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公开(公告)号：CN1319176A
公开(公告)日：2001-10-24
申请号：CN99811112.0
申请日：1999-07-22
申请人： 株式会社安川电机
CPC分类号： G01D5/24428
摘要： 本发明提供一种绝对编码器,它能通过完成简单的操作处理来产生绝对值信号。在本发明中,相位信号φ0至φ3用j位数字信号表示,从相位差信号φ01=c减去用2K1(式中K1为整数)除相位信号φ0所得的信号b,产生节距数(a0－a1)的绝对值信号A01=f,以及从作为高位的φ01和作为低位的φ0减去该信号所得的信号的高k1位的信号,然后从相位差信号φ02=h减去用2K2除相位信号A01=f所得的信号g(式中K2是整数),产生节距数(a0－a2)的绝对值信号A02=k,以及从作为高位的φ02和作为低位的f减去该信号而得到的信号的高k2位的信号,并依次执行该过程,以此产生节距较长的绝对值信号,从节距较短的信号到节距较长的信号依次处理信号,以此消除无法确定节距数的状态,并且狭缝间相位误差可取大的允差。还可以通过PLL修正和调整标尺高速旋转时相位差信号的误差。
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公开(公告)号：CN1659695A
公开(公告)日：2005-08-24
申请号：CN03812864.0
申请日：2003-04-11
申请人： 株式会社安川电机
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/027 , G01B11/00
CPC分类号： G03F9/7011 , H01L21/681 , H01L23/544 , H01L2223/54493 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 本发明提供一种晶片预对准装置和方法，可以简单地判断出晶片(1)是否到达了规定的计测位置，并且在到达了规定的位置上时向传感器控制器10输出计测指令，开始进行计测。该晶片预对准装置包括晶片转动单元(2)；转动检测单元(3)；向晶片的边缘部投光的投光单元(9)；配置成直线状的CCD线性传感器(26)；检测出晶片的边缘位置并求出取向面位置、凹口位置、以及中心位置中的至少一个的信号处理单元(10)、(17)，其特征在于，还具有：接收转动检测单元的信号并转换为转动位置信息的增减计数器(21a)；保存间隔角度转动时的转动位置信息的计测角度设定寄存器(21b)；对计测角度设定寄存器的设定值和增减计数器的计数值进行比较的比较器(21c)。
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公开(公告)号：CN1319143C
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN03812864.0
申请日：2003-04-11
申请人： 株式会社安川电机
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/027 , G01B11/00
CPC分类号： G03F9/7011 , H01L21/681 , H01L23/544 , H01L2223/54493 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 本发明提供一种晶片预对准装置和方法，可以简单地判断出晶片(1)是否到达了规定的计测位置，并且在到达了规定的位置上时向传感器控制器10输出计测指令，开始进行计测。该晶片预对准装置包括晶片转动单元(2)；转动检测单元(3)；向晶片的边缘部投光的投光单元(9)；配置成直线状的CCD线性传感器(26)；检测出晶片的边缘位置并求出取向面位置、凹口位置、以及中心位置中的至少一个的信号处理单元(10)、(17)，其特征在于，还具有：接收转动检测单元的信号并转换为转动位置信息的增减计数器(21a)；保存间隔角度转动时的转动位置信息的计测角度设定寄存器(21b)；对计测角度设定寄存器的设定值和增减计数器的计数值进行比较的比较器(21c)。
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公开(公告)号：CN1188663C
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN99811112.0
申请日：1999-07-22
申请人： 株式会社安川电机
CPC分类号： G01D5/24428
摘要： 本发明提供一种绝对编码器，它能通过完成简单的操作处理来产生绝对值信号。在本发明中，相位信号φ0至φ3用j位数字信号表示，从相位差信号φ01＝c减去用2K1(式中K1为整数)除相位信号φ0所得的信号b，产生节距数(a0-a1)的绝对值信号A01＝f，以及从作为高位的φ01和作为低位的φ0减去该信号所得的信号的高k1位的信号，然后从相位差信号φ02＝h减去用2K2除相位信号A01＝f所得的信号g(式中K2是整数)，产生节距数(a0-a2)的绝对值信号A02＝k，以及从作为高位的φ02和作为低位的f减去该信号而得到的信号的高k2位的信号，并依次执行该过程，以此产生节距较长的绝对值信号，从节距较短的信号到节距较长的信号依次处理信号，以此消除无法确定节距数的状态，并且狭缝间相位误差可取大的允差。还可以通过PLL修正和调整标尺高速旋转时相位差信号的误差。
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