公开(公告)号：CN113265645B

公开(公告)日：2023-10-31

申请号：CN202011531133.3

申请日：2020-12-22

Applicant: 株式会社国际电气

Inventor： 阿部贤卓 ,  岛信人 ,  冈田裕巳 ,  森田慎也 ,  大石护

IPC: C23C16/455 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供喷嘴设置夹具及使用了该喷嘴设置夹具的喷嘴安装方法，能够将喷嘴适当地安装于反应管。喷嘴设置夹具具备：下板，其具有与在内部配置喷嘴的处理容器的下端开口的周边部抵接的基准面；框架部，其固定于下板且相对于基准面向上方伸出；上板，其固定于框架部且具有检测处理容器内的喷嘴的位置的传感器；以及通知器，其固定于上板且根据传感器检测到的结果进行对作业者的通知。

公开(公告)号：CN113265645A

公开(公告)日：2021-08-17

申请号：CN202011531133.3

申请日：2020-12-22

Applicant: 株式会社国际电气

Inventor： 阿部贤卓 ,  岛信人 ,  冈田裕巳 ,  森田慎也 ,  大石护

IPC: C23C16/455 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供喷嘴设置夹具及使用了该喷嘴设置夹具的喷嘴安装方法，能够将喷嘴适当地安装于反应管。喷嘴设置夹具具备：下板，其具有与在内部配置喷嘴的处理容器的下端开口的周边部抵接的基准面；框架部，其固定于下板且相对于基准面向上方伸出；上板，其固定于框架部且具有检测处理容器内的喷嘴的位置的传感器；以及通知器，其固定于上板且根据传感器检测到的结果进行对作业者的通知。