公开(公告)号：CN102648518B

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201080046237.3

申请日：2010-10-20

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 河江国博 ,  关忠 ,  横田宗泰 ,  小暮清

IPC: H01L21/673 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  G03F7/7075 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/6875

Abstract: 基板支承装置(T)，是用以支承基板(P)，其特征在于，具备：装载部(20)，用以装载基板；以及至少一个支承部(TM)，从装载部突设，支承装载于装载部的基板的一部分；支承部具有固定于装载部的基部(22)，及设成可相对基部移动、与装载于装载部的基板抵接的抵接部(23)。

公开(公告)号：CN102648518A

公开(公告)日：2012-08-22

申请号：CN201080046237.3

申请日：2010-10-20

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 河江国博 ,  关忠 ,  横田宗泰 ,  小暮清

IPC: H01L21/673 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  G03F7/7075 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/6875

Abstract: 基板支承装置(T)，是用以支承基板(P)，其特征在于，具备：装载部(20)，用以装载基板；以及至少一个支承部(TM)，从装载部突设，支承装载于装载部的基板的一部分；支承部具有固定于装载部的基部(22)，及设成可相对基部移动、与装载于装载部的基板抵接的抵接部(23)。

公开(公告)号：CN102696099A

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：CN201080053764.7

申请日：2010-11-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  关忠 ,  柳川卓也

IPC: H01L21/677 ,  G03F7/20 ,  B65G49/06

CPC classification number: G03F7/70733 ,  B65G49/064 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/67748

Abstract: 本发明基板搬出装置(70)藉由使基板载台(20)上装载的已完成曝光的基板(P)在装载于被收容在基板保持具(50)内的基板托盘(90)上的状态下，移动于与水平面平行的单轴方向(X轴方向)据以从基板保持具(50)搬出。相对于此，基板搬入装置(80)则系在将待搬入基板载台(20)的未曝光基板(P)装载于另一基板托盘(90)上的状态下使其在基板更换位置待机，待完成曝光的基板(P)从基板载台(20)搬出后，使该另一基板托盘(90)降下据以将未曝光的基板(P)装载于基板保持具(50)上。