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公开(公告)号：CN109716257B
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN201780055407.6
申请日：2017-08-25
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 安田忠弘 , 帕特里克·艾伦·洛厄里 , 威廉·怀利·怀特 , 布莱恩·詹姆斯·埃伯特 , 麦斯米兰·马丁·冈德拉赫 , 约翰·托马斯·迪克
Abstract: 为了提供一种不仅能达成目标流量比率而且能对到达成该目标流量比率为止所耗费的时间进行控制的流量比率控制装置，本流量比率控制装置包括：主流道；多个分支流道，从所述主流道的末端分支；多个流体控制装置，设于各个分支流道上，分别包括阀以及配置于所述阀的下游侧的压力式流量传感器；以及动作设定部，基于目标流量比率进行设定，以使多个流体控制装置中的任意一个流体控制装置以流速控制模式进行动作，并且使除此以外的流体控制装置以流量控制模式进行动作，所述流速控制模式是用于对比各个阀更靠上游侧的流体的流速进行控制的模式，所述流量控制模式是基于所述目标流量来控制流量的模式。
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公开(公告)号：CN118369515A
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202280080927.3
申请日：2022-12-08
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 安德鲁·韦恩·普莱斯 , 艾拉·本杰明·哈特曼 , 埃斯特班·丹尼尔·冈萨雷斯 , 威廉·怀利·怀特 , 弗吉尼亚·安·米勒
IPC: F15D1/02
Abstract: 提供了一种流动限制器，其包括具有流动通道的第一片材和堆叠在第一片材上的第二片材。在第二片材中设置有孔。流动通道包括第一片材的表面中的凹槽，该凹槽与第一片材的周边区域处的扩展区连通。第二片材的周边边缘在扩展区中与第一片材接触。
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公开(公告)号：CN109716257A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201780055407.6
申请日：2017-08-25
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 安田忠弘 , 帕特里克·艾伦·洛厄里 , 威廉·怀利·怀特 , 布莱恩·詹姆斯·埃伯特 , 麦斯米兰·马丁·冈德拉赫 , 约翰·托马斯·迪克
CPC classification number: G05D7/0664 , G01F1/00 , G01F1/48 , G05D7/06 , G05D11/13 , G05D11/132
Abstract: 为了提供一种不仅能达成目标流量比率而且能对到达成该目标流量比率为止所耗费的时间进行控制的流量比率控制装置，本流量比率控制装置包括：主流道；多个分支流道，从所述主流道的末端分支；多个流体控制装置，设于各个分支流道上，分别包括阀以及配置于所述阀的下游侧的压力式流量传感器；以及动作设定部，基于目标流量比率进行设定，以使多个流体控制装置中的任意一个流体控制装置以流速控制模式进行动作，并且使除此以外的流体控制装置以流量控制模式进行动作，所述流速控制模式是用于对比各个阀更靠上游侧的流体的流速进行控制的模式，所述流量控制模式是基于所述目标流量来控制流量的模式。
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公开(公告)号：CN108227762A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711283306.2
申请日：2017-12-07
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 丹尼尔·托马斯·马德 , 威廉·怀利·怀特
CPC classification number: G01F9/003 , G01F1/86 , G01F25/0046 , G05D7/0635
Abstract: 本发明提供流量计算系统和流量计算方法，能高精度地校准流体控制设备(MFC)的流量。所述流量计算系统(200)包括：封入有气体的容器(10)；放置容器(10)的重量测量部(20)；以及连接容器(10)和流体控制设备(MFC)并流通气体的气体管道(L1)，在容器(10)放置于重量测量部(20)上的状态下，从容器(10)向流体控制设备(MFC)或者从流体控制设备(MFC)向容器(10)流通气体，根据从重量测量部(20)输出的输出值，计算流体控制设备(MFC)中流通的气体流量，容器(10)和重量测量部(20)配置在被减压了的减压室(40)内。
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