公开(公告)号：CN114286737B

公开(公告)日：2024-10-08

申请号：CN202080039388.X

申请日：2020-06-04

Applicant: 株式会社可乐丽

Inventor： 加藤充 ,  菊池博文 ,  冈本知大 ,  加藤晋哉

IPC: B24B37/24 ,  B24B37/26 ,  B24B53/017 ,  H01L21/304

Abstract: 一种研磨垫，其包括具有研磨面的研磨层，研磨面具备：深槽区域，其具有由深度0.3mm以上的深槽或孔形成的第一图案；台面区域，其是除深槽区域以外的区域；台面区域具有：深度0.01～0.1mm的浅凹陷，其具有第二图案；多个岛状的台面部，其由浅凹陷包围，且水平方向的最大距离为8mm以下。

公开(公告)号：CN114286737A

公开(公告)日：2022-04-05

申请号：CN202080039388.X

申请日：2020-06-04

Applicant: 株式会社可乐丽

Inventor： 加藤充 ,  菊池博文 ,  冈本知大 ,  加藤晋哉

IPC: B24B37/24 ,  B24B37/26 ,  B24B53/017 ,  H01L21/304

Abstract: 一种研磨垫，其包括具有研磨面的研磨层，研磨面具备：深槽区域，其具有由深度0.3mm以上的深槽或孔形成的第一图案；台面区域，其是除深槽区域以外的区域；台面区域具有：深度0.01～0.1mm的浅凹陷，其具有第二图案；多个岛状的台面部，其由浅凹陷包围，且水平方向的最大距离为8mm以下。