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公开(公告)号:CN101407131B
公开(公告)日:2012-08-29
申请号:CN200810166449.X
申请日:2008-10-09
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: B41J2/145 , B41J25/24 , B41J29/393
Abstract: 本发明所要解决的技术问题是,在一种使用具有多个喷嘴的喷墨头,将材料涂布在基板上的多个位置的装置中,测量从头安装时的目标位置开始的偏差,通过有效且高精度的修正,成品率高地制造制品基板。本发明中,通过在多个设置于装置上的喷墨头中,以中央的头为基准,使用喷嘴照相机,测量该头1的两端喷嘴(间距d)的位置,来预先对所有的头进行位置校正。进而,将材料图案涂布到调整用基板,通过观测涂布点的位置,来测量从目标位置的偏差(间距D),从其差量计算移动量,进行各头间的喷嘴的XYθ方向位置校正。
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公开(公告)号:CN101875535A
公开(公告)日:2010-11-03
申请号:CN201010126182.9
申请日:2010-02-24
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: C03C17/00
Abstract: 本发明提供涂浆装置及涂浆方法。在装置的运输时,能够将装置小型化,能够顺利地进行装置的运输。在支承台(1)的上面设有载置基板的基板保持机构(8),在其两侧设置X轴方向移动机构(6a、6b),分别设置沿其磁铁板(7)和导轨(7a、7b)移动的作为支承台侧支承构件(5a、5b)的滑动件(30a、30b)。另外,在门形架(2b)的横梁(3b)的各个前端部,设置横梁侧支承构件(4a、4b),这些前端部的L形配件(31a、31b)分别设置在滑动件(30a、30b)的上面、由连接螺栓固定,这样,门形架(2b)能够移动地安装在支承台(1)。另外,通过拆下该连接螺栓,能够从支承台(1)分离门形架(2b)。另一方的门形架(2a)也同样。
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公开(公告)号:CN101875535B
公开(公告)日:2013-07-17
申请号:CN201010126182.9
申请日:2010-02-24
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: C03C17/00
Abstract: 本发明提供涂浆装置及涂浆方法。在装置的运输时,能够将装置小型化,能够顺利地进行装置的运输。在支承台(1)的上面设有载置基板的基板保持机构(8),在其两侧设置X轴方向移动机构(6a、6b),分别设置沿其磁铁板(7)和导轨(7a、7b)移动的作为支承台侧支承构件(5a、5b)的滑动件(30a、30b)。另外,在门形架(2b)的横梁(3b)的各个前端部,设置横梁侧支承构件(4a、4b),这些前端部的L形配件(31a、31b)分别设置在滑动件(30a、30b)的上面、由连接螺栓固定,这样,门形架(2b)能够移动地安装在支承台(1)。另外,通过拆下该连接螺栓,能够从支承台(1)分离门形架(2b)。另一方的门形架(2a)也同样。
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公开(公告)号:CN102836802A
公开(公告)日:2012-12-26
申请号:CN201210192798.5
申请日:2012-06-12
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: B05C5/02 , B05C11/10 , B05D1/26 , G02F1/1337 , G02F1/1341
Abstract: 本发明提供能微量且以微小的间距进行液晶材料的滴落、结果能使液晶面板的液晶材料层薄厚度化的液晶材料滴落装置及液晶材料涂敷方法。本发明的液晶材料涂敷装置,将液晶材料涂敷到基板上,具有储存液晶材料的液晶材料储存机构(22)、与液晶材料储存机构(22)连接并将液晶材料储存机构(22)的内压保持在预定范围内的内压控制机构(16a、17、20)、与液晶材料储存机构(22)连接并将液晶材料涂敷到基板上的喷墨方式的涂敷机构(11)。内压控制机构包含向液晶材料储存机构供给大气或任意气体的气体供给部(18、18a)和向液晶材料储存机构供给负压的负压供给部(17、17a、20)。
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公开(公告)号:CN101407131A
公开(公告)日:2009-04-15
申请号:CN200810166449.X
申请日:2008-10-09
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: B41J2/145 , B41J25/24 , B41J29/393
Abstract: 本发明所要解决的技术问题是,在一种使用具有多个喷嘴的喷墨头,将材料涂布在基板上的多个位置的装置中,测量从头安装时的目标位置开始的偏差,通过有效且高精度的修正,成品率高地制造制品基板。本发明中,通过在多个设置于装置上的喷墨头中,以中央的头为基准,使用喷嘴照相机,测量该头1的两端喷嘴(间距d)的位置,来预先对所有的头进行位置校正。进而,将材料图案涂布到调整用基板,通过观测涂布点的位置,来测量从目标位置的偏差(间距D),从其差量计算移动量,进行各头间的喷嘴的XYθ方向位置校正。
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