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公开(公告)号:CN101614988B
公开(公告)日:2011-11-30
申请号:CN200810128900.9
申请日:2008-06-24
申请人: 株式会社日立制作所
摘要: 本发明提供一种导电图案形成装置,这种工艺配置能够将由于显影剂、清洗液那样的液体材料的逆流、漏液引起的图案或装置内的污染降低成最小限度。在该导电图案形成装置中,使用电子照相方式的导电图案形成装置中的显影/清洗装置配置在比感光体的中心更靠下部的区域,溶剂去除工序配置在感光体沿着上升方向旋转的区域,转印液涂敷/静电转印工序设置在比感光体的中心更靠上部且在感光体沿着下降方向旋转的区域。
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公开(公告)号:CN101614988A
公开(公告)日:2009-12-30
申请号:CN200810128900.9
申请日:2008-06-24
申请人: 株式会社日立制作所
摘要: 本发明提供一种导电图案形成装置,这种工艺配置能够将由于显影剂、清洗液那样的液体材料的逆流、漏液引起的图案或装置内的污染降低成最小限度。在该导电图案形成装置中,使用电子照相方式的导电图案形成装置中的显影/清洗装置配置在比感光体的中心更靠下部的区域,溶剂去除工序配置在感光体沿着上升方向旋转的区域,转印液涂敷/静电转印工序设置在比感光体的中心更靠上部且在感光体沿着下降方向旋转的区域。
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公开(公告)号:CN101114137B
公开(公告)日:2010-06-02
申请号:CN200710138350.4
申请日:2007-07-27
申请人: 株式会社日立制作所
CPC分类号: H05K3/207 , G03G15/1625 , G03G15/225 , G03G15/6585 , G03G2215/00523 , G03G2215/0629 , H05K3/1266 , H05K2203/0517
摘要: 将由不含树脂成分的导电性粒子形成的导电图案前体,在保持图案形状的状态下以高转印效率将图案转印到对象基板上。作为对使用导电微粒分散液在介电性薄膜体上形成的导电图案前体进行转印的方法,通过一时除去残留在刚显像后的导电图案前体上的液膜后,再在导电图案前体上再供给溶剂从而使导电性粒子图案再带电。然后采用有溶剂存在的电泳的静电转印将图案转印到对象基板上。
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公开(公告)号:CN101114137A
公开(公告)日:2008-01-30
申请号:CN200710138350.4
申请日:2007-07-27
申请人: 株式会社日立制作所
CPC分类号: H05K3/207 , G03G15/1625 , G03G15/225 , G03G15/6585 , G03G2215/00523 , G03G2215/0629 , H05K3/1266 , H05K2203/0517
摘要: 将由不含树脂成分的导电性粒子形成的导电图案前体,在保持图案形状的状态下以高转印效率将图案转印到对象基板上。作为对使用导电微粒分散液在介电性薄膜体上形成的导电图案前体进行转印的方法,通过一时除去残留在刚显像后的导电图案前体上的液膜后,再在导电图案前体上再供给溶剂从而使导电性粒子图案再带电。然后采用有溶剂存在的电泳的静电转印将图案转印到对象基板上。
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