公开(公告)号：CN109314074B

公开(公告)日：2023-07-04

申请号：CN201680086709.5

申请日：2016-09-29

Applicant: 株式会社国际电气

Inventor： 大石护 ,  松田康弘 ,  西田政哉

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明的目的在于降低由基板的位置错位造成的对生产效率的风险。提供以下的结构，该结构具备：载置部，其载置基板收容器；基板保持工具，其保持被收纳在基板收容器内的基板；各运送机构，其在载置部载置的基板收容器与基板保持工具之间进行基板的领取，并进行基板保持工具的升降以及旋转等运送动作；检测部，其被设置于该各运送机构中任意一个以上的运送机构，来检测振动；存储部，其预先登记基板的固有振动频率以及阈值；以及监视部，其对基于从检测部检测出的检测数据转换而得的转换数据的振动强度与上述阈值进行比较，监视基于转换数据的振动频率与基板的固有振动频率是否一致。

公开(公告)号：CN115132607A

公开(公告)日：2022-09-30

申请号：CN202210172166.6

申请日：2022-02-24

Applicant: 株式会社国际电气

Inventor： 嶋田宽哲 ,  上村大义 ,  谷山智志 ,  松永友树 ,  江尻靖则 ,  坂田雅和 ,  大石护

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种实现缩短针对处理后的基板进行冷却的冷却时间的冷却方法。在对处于由基板保持件保持的状态下的处理后的基板进行冷却的方法中，包括：第1冷却工序，朝向配置于基准位置的所述基板保持件供给气体，来冷却基板；停止所述气体的供给的停止工序；以及第2冷却工序，对由所述基板保持件的下部保持的处理后的所述基板进行冷却。

公开(公告)号：CN113265645B

公开(公告)日：2023-10-31

申请号：CN202011531133.3

申请日：2020-12-22

Applicant: 株式会社国际电气

Inventor： 阿部贤卓 ,  岛信人 ,  冈田裕巳 ,  森田慎也 ,  大石护

IPC: C23C16/455 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供喷嘴设置夹具及使用了该喷嘴设置夹具的喷嘴安装方法，能够将喷嘴适当地安装于反应管。喷嘴设置夹具具备：下板，其具有与在内部配置喷嘴的处理容器的下端开口的周边部抵接的基准面；框架部，其固定于下板且相对于基准面向上方伸出；上板，其固定于框架部且具有检测处理容器内的喷嘴的位置的传感器；以及通知器，其固定于上板且根据传感器检测到的结果进行对作业者的通知。

公开(公告)号：CN113265645A

公开(公告)日：2021-08-17

申请号：CN202011531133.3

申请日：2020-12-22

Applicant: 株式会社国际电气

Inventor： 阿部贤卓 ,  岛信人 ,  冈田裕巳 ,  森田慎也 ,  大石护

IPC: C23C16/455 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供喷嘴设置夹具及使用了该喷嘴设置夹具的喷嘴安装方法，能够将喷嘴适当地安装于反应管。喷嘴设置夹具具备：下板，其具有与在内部配置喷嘴的处理容器的下端开口的周边部抵接的基准面；框架部，其固定于下板且相对于基准面向上方伸出；上板，其固定于框架部且具有检测处理容器内的喷嘴的位置的传感器；以及通知器，其固定于上板且根据传感器检测到的结果进行对作业者的通知。

公开(公告)号：CN109314074A

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201680086709.5

申请日：2016-09-29

Applicant: 株式会社国际电气

Inventor： 大石护 ,  松田康弘 ,  西田政哉

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明的目的在于降低由基板的位置错位造成的对生产效率的风险。提供以下的结构，该结构具备：载置部，其载置基板收容器；基板保持工具，其保持被收纳在基板收容器内的基板；各运送机构，其在载置部载置的基板收容器与基板保持工具之间进行基板的领取，并进行基板保持工具的升降以及旋转等运送动作；检测部，其被设置于该各运送机构中任意一个以上的运送机构，来检测振动；存储部，其预先登记基板的固有振动频率以及阈值；以及监视部，其对基于从检测部检测出的检测数据转换而得的转换数据的振动强度与上述阈值进行比较，监视基于转换数据的振动频率与基板的固有振动频率是否一致。

公开(公告)号：CN215933545U

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN201990001313.5

申请日：2019-02-01

Applicant: 株式会社国际电气

Inventor： 大石护

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07

Abstract: 本实用新型具备：保持基板的基板保持件；具备直接操作基板的末端执行器和使末端执行器移动的驱动机构，并向基板保持件移载基板或者从基板保持件移载基板的基板移载机；检测末端执行器的振动的振动传感器；控制基板移载机的控制部；以及解析装置，其能够接收表示预定的移载动作的开始和结束的信号地与所述控制部连接，并且能够接收所述末端执行器的振动的时域数据地与所述振动传感器连接，在所述预定的移载动作中，判定末端执行器或末端执行器上的基板与基板保持件或基板保持件上的基板是否相互接触，控制部将表示预定的移载动作的开始和结束的信号输出至解析装置。