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公开(公告)号：CN113348619A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN201980089901.3
申请日：2019-11-08
申请人： 株式会社京三制作所
摘要： 本发明提供一种直流脉冲电源装置(1)，其具备：直流电源(10)、通过与直流电源连接的升压斩波电路产生脉冲输出的脉冲部(20A)、再生部(30)，再生部将升压斩波电路的直流电抗器(21A)的电抗器电压(VDCL)中的超过设定电压的电压量再生到直流电源。由此，将升压斩波电路的电压箝位在预定电压来抑制过剩的电压上升，并通过再生到直流电源，消除由电阻引起的能量消耗，提高向负载的电力供给效率。
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公开(公告)号：CN103477550A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201280018808.1
申请日：2012-02-23
申请人： 株式会社京三制作所
IPC分类号： H02M7/48
CPC分类号： H02M3/33569 , H02M7/48 , H02M2007/4815 , Y02B70/1441
摘要： 电流型逆变器的开关元件的控制中，不需要特别的控制，为了换流动作而通过通常的开关动作来防止开关元件的开关损失。在电流型逆变器装置的换流动作中，控制开关元件的驱动定时，使得生成换流源的开关元件和换流目标的开关元件都成为接通状态的重叠区间，基于具有该重叠区间的开关元件的控制来控制共振电路，通过共振电路的共振电流来降低开关元件的换流动作时的开关损失。利用具有重叠区间的开关元件的控制来控制共振电路的共振电流的生成，通过由该控制生成的共振电流，在换流时将换流源的开关元件的电流和电压设为零，降低换流动作时的开关损失。
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公开(公告)号：CN113692695A
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN201980095317.9
申请日：2019-11-08
申请人： 株式会社京三制作所
摘要： 本发明的直流脉冲电源装置具备电压钳位部，该电压钳位部包含与直流电抗器并联连接的电容器，以抑制由于脉冲部所具备的斩波电路的直流电抗器的漏电感而产生的浪涌电压的上升。在作为脉冲模式的初始阶段的脉冲动作的起动时，在直到电容器电压被充电至足以将直流电抗器的磁饱和复位的电压为止的期间，控制斩波电路的脉冲动作的频率。
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公开(公告)号：CN104604070B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201280075647.X
申请日：2012-09-05
申请人： 株式会社京三制作所
IPC分类号： H02J1/00
CPC分类号： H02M3/33507 , H01J37/32027 , H01J37/32045 , H01T1/02 , H01T15/00 , H02J1/00 , H02M1/36 , H02M3/156 , H02M7/5387 , H02M2001/007 , H02M2001/325 , H05H1/46 , H05H1/48 , H05H2001/4682
摘要： 通过使重新启动时的脉冲控制信号的相位与停止时的脉冲控制信号的相同一致，抑制重新启动时的逆变器的各相的输出电压变动以及向负载的供给电压的变动。在将直流电力供给给等离子体发生装置时，当在等离子体发生装置中发生了电弧放电时，停止直流电力的供给来降低电极或基板的损伤，并且，在电弧放电消弧时，重新开始直流电力的供给。在直流输出的停止/重新开始中，在停止时保持流过斩波部的电流来作为循环电流，在重新启动逆变器部时，通过将该循环电流供给给负载，来降低直流输出重新开始时的向负载的直流电力的供给延迟。
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公开(公告)号：CN105075087A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201380075356.5
申请日：2013-12-26
申请人： 株式会社京三制作所
CPC分类号： H02M5/458 , H02M1/36 , H02M3/1582 , H02M7/4807 , H02M2001/007
摘要： 在具备逆变器的电压型直流电源装置中，在电弧发生时抑制从逆变器向负载侧的电流供给。在电压型直流电源装置的直流输出的停止/恢复中，停止时使斩波部从逆变器分离，由此抑制电弧发生时的向负载的过剩电流，高速地进行电弧的消弧，保持流过斩波部的电流作为循环电流，并在逆变器的重新启动时向负载供给所保持的循环电流，由此减少电压型直流电源装置的直流输出的恢复时的、向负载的直流电力的供给延迟。
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公开(公告)号：CN105075402B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201380075362.0
申请日：2013-12-26
申请人： 株式会社京三制作所
CPC分类号： H02M7/53871 , H01J37/32027 , H01J37/3444 , H02M1/36 , H02M3/155 , H02M3/1582 , H02M7/48 , H02M2001/007 , H05H1/46
摘要： 在向等离子发生装置供给直流电力的直流电源装置中，能够使形成发生等离子放电的高压电压的装置结构变得简单且小型化。重复多次进行在直流电源装置具备的电压型降压斩波部中以微小时间流过短路电流而将能量积累在电抗器中的工序，向输出电容释放积累在电抗器中的能量，使输出电压逐渐上升，由此升压到点火设定电压。使用直流电源装置所具备的升压电路的开关元件来形成短路电流。重复基于短路电流的积累和释放的输出端的升压，由此使直流电源装置的输出端的电压上升至点火设定电压。
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公开(公告)号：CN105075402A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201380075362.0
申请日：2013-12-26
申请人： 株式会社京三制作所
CPC分类号： H02M7/53871 , H01J37/32027 , H01J37/3444 , H02M1/36 , H02M3/155 , H02M3/1582 , H02M7/48 , H02M2001/007 , H05H1/46
摘要： 在向等离子发生装置供给直流电力的直流电源装置中，能够使形成发生等离子放电的高压电压的装置结构变得简单且小型化。重复多次进行在直流电源装置具备的电压型降压斩波部中以微小时间流过短路电流而将能量积累在电抗器中的工序，向输出电容释放积累在电抗器中的能量，使输出电压逐渐上升，由此升压到点火设定电压。使用直流电源装置所具备的升压电路的开关元件来形成短路电流。重复基于短路电流的积累和释放的输出端的升压，由此使直流电源装置的输出端的电压上升至点火设定电压。
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公开(公告)号：CN103477550B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201280018808.1
申请日：2012-02-23
申请人： 株式会社京三制作所
IPC分类号： H02M7/48
CPC分类号： H02M3/33569 , H02M7/48 , H02M2007/4815 , Y02B70/1441
摘要： 电流型逆变器的开关元件的控制中，不需要特别的控制，为了换流动作而通过通常的开关动作来防止开关元件的开关损失。在电流型逆变器装置的换流动作中，控制开关元件的驱动定时，使得生成换流源的开关元件和换流目标的开关元件都成为接通状态的重叠区间，基于具有该重叠区间的开关元件的控制来控制共振电路，通过共振电路的共振电流来降低开关元件的换流动作时的开关损失。利用具有重叠区间的开关元件的控制来控制共振电路的共振电流的生成，通过由该控制生成的共振电流，在换流时将换流源的开关元件的电流和电压设为零，降低换流动作时的开关损失。
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公开(公告)号：CN113692694A
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN201980095311.1
申请日：2019-11-08
申请人： 株式会社京三制作所
摘要： 本发明的直流脉冲电源装置在脉冲动作的起动时，在直到电容器电压被充电至足以将直流电抗器的磁饱和复位的电压为止的期间，控制斩波电路的脉冲动作的占空比，使开关元件成为接通状态而使直流电抗器成为通电状态的脉冲宽度可变。通过逐渐增加脉冲宽度来抑制直流电抗器电流的增加程度，将直流电抗器电流抑制在磁饱和电平以下。由此，在脉冲动作的起动时，抑制直流电抗器的磁饱和。
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