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公开(公告)号：CN106050919A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610581435.9
申请日：2016-07-22
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: F16C32/06
CPC classification number: F16C32/0614 , F16C32/0674 , F16C2322/39
Abstract: 本发明公开了一种真空预载气浮转台，所述气浮转台中的排气腔通过排气通道与外界大气连通。内、外支承环面设置止推节流器Ⅰ、Ⅱ，并进气通道Ⅰ连通。真空腔设置抽气孔，并与抽气通道连通。基座内孔设置有数个径向节流器，并与进气通道Ⅱ连通；止推板与转轴分别位于基座上方和内孔中，两者固定连接。转轴与基座内孔之间、止推板与基座上表面之间分别设置有一气膜支承间隙。进气通道Ⅰ、Ⅱ分别连接压力调节阀Ⅰ、Ⅱ，使基座上表面和基座内孔气膜压力分别可调。抽气通道与真空发生器、压力调节阀Ⅲ依次连接。本发明在开式气浮支承的基础上，引入真空预载作用，提高了开式气浮转台的稳定性，实现了双向刚度。本发明结构简单，制造容易，非常适用于各类机床、仪表的高精度回转运动场合。
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公开(公告)号：CN103796762A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201280044601.1
申请日：2012-08-08
Applicant: 日本精工株式会社
CPC classification number: B05B5/03 , B05B3/1035 , B05B5/0407 , B05B5/0415 , F01D1/026 , F16C32/0417 , F16C32/0618 , F16C32/0674 , F16C32/0696 , F01D1/08 , F01D15/06
Abstract: 主轴装置的涡轮叶片（9）具备朝向旋转方向的前方的前方面（21）和朝向后方并承受气体的后方面（22）。后方面（22）为具有曲率半径R1的凹状圆柱面，前方面（21）是在具有比R1大的曲率半径R2的凸状圆柱面（21a）与平面（21c）之间，配置具有比R1小的曲率半径R3的凸状圆柱面（21b），并使它们平滑地连续而成的面。构成前方面（21）的三个面中，凸状圆柱面（21a）隔着凸状圆柱面（21b）配置在流路的流入口侧，平面（21c）配置在流路的流出口侧。相邻的涡轮叶片（9）的对置的前方面（21）和后方面（22）所夹出的空间构成气体的流路，从喷嘴（10）喷出的气体从流路的流入口（31）流入，向沿着凹状圆柱面的圆弧状弯曲的方向流动并从流出口（32）流出。
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公开(公告)号：CN105485166A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201610025748.6
申请日：2016-01-15
Applicant: 洛阳中重自动化工程有限责任公司
CPC classification number: F16C32/0644 , B02C23/00 , F16C32/0662 , F16C32/0674
Abstract: 一种用于磨机动静压轴承的补油系统，涉及一种补油系统，包括动静压轴承（1）、控制器（2）、蓄能器（3）、常闭电磁阀（4）、调速阀（5）、常开电磁阀（6）、压力传感器（7）、安全阀组（8）、单向阀（10）、低压泵（11）、高压泵（12）、储油箱（13）和回油通道（14）合理的组合；本发明通过将磨机动静压轴承的补油系统设置为高压泵供油系统和低压泵供油系统，并在高压泵供油系统内设置蓄能器作为后备能源，利用简单的结构，实现当供电系统或供油站正常运行时，可自动为该系统补油，当供电系统或供油站一旦运行不正常，造成供油系统瘫痪时，该系统自动启动补油动作，为动静压轴承补油的目的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102678748B
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201110053278.1
申请日：2011-03-07
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: F16C32/06
CPC classification number: F16C32/0614 , F16C29/025 , F16C32/0674 , F16C2370/00 , G03F7/707 , G03F7/70783 , G03F7/70816
Abstract: 本发明的分体式气足用于支撑运动台在平台上作无摩擦运动，包括气足板、设置在所述气足板底部的气浮结构、设置在所述气足板上的真空预紧力结构，所述真空预紧力结构与所述气足板分体式连接。本发明的分体式气足气浮结构与真空预紧力结构分离，避免气足板在受到真空预紧力作用时产生弯曲变形，对气浮区域产生的影响。
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公开(公告)号：CN106958590A
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201610643885.6
申请日：2016-08-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: F16C32/0614 , F16C32/0674 , F16C41/004 , F16C41/007 , F16C2229/00 , F16C2233/00 , F16C2300/28 , F16C2370/00
Abstract: 多自由度解耦驱动的气/固复合式高精度直线运动基准装置属于精密测量与仪器技术领域；该装置包括从动系统、解耦系统和驱动系统；从动系统包括固体摩擦器、气浮导套、光电读数头、光栅尺、限位块、限位传感器和精密气浮导轨；解耦系统包括导轨连接部件、滚珠保持架、解耦支架、滚珠和块规A；驱动系统包括驱动电机、主动轮、传动带和从动轮；固体摩擦器包括摩擦块、固定板、摩擦压紧块、顶钉、弹簧、调整螺套和摩擦架；解耦系统两端分别与驱动系统的传动带和从动系统的精密气浮导轨固连；本发明有效解决了驱动系统对从动系统的干扰问题，建立了一种基于多自由度解耦的气/固复合式高精度直线运动基准装置。
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公开(公告)号：CN103796762B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201280044601.1
申请日：2012-08-08
Applicant: 日本精工株式会社
CPC classification number: B05B5/03 , B05B3/1035 , B05B5/0407 , B05B5/0415 , F01D1/026 , F16C32/0417 , F16C32/0618 , F16C32/0674 , F16C32/0696
Abstract: 主轴装置的涡轮叶片（9）具备朝向旋转方向的前方的前方面（21）和朝向后方并承受气体的后方面（22）。后方面（22）为具有曲率半径R1的凹状圆柱面，前方面（21）是在具有比R1大的曲率半径R2的凸状圆柱面（21a）与平面（21c）之间，配置具有比R1小的曲率半径R3的凸状圆柱面（21b），并使它们平滑地连续而成的面。构成前方面（21）的三个面中，凸状圆柱面（21a）隔着凸状圆柱面（21b）配置在流路的流入口侧，平面（21c）配置在流路的流出口侧。相邻的涡轮叶片（9）的对置的前方面（21）和后方面（22）所夹出的空间构成气体的流路，从喷嘴（10）喷出的气体从流路的流入口（31）流入，向沿着凹状圆柱面的圆弧状弯曲的方向流动并从流出口（32）流出。
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公开(公告)号：CN102678748A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201110053278.1
申请日：2011-03-07
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: F16C32/06
CPC classification number: F16C32/0614 , F16C29/025 , F16C32/0674 , F16C2370/00 , G03F7/707 , G03F7/70783 , G03F7/70816
Abstract: 本发明的分体式气足用于支撑运动台在平台上作无摩擦运动，包括气足板、设置在所述气足板底部的气浮结构、设置在所述气足板上的真空预紧力结构，所述真空预紧力结构与所述气足板分体式连接。本发明的分体式气足气浮结构与真空预紧力结构分离，避免气足板在受到真空预紧力作用时产生弯曲变形，对气浮区域产生的影响。
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公开(公告)号：CN101319692A
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：CN200810109424.6
申请日：2008-06-03
Applicant: 株式会社新川
CPC classification number: F16C29/025 , F16C29/12 , F16C32/0402 , F16C32/06 , F16C32/0603 , F16C32/0674
Abstract: 本发明涉及一种静压导向装置。本发明的课题在于，在利用磁铁产生的吸引力的静压导向装置中，能确保宽广的轴承面积。静压导向装置(10)包含导向台(12)，移动台(20)，安装在移动台(20)上的上浮量传感器(38)和控制部(80)。移动台(20)设有内侧部以及覆盖该内侧部的侧面和上面的外壳部。所述内侧部埋入包含磁轭(30)和电磁铁(32)的磁吸引部。内侧部在收纳磁轭(30)和电磁铁(32)后，用具有适当强度的材料填充其周围等的间隙空间，与外壳部一体化，移动面(22)作为一体被施以平坦化加工。在移动台(20)周围设有围槽(26)，供给到这里的加压流体面向导向台(12)喷出。
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