合物包括溶剂、酚醛清漆树脂、重氮类光敏剂、由以下化学式1表示的丙烯酰基化合物,在化学式1中,R1为氢原子或甲基,R2为芳族基团或烷基,所述烷基具有1‑1,000个碳原子且具有直链形状或支化形状,R3、R4和R5各自独立地为烷氧基,所述烷氧基具有1‑1,000个碳原子且具有直链形状或支化形状,并且X、Y和Z各自独立地为1‑100的整数。
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公开(公告)号:CN102566270B
公开(公告)日:2016-07-06
申请号:CN201110353244.4
申请日:2011-11-07
申请人: 株式会社东进世美肯
摘要: 本发明涉及一种光致抗蚀剂组合物,更具体地,涉及一种包含(a)5~30重量%的酚醛清漆树脂;(b)2~10重量%的二叠氮类感光性化合物;(c)1~70重量%的二烷基醚(dialkyl ether)类共溶剂;及(d)余量的有机溶剂的光致抗蚀剂组合物,其在真空干燥时不会形成倒锥形,具有优异的涂布均匀度,而且能够防止产生涂布斑点。
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公开(公告)号:CN104793464A
公开(公告)日:2015-07-22
申请号:CN201410795461.2
申请日:2014-12-18
IPC分类号: G03F7/004 , G03F7/075 , G03F7/20 , H01L21/336
摘要: 本发明公开光刻胶组合物、形成图案的方法和制造薄膜晶体管衬底的方法,所述组合物包括溶剂、酚醛清漆树脂、重氮类光敏剂、由以下化学式1表示的丙烯酰基化合物,在化学式1中,R1为氢原子或甲基,R2为芳族基团或烷基,所述烷基具有1-1,000个碳原子且具有直链形状或支化形状,R3、R4和R5各自独立地为烷氧基,所述烷氧基具有1-1,000个碳原子且具有直链形状或支化形状,并且X、Y和Z各自独立地为1-100的整数。
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