引线接合装置、引线接合装置用电路以及半导体装置的制造方法

    公开(公告)号:CN109155260A

    公开(公告)日:2019-01-04

    申请号:CN201780031626.0

    申请日:2017-03-24

    IPC分类号: H01L21/60

    摘要: 包括:线轴(10)、夹持器(22)、焊炬电极(31)、高压电源电路(30)、断开检测电路(40)、切换线轴(10)与高压电源电路(30)或断开检测电路(40)的连接的第一切换开关(50)、以及使夹持器(22)与第一切换开关(50)的线轴侧的连接接通/关断的继电器(53),并且包括控制部(60),所述控制部(60)是将第一切换开关(50)设为高压电源电路侧,并且使继电器(53)关断而产生放电,将第一切换开关(50)设为断开检测电路侧,并且使继电器(53)接通而进行断开检测。因此,能够利用简单的结构,来抑制引线夹持器的电腐蚀,并且进行断开检测。

    两方向移动台
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102272910A

    公开(公告)日:2011-12-07

    申请号:CN200980153294.9

    申请日:2009-07-13

    IPC分类号: H01L21/60 G12B5/00

    摘要: 两方向移动台在用于焊接装置的XY台的Y方向电机,设有Y方向可动件(43),其包括可动臂(43a)和环状驱动线圈(44),所述可动臂(43a)一端固定在台,为沿着Y方向延伸的纤维强化塑料的长方形截面管,在各短边侧面设有沿Y方向延伸的开口(43b),与台一起,沿X、Y方向移动,所述驱动线圈(44)插入可动臂(43a)的开口(43b),安装在可动臂(43a),其局部从可动臂(43a)的开口(43b)朝着可动臂的宽度方向突出。由此,使得焊接装置高速化。

    两方向移动台
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102272910B

    公开(公告)日:2013-06-12

    申请号:CN200980153294.9

    申请日:2009-07-13

    IPC分类号: H01L21/60 G12B5/00

    摘要: 两方向移动台在用于焊接装置的XY台的Y方向电机,设有Y方向可动件(43),其包括可动臂(43a)和环状驱动线圈(44),所述可动臂(43a)一端固定在台,为沿着Y方向延伸的纤维强化塑料的长方形截面管,在各短边侧面设有沿Y方向延伸的开口(43b),与台一起,沿X、Y方向移动,所述驱动线圈(44)插入可动臂(43a)的开口(43b),安装在可动臂(43a),其局部从可动臂(43a)的开口(43b)朝着可动臂的宽度方向突出。由此,使得焊接装置高速化。

    静压导向装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101319692A

    公开(公告)日:2008-12-10

    申请号:CN200810109424.6

    申请日:2008-06-03

    IPC分类号: F16C32/06 F16C32/00

    摘要: 本发明涉及一种静压导向装置。本发明的课题在于,在利用磁铁产生的吸引力的静压导向装置中,能确保宽广的轴承面积。静压导向装置(10)包含导向台(12),移动台(20),安装在移动台(20)上的上浮量传感器(38)和控制部(80)。移动台(20)设有内侧部以及覆盖该内侧部的侧面和上面的外壳部。所述内侧部埋入包含磁轭(30)和电磁铁(32)的磁吸引部。内侧部在收纳磁轭(30)和电磁铁(32)后,用具有适当强度的材料填充其周围等的间隙空间,与外壳部一体化,移动面(22)作为一体被施以平坦化加工。在移动台(20)周围设有围槽(26),供给到这里的加压流体面向导向台(12)喷出。

    引线接合装置、其电路以及半导体装置的制造方法

    公开(公告)号:CN109155260B

    公开(公告)日:2021-10-29

    申请号:CN201780031626.0

    申请日:2017-03-24

    IPC分类号: H01L21/60

    摘要: 本发明提供一种引线接合装置、引线接合装置用电路及半导体装置的制造方法。包括:线轴、夹持器、焊炬电极、高压电源电路、断开检测电路、切换线轴与高压电源电路或断开检测电路的连接的第一切换开关、以及使夹持器与第一切换开关的线轴侧的连接接通/关断的继电器,并且包括控制部,所述控制部是将第一切换开关设为高压电源电路侧,并且使继电器关断而产生放电,将第一切换开关设为断开检测电路侧,并且使继电器接通而进行断开检测。因此,能够利用简单的结构,来抑制引线夹持器的电腐蚀,并且进行断开检测。