公开(公告)号：CN102648518B

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201080046237.3

申请日：2010-10-20

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 河江国博 ,  关忠 ,  横田宗泰 ,  小暮清

IPC: H01L21/673 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  G03F7/7075 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/6875

Abstract: 基板支承装置(T)，是用以支承基板(P)，其特征在于，具备：装载部(20)，用以装载基板；以及至少一个支承部(TM)，从装载部突设，支承装载于装载部的基板的一部分；支承部具有固定于装载部的基部(22)，及设成可相对基部移动、与装载于装载部的基板抵接的抵接部(23)。

公开(公告)号：CN102648518A

公开(公告)日：2012-08-22

申请号：CN201080046237.3

申请日：2010-10-20

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 河江国博 ,  关忠 ,  横田宗泰 ,  小暮清

IPC: H01L21/673 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  G03F7/7075 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/6875

Abstract: 基板支承装置(T)，是用以支承基板(P)，其特征在于，具备：装载部(20)，用以装载基板；以及至少一个支承部(TM)，从装载部突设，支承装载于装载部的基板的一部分；支承部具有固定于装载部的基部(22)，及设成可相对基部移动、与装载于装载部的基板抵接的抵接部(23)。