蒸镀掩模
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111424233B

    公开(公告)日:2022-04-01

    申请号:CN202010321037.X

    申请日:2016-12-30

    Inventor: 大河原健

    Abstract: 本发明提供一种蒸镀掩模,其包括:具有第1开口部的金属层;和设置在所述金属层的第1面侧的第1树脂层,所述蒸镀掩模的特征在于,所述蒸镀掩模具有:所述金属层与所述第1树脂层层叠的第1区域;和所述第1树脂层与所述金属层不层叠的第2区域,所述第1树脂层具有被所述第2区域包围的第2开口部,所述第2开口部的侧壁具有锥形形状。

    蒸镀掩模
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110741105A

    公开(公告)日:2020-01-31

    申请号:CN201880039459.9

    申请日:2018-03-29

    Abstract: 蒸镀掩模包括框架和被所述框架保持的金属膜,所述金属膜具有第一开口部和配置在所述第一开口部的周围的多个第二开口部,所述第二开口部的最大宽度小于所述第一开口部的最大宽度。所述多个第二开口部沿着所述第一开口部的轮廓配置。第一开口部的轮廓可以为圆形。

    蒸镀掩模
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111424233A

    公开(公告)日:2020-07-17

    申请号:CN202010321037.X

    申请日:2016-12-30

    Inventor: 大河原健

    Abstract: 本发明提供一种蒸镀掩模,其包括:具有第1开口部的金属层;和设置在所述金属层的第1面侧的第1树脂层,所述蒸镀掩模的特征在于,所述蒸镀掩模具有:所述金属层与所述第1树脂层层叠的第1区域;和所述第1树脂层与所述金属层不层叠的第2区域,所述第1树脂层具有被所述第2区域包围的第2开口部,所述第2开口部的侧壁具有锥形形状。

    蒸镀掩模
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110268089A

    公开(公告)日:2019-09-20

    申请号:CN201780085863.5

    申请日:2017-10-30

    Abstract: 本发明的目的是在使用掩模进行的成膜中实现高精度的图案成膜。本发明提供一种蒸镀掩模,其特征在于,包括:掩模主体,其具有形成有图案开口的图案部和包围该图案部的框部;掩模框架,其用于支承上述掩模主体的框部;和配置在上述掩模主体与上述掩模框架之间的中间部件,其具有与上述掩模框架对应的形状,上述掩模主体和上述中间部件的第一面接合,上述掩模框架和上述中间部件的与上述第一面相反一侧的面接合。

    荫罩、荫罩的制造方法和显示装置的制造方法

    公开(公告)号:CN107119253B

    公开(公告)日:2020-05-19

    申请号:CN201611256253.0

    申请日:2016-12-30

    Inventor: 大河原健

    Abstract: 本发明提供一种所堆积的成膜材料不易剥落的荫罩和使用该荫罩制造的显示装置。在通过蒸镀或者溅射使成膜材料堆积的成膜处理中用于图案形成的荫罩,其包括:设置在与成膜对象物相对的一侧的第1树脂膜;形成有缝隙的、设置在上述第1树脂膜的上方的金属部;和以覆盖上述金属部的上方的至少一部分的方式设置的第2树脂膜,上述第2树脂膜设置在暴露于上述成膜材料的一侧,上述第2树脂膜的表面被粗化。

    荫罩、荫罩的制造方法和显示装置的制造方法

    公开(公告)号:CN107119253A

    公开(公告)日:2017-09-01

    申请号:CN201611256253.0

    申请日:2016-12-30

    Inventor: 大河原健

    Abstract: 本发明提供一种所堆积的成膜材料不易剥落的荫罩和使用该荫罩制造的显示装置。在通过蒸镀或者溅射使成膜材料堆积的成膜处理中用于图案形成的荫罩,其包括:设置在与成膜对象物相对的一侧的第1树脂膜;形成有缝隙的、设置在上述第1树脂膜的上方的金属部;和以覆盖上述金属部的上方的至少一部分的方式设置的第2树脂膜,上述第2树脂膜设置在暴露于上述成膜材料的一侧,上述第2树脂膜的表面被粗化。

Patent Agency Ranking