公开(公告)号：CN110520798B

公开(公告)日：2021-11-16

申请号：CN201880023081.3

申请日：2018-03-23

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  牛島康之

IPC: G03F7/20 ,  B65G49/06 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68

Abstract: 为了缩短基板交换所耗费的时间，物体交换装置具备：第一支承部(68)，其支承物体(P1)的第一面；第二支承部(152)，其从所述第一支承部接收所述物体，并支承所述物体的与所述第一面不同的第二面；以及驱动部(43)，其对将所述物体交接到了所述第二支承部的所述第一支承部(68)，向与所述物体不同的其他物体(P2)被搬入至所述第一支承部的物体交换位置进行驱动。

公开(公告)号：CN110520798A

公开(公告)日：2019-11-29

申请号：CN201880023081.3

申请日：2018-03-23

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  牛島康之

IPC: G03F7/20 ,  B65G49/06 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68

Abstract: 为了缩短基板交换所耗费的时间，物体交换装置具备：第一支承部(68)，其支承物体(P1)的第一面；第二支承部(152)，其从所述第一支承部接收所述物体，并支承所述物体的与所述第一面不同的第二面；以及驱动部(43)，其对将所述物体交接到了所述第二支承部的所述第一支承部(68)，向与所述物体不同的其他物体(P2)被搬入至所述第一支承部的物体交换位置进行驱动。