-
公开(公告)号：CN111288199B
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN201911148057.5
申请日：2019-11-21
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: F16K31/00
Abstract: 本发明提供一种压电致动器(100)和流体控制阀(200)，例如与以往相比能够效率良好地使液体材料气化，为此压电致动器(100)包括：压电堆(1)，交替层叠有压电陶瓷层和电极层；直流电压施加电路(2)，向所述压电堆(1)的至少一部分施加直流电压而使其位移；以及振动电压施加电路(3)，向所述压电堆(1)的至少一部分施加规定频率以上的电压而使其振动。
-
公开(公告)号：CN107448614A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201710229874.8
申请日：2017-04-07
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供不容易产生污染的流体控制阀(3)和流体控制装置，流体控制装置使用所述流体控制阀(3)，为此，阀座构件(4)和阀体构件(6)中的至少任意一方包括金属制的基体(61)以及树脂层(62)，所述树脂层(62)覆盖所述基体(61)的表面并形成阀座面(4a)或接触阀座的面(6a)，所述树脂层(62)与所述基体(61)直接化学结合。
-
公开(公告)号：CN102966741B
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201210310859.3
申请日：2012-08-28
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 林繁之
CPC classification number: F16K31/007 , F16K1/44 , F16K1/50 , F16K47/00
Abstract: 本发明提供一种流体控制阀，能防止污染通过流体控制阀的流体，并能防止阀体相对于移动方向倾斜或振动。所述流体控制阀包括：阀体6），与阀室（52）的内侧的面隔开规定间隔配置在阀室（52）内，能与设于所述阀室（52）内的阀座4）接触或分离；驱动部件（7），对阀体（6）施加朝向开阀方向的作用力；阀体复位弹簧（8），对阀体6）施加朝向关阀方向的作用力；以及倾斜抑制弹簧（9），对阀体（6）施加朝向消除阀体（6）相对于开关方向的倾斜的方向的作用力。
-
公开(公告)号：CN105144013A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201480023273.6
申请日：2014-10-15
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G05D7/06 , F16K27/02 , F16K31/007 , F16K47/08 , G05D7/01
Abstract: 本发明提供一种流体控制阀，不损害压力和流量等流体控制的精度，能够减小内部容积并提高例如下降响应性能。所述流体控制阀包括：阀座部(61)；阀体(4)，以能相对于所述阀座部(61)接触分离的方式设置；流阻(5)；以及一对夹持构件(H)，夹持所述流阻(5)，所述流阻(5)和所述一对夹持构件(H)形成阀内空间(S2)，所述阀内空间(S2)收容所述阀体(4)或使所述阀体(4)移动的驱动构件的至少一部分，流体从所述阀内空间(S2)通过所述流阻(5)后向外部流出。
-
公开(公告)号：CN118414509A
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202280084671.3
申请日：2022-10-20
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流量控制阀、流量控制阀的制造方法和流量控制装置，流量控制阀(4)具备：阀座部(41)、阀芯(42)、驱动部(43)、经由隔膜部(48)支承阀芯的支承体(44)。阀芯还具有：相对面(42F)，相对于落座面(42S)位于与阀座面(41S)相反的一侧；以及周面(42P)，连结落座面和相对面。隔膜部在比相对面靠落座面侧的位置与阀芯的周面连结。支承体具有：第一面(44S1)，以隔膜部的膜面的位置为基准，位于与相对面相同的一侧；以及第二面(44S2)，位于比第一面靠阀座部侧。在隔膜部为无变形的状态时，相对面和第一面位于同一面上。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107448614B
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201710229874.8
申请日：2017-04-07
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供不容易产生污染的流体控制阀(3)和半导体制造装置，半导体制造装置使用所述流体控制阀(3)，为此，阀座构件(4)和阀体构件(6)中的至少任意一方包括金属制的基体(61)以及树脂层(62)，所述树脂层(62)覆盖所述基体(61)的表面并形成阀座面(4a)或接触阀座的面(6a)，所述树脂层(62)与所述基体(61)直接化学结合。
-
公开(公告)号：CN104075006B
公开(公告)日：2018-09-11
申请号：CN201410085507.1
申请日：2014-03-10
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供一种流体控制阀，流体控制阀具备的隔膜结构具有弱反弹性且即使不从致动器施加大的力也能够大幅变形从而增大行程，并且即使隔膜结构较薄形成也很难发生缺陷和不良，从而能够实现流体控制阀的大口径和大输出化。流体控制阀(V)具有隔膜结构(4)和按压所述隔膜结构(4)的致动器(3)，所述隔膜结构(4)包括：形成为筒状且被所述致动器(3)按压的突出部(42)、从所述突出部(42)的基端相对于该突出部(42)向外侧扩展的凸缘部(41)、以及形成于所述凸缘部(41)的外周并被安装于其他构件的支承部(FI)，所述凸缘部(41)形成为膜状。
-
公开(公告)号：CN103671939B
公开(公告)日：2018-09-11
申请号：CN201310353899.0
申请日：2013-08-14
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供阀部件和流体控制阀，能够提高流体控制阀封闭时的密封性，并且能够长时间保持耐久性并提高稳定性，该阀部件构成阀座面（4a）或接合面（6a）的一方，其包括：凹部（61），形成在与阀座面（4a）相对的对置面上；以及树脂涂层（62），形成在凹部（61）内，与阀座面（4a）接触。
-
公开(公告)号：CN102549393B
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201080045528.0
申请日：2010-09-17
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G01F1/36 , G01F1/88 , G05D7/0635 , Y10T137/7759
Abstract: 本发明提供流量测量机构、质量流量控制器以及压力传感器。所述流量测量机构包括：主体单元，具有被测量的对象流体流动的内部流路；以及压力传感器，安装在所述主体单元上，对内部流路的压力进行检测，所述流量测量机构能够基于所述压力传感器检测到的流体压力算出所述流体的流量，所述主体单元具有长边方向，并且将部件安装面设定为与所述长边方向平行的面，以感压面与所述部件安装面大致垂直且与所述长边方向大致平行的方式，将所述压力传感器安装在所述部件安装面上。由此不会导致压力测量的灵敏度降低，并且与以往相比较，可以显著地减小宽度方向尺寸。
-
公开(公告)号：CN117588596A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202310960736.2
申请日：2023-08-01
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供一种流体控制阀和流体控制装置。本发明通过减小包含阀芯的磁路的磁阻，从而能够以更小的电流或电压来进行流体控制。流体控制阀包括：流道块(2)，形成有内部流道(2R)；节流器(5)，固定于流道块(2)，具有阀座面(5a)；由磁体形成的阀芯(6)，具有落座于阀座面(5a)的落座面(6a)；以及致动器部(7)，通过磁力驱动阀芯(6)，致动器部(7)具有：铁芯(71)，与阀芯(6)的落座面(6a)相反侧的面(6b)相对设置；螺线管线圈(72)，卷绕于铁芯(71)；以及由磁体形成的壳体(73)，收容铁芯(71)和螺线管线圈(72)，壳体(73)延伸到包围阀芯(6)的周围的位置。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
23
records
(took 0.025 seconds)
