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公开(公告)号：CN102019254A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010261161.8
申请日：2010-08-19
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
Abstract: 本发明涉及涂敷装置及其涂敷位置修正方法，修正门形架、其涂敷头的位置偏差。在基台(1)上分别设有跨越基板载置台(8)的可在X轴方向移动的门形架(3L、3R)，在各门形架上设有可在Y轴方向移动的涂敷头(5La～5Lc、5Ra～5Rc)。在基板载置台(8)的门形架(3L、3R)侧分别设有模拟用玻璃基板(10a、10b)，由门形架(3L、3R)的涂敷头(5La～5Lc、5Ra～5Rc)在模拟用玻璃基板(10a、10b)上描绘浆料记号，根据这些记号的位置检测出涂敷头(5La～5Lc)间的、涂敷头(5Ra～5Rc)间的XY轴方向的位置偏差。在基板载置台(8)中央部设置基准位置记号(9)，通过检测门形架(3L、3R)朝该基准位置记号(9)的移动距离，检测出这些门形架的X轴方向的位置偏差。
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公开(公告)号：CN101920235B
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201010201264.5
申请日：2010-06-09
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: B05B13/02 , B05C5/02 , B05C13/00 , G02F1/1339 , B05D7/00
Abstract: 本发明提供能减少扬起的灰尘、缩短制造时间的涂敷装置和涂敷方法。涂敷功能各不同的门形架和载置着玻璃基板(17)的工件台(6)可在X(T)轴方向移动地设置在基台(1)上。当工件台位于A位置时，用门形架(2a)的涂敷头(8)在玻璃基板上进行第1涂敷动作。当工件台位于B位置时，用门形架(2b)的涂敷头(8)在玻璃基板上进行第2涂敷动作。当工件台位于C位置时，用门形架(2c)的涂敷头(8)在玻璃基板上进行第3涂敷动作。涂敷处理的玻璃基板在基板运入侧a从运入侧运送带(18a)保持着相同高度地被运送到工件台上，处理完毕的玻璃基板在基板运出侧b从工件台保持着相同高度地被运送到运出侧运送带(18b)上。
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公开(公告)号：CN101875535B
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN201010126182.9
申请日：2010-02-24
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: C03C17/00
Abstract: 本发明提供涂浆装置及涂浆方法。在装置的运输时，能够将装置小型化，能够顺利地进行装置的运输。在支承台(1)的上面设有载置基板的基板保持机构(8)，在其两侧设置X轴方向移动机构(6a、6b)，分别设置沿其磁铁板(7)和导轨(7a、7b)移动的作为支承台侧支承构件(5a、5b)的滑动件(30a、30b)。另外，在门形架(2b)的横梁(3b)的各个前端部，设置横梁侧支承构件(4a、4b)，这些前端部的L形配件(31a、31b)分别设置在滑动件(30a、30b)的上面、由连接螺栓固定，这样，门形架(2b)能够移动地安装在支承台(1)。另外，通过拆下该连接螺栓，能够从支承台(1)分离门形架(2b)。另一方的门形架(2a)也同样。
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公开(公告)号：CN101885585B
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201010126196.0
申请日：2010-02-24
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: C03C17/00
Abstract: 通过分离涂浆装置的门形架和支承台，将装置小型化后输送，在组装它们时能够进行精密的定位。涂浆装置能够从支承台(1)拆卸门形架(2B)。台车式输送装置由2台输送台车(40a、40b)构成，它们具有相同的结构。输送台车(40a)的下方张开的“匚”字状的外侧支脚(43a)和“H”字状的内侧支脚(44a)在中央附近能够旋转地安装，外侧支脚(43a)和内侧支脚(44a)的上端部能够移动地抵接在顶板(46a)，它们的下端部能够移动地抵接在底板(45a)。这样，相应于输送台车用伺服马达单元(42a)的伸缩动作，外侧支脚(43a)和内侧支脚(44a)转动，顶板(46a)上下移动。在输送台车(40a、40b)的各个顶板(46a、46b)上搭载门形架(2B)的横梁(2a)的端部并将其固定。
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公开(公告)号：CN101875535A
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN201010126182.9
申请日：2010-02-24
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: C03C17/00
Abstract: 本发明提供涂浆装置及涂浆方法。在装置的运输时，能够将装置小型化，能够顺利地进行装置的运输。在支承台(1)的上面设有载置基板的基板保持机构(8)，在其两侧设置X轴方向移动机构(6a、6b)，分别设置沿其磁铁板(7)和导轨(7a、7b)移动的作为支承台侧支承构件(5a、5b)的滑动件(30a、30b)。另外，在门形架(2b)的横梁(3b)的各个前端部，设置横梁侧支承构件(4a、4b)，这些前端部的L形配件(31a、31b)分别设置在滑动件(30a、30b)的上面、由连接螺栓固定，这样，门形架(2b)能够移动地安装在支承台(1)。另外，通过拆下该连接螺栓，能够从支承台(1)分离门形架(2b)。另一方的门形架(2a)也同样。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102019254B
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201010261161.8
申请日：2010-08-19
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
Abstract: 本发明涉及涂敷装置及其涂敷位置修正方法，修正门形架、其涂敷头的位置偏差。在基台(1)上分别设有跨越基板载置台(8)的可在X轴方向移动的门形架(3L、3R)，在各门形架上设有可在Y轴方向移动的涂敷头(5La～5Lc、5Ra～5Rc)。在基板载置台(8)的门形架(3L、3R)侧分别设有模拟用玻璃基板(10a、10b)，由门形架(3L、3R)的涂敷头(5La～5Lc、5Ra～5Rc)在模拟用玻璃基板(10a、10b)上描绘浆料记号，根据这些记号的位置检测出涂敷头(5La～5Lc)间的、涂敷头(5Ra～5Rc)间的XY轴方向的位置偏差。在基板载置台(8)中央部设置基准位置记号(9)，通过检测门形架(3L、3R)朝该基准位置记号(9)的移动距离，检测出这些门形架的X轴方向的位置偏差。
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公开(公告)号：CN101920235A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010201264.5
申请日：2010-06-09
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: B05B13/02 , B05C5/02 , B05C13/00 , G02F1/1339 , B05D7/00
Abstract: 本发明提供能减少扬起的灰尘、缩短制造时间的涂敷装置和涂敷方法。涂敷功能各不同的门形架和载置着玻璃基板(17)的工件台(6)可在X(T)轴方向移动地设置在基台(1)上。当工件台位于A位置时，用门形架(2a)的涂敷头(8)在玻璃基板上进行第1涂敷动作。当工件台位于B位置时，用门形架(2b)的涂敷头(8)在玻璃基板上进行第2涂敷动作。当工件台位于C位置时，用门形架(2c)的涂敷头(8)在玻璃基板上进行第3涂敷动作。涂敷处理的玻璃基板在基板运入侧a从运入侧运送带(18a)保持着相同高度地被运送到工件台上，处理完毕的玻璃基板在基板运出侧b从工件台保持着相同高度地被运送到运出侧运送带(18b)上。
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公开(公告)号：CN101885585A
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN201010126196.0
申请日：2010-02-24
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: C03C17/00
Abstract: 通过分离涂浆装置的门形架和支承台，将装置小型化后输送，在组装它们时能够进行精密的定位。涂浆装置能够从支承台(1)拆卸门形架(2B)。台车式输送装置由2台输送台车(40a、40b)构成，它们具有相同的结构。输送台车(40a)的下方张开的“匚”字状的外侧支脚(43a)和“H”字状的内侧支脚(44a)在中央附近能够旋转地安装，外侧支脚(43a)和内侧支脚(44a)的上端部能够移动地抵接在顶板(46a)，它们的下端部能够移动地抵接在底板(45a)。这样，相应于输送台车用伺服马达单元(42a)的伸缩动作，外侧支脚(43a)和内侧支脚(44a)转动，顶板(46a)上下移动。在输送台车(40a、40b)的各个顶板(46a、46b)上搭载门形架(2B)的横梁(2a)的端部并将其固定。
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公开(公告)号：CN201841096U
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN201020140950.1
申请日：2010-03-15
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
Abstract: 本实用新型的课题在于提供一种平板制造用浆料涂敷机，能够以简单的构成具备多个涂敷头并且实现轻量化，能够在基板上正确地描绘要求形状的浆料图案。浆料涂敷机(100)具备：配置在架台(1)上且放置基板(8)的基板保持盘(6)；利用直线电动机可在X轴方向移动的支架(2A、2B)；配置在支架(2A、2B)上且利用直线电动机可在Y轴方向移动的涂敷头(5A～5D)；以及使支架(2A、2B)及涂敷头(5A～5D)分别移动并向基板(8)连续地喷出浆料而描绘浆料图案的主控制部(9)及副控制部(10)。而且，基板保持盘(6)在平行的多个纵部件上固定与纵部件正交且互相平行的多个横部件而构成为井字形。
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公开(公告)号：CN201780435U
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN201020140962.4
申请日：2010-03-15
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1341
Abstract: 本实用新型的课题在于提供一种调整等事前准备容易的、能够将适量的液晶剂滴落在玻璃基板上的液晶滴落装置。液晶滴落装置(1)中，使喷嘴(33)位于下方且垂直配置微型注射器(30)，液晶罐(20)经由第二供给管(23)、缓冲罐(21)、第一供给管(22)与配置在前端部(30a)和喷嘴(33)之间的三通阀(34)连接。控制装置(10)切换三通阀(34)以使前端部(30a)和第二供给管(23)连通，使活塞(31)上升而将液晶剂(LC)从液晶罐(20)吸入微型注射器(30)后，切换三通阀(34)以使前端部(30a)和喷嘴(33)连通，使活塞(31)下降而将微型注射器(30)的液晶剂(LC)从喷嘴(33)喷出。而且，控制装置(10)基于活塞(31)下降时的移动量算出液晶剂(LC)的喷出量。
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