公开(公告)号：CN101611470B

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN200880004910.X

申请日：2008-03-04

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  白数广 ,  工藤芳彦

IPC: H01L21/027 ,  B23Q1/62 ,  G03F7/20 ,  G12B5/00 ,  H01L21/68

CPC classification number: G03F7/70758 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70791 ,  H01L21/682

Abstract: 本发明提高一种移动体装置、图案形成装置及图案形成方法、设备制造方法、移动体装置的制造方法以及移动体驱动方法。分体地构成基板载台(21)、支承基板载台(21)的自重的自重消除机构(27)。由此与一体地构成基板载台和自重消除机构的情况相比能够使基板载台(包括基板载台的构造体)小型化、轻型化。而且，通过X驱动机构(97X)、Y驱动机构(97Y)对X粗调载台(23X)、Y粗调载台(23Y)进行的移动，在XY平面内驱动基板载台，并且也驱动支承基板载台的自重的自重消除机构。由此，即使分体地构成基板载台和自重消除机构，也可无阻碍地驱动基板载台。

公开(公告)号：CN101611470A

公开(公告)日：2009-12-23

申请号：CN200880004910.X

申请日：2008-03-04

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  白数广 ,  工藤芳彦

IPC: H01L21/027 ,  B23Q1/62 ,  G03F7/20 ,  G12B5/00 ,  H01L21/68

CPC classification number: G03F7/70758 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70791 ,  H01L21/682

Abstract: 本发明提高一种移动体装置、图案形成装置及图案形成方法、设备制造方法、移动体装置的制造方法以及移动体驱动方法。分体地构成基板载台(21)、支承基板载台(21)的自重的自重消除机构(27)。由此与一体地构成基板载台和自重消除机构的情况相比能够使基板载台(包括基板载台的构造体)小型化、轻型化。而且，通过X驱动机构(97X)、Y驱动机构(97Y)对X粗调载台(23X)、Y粗调载台(23Y)进行的移动，在XY平面内驱动基板载台，并且也驱动支承基板载台的自重的自重消除机构。由此，即使分体地构成基板载台和自重消除机构，也可无阻碍地驱动基板载台。