公开(公告)号：CN1987347A

公开(公告)日：2007-06-27

申请号：CN200510003383.9

申请日：2005-12-23

Applicant: 株式会社先机

Inventor： 秋山吉宏 ,  杨勇 ,  秋山咲惠

IPC: G01B11/24

CPC classification number: G01N21/95607 ,  G01N21/95684 ,  G01N2021/95638 ,  H05K13/08 ,  Y10T29/53178

Abstract: 本发明揭示一种被检查体的外观检查装置，其目的在于在被检查体的外观检查上能构成扩展性好灵活的系统，另外，缩短基板等被检查体的检查时间，并提高检查精度。在基板(2)的外观检查装置(200)上，多台从属PC(140)和对基板(2)进行摄像的多个摄像单元(30)分别与所述多个摄像单元(30)的每一个对应设置，根据对应的摄像单元(30)摄得的基板(2)的摄像数据对基板(2)进行检查。该多台从属PC(140)的每一台对其它的从属PC(140)发送利用这些其它的从属PC(140)进行检查所需的公用数据。公用数据从由各从属PC(140)对应的摄像单元(30)拍摄的基板(2)的摄像数据中取得。从属PC(140)参照从各个其它的从属PC(140)接到的公用数据对基板(2)作外观检查。