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公开(公告)号：CN109716257B
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN201780055407.6
申请日：2017-08-25
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 安田忠弘 , 帕特里克·艾伦·洛厄里 , 威廉·怀利·怀特 , 布莱恩·詹姆斯·埃伯特 , 麦斯米兰·马丁·冈德拉赫 , 约翰·托马斯·迪克
Abstract: 为了提供一种不仅能达成目标流量比率而且能对到达成该目标流量比率为止所耗费的时间进行控制的流量比率控制装置，本流量比率控制装置包括：主流道；多个分支流道，从所述主流道的末端分支；多个流体控制装置，设于各个分支流道上，分别包括阀以及配置于所述阀的下游侧的压力式流量传感器；以及动作设定部，基于目标流量比率进行设定，以使多个流体控制装置中的任意一个流体控制装置以流速控制模式进行动作，并且使除此以外的流体控制装置以流量控制模式进行动作，所述流速控制模式是用于对比各个阀更靠上游侧的流体的流速进行控制的模式，所述流量控制模式是基于所述目标流量来控制流量的模式。
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公开(公告)号：CN109716257A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201780055407.6
申请日：2017-08-25
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 安田忠弘 , 帕特里克·艾伦·洛厄里 , 威廉·怀利·怀特 , 布莱恩·詹姆斯·埃伯特 , 麦斯米兰·马丁·冈德拉赫 , 约翰·托马斯·迪克
CPC classification number: G05D7/0664 , G01F1/00 , G01F1/48 , G05D7/06 , G05D11/13 , G05D11/132
Abstract: 为了提供一种不仅能达成目标流量比率而且能对到达成该目标流量比率为止所耗费的时间进行控制的流量比率控制装置，本流量比率控制装置包括：主流道；多个分支流道，从所述主流道的末端分支；多个流体控制装置，设于各个分支流道上，分别包括阀以及配置于所述阀的下游侧的压力式流量传感器；以及动作设定部，基于目标流量比率进行设定，以使多个流体控制装置中的任意一个流体控制装置以流速控制模式进行动作，并且使除此以外的流体控制装置以流量控制模式进行动作，所述流速控制模式是用于对比各个阀更靠上游侧的流体的流速进行控制的模式，所述流量控制模式是基于所述目标流量来控制流量的模式。
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公开(公告)号：CN106066150B
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201610251523.2
申请日：2016-04-21
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 帕特里克·艾伦·洛厄里 , 约翰·托马斯·迪克 , 迈克尔·亚历克斯·克雷默
IPC: G01B7/14
CPC classification number: G01P3/487 , G01D5/145 , G01D11/245 , G01F1/00 , G01F1/20 , G01F15/003 , G01F15/005 , G01F15/022 , G05D7/0635
Abstract: 本发明涉及一种微定位间隙传感器组件，其包括结构壳体和固定连接并形成防止流体进入的屏障的挠性隔膜。所述结构壳体包括与述挠性隔膜垂直连接的轴、具有一个或多个支柱的第一保持件、第二保持件和平行板间隙传感器。所述平行板间隙传感器包括非接触感测板和目标板，所述非接触感测板偏压在第一保持件的限定所述非接触感测板的平面的一部分上并且从第二保持件接收第一保持件的反向偏压力，所述目标板由导电的顺磁性材料构成。所述平行板间隙传感器构造成使得所述目标板或所述非接触感测板之一的位移改变所述目标板与所述非接触感测板之间的距离。
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公开(公告)号：CN106066150A
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201610251523.2
申请日：2016-04-21
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 帕特里克·艾伦·洛厄里 , 约翰·托马斯·迪克 , 迈克尔·亚历克斯·克雷默
IPC: G01B7/14
CPC classification number: G01P3/487 , G01D5/145 , G01D11/245 , G01F1/00 , G01F1/20 , G01F15/003 , G01F15/005 , G01F15/022 , G05D7/0635 , G01B7/14
Abstract: 本发明涉及一种微定位间隙传感器组件，其包括结构壳体和固定连接并形成防止流体进入的屏障的挠性隔膜。所述结构壳体包括与述挠性隔膜垂直连接的轴、具有一个或多个支柱的第一保持件、第二保持件和平行板间隙传感器。所述平行板间隙传感器包括非接触感测板和目标板，所述非接触感测板偏压在第一保持件的限定所述非接触感测板的平面的一部分上并且从第二保持件接收第一保持件的反向偏压力，所述目标板由导电的顺磁性材料构成。所述平行板间隙传感器构造成使得所述目标板或所述非接触感测板之一的位移改变所述目标板与所述非接触感测板之间的距离。
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