基准位置获取方法、基准位置获取装置、图案描绘方法、图案描绘装置、以及记录程序的记录媒体

    公开(公告)号:CN106019851B

    公开(公告)日:2018-05-25

    申请号:CN201610183193.8

    申请日:2016-03-28

    IPC分类号: G03F7/20 G03F9/00 H05K3/00

    摘要: 本发明涉及一种基准位置获取方法、基准位置获取装置、图案描绘方法、图案描绘装置、以及记录程序的记录媒体。从自设计上的图案即设计图案抽选的多个注目图像(91)中的每一个,获取相对于平行于第1方向的轴对称的第1形状(921)(步骤S22)。获取第1形状在第1方向上的长度的合计即第1总长度(步骤S23)。对垂直于第1方向的第2方向也进行同样的处理,而获取第2总长度(步骤S24、S25)。根据第1总长度以及第2总长度,获取表示注目图像适合于基准位置图像的程度的得分(步骤S26)。基于得分,决定多个基准位置,并获取对应的多个基准位置图像(93)。