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公开(公告)号:CN101875535B
公开(公告)日:2013-07-17
申请号:CN201010126182.9
申请日:2010-02-24
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: C03C17/00
Abstract: 本发明提供涂浆装置及涂浆方法。在装置的运输时,能够将装置小型化,能够顺利地进行装置的运输。在支承台(1)的上面设有载置基板的基板保持机构(8),在其两侧设置X轴方向移动机构(6a、6b),分别设置沿其磁铁板(7)和导轨(7a、7b)移动的作为支承台侧支承构件(5a、5b)的滑动件(30a、30b)。另外,在门形架(2b)的横梁(3b)的各个前端部,设置横梁侧支承构件(4a、4b),这些前端部的L形配件(31a、31b)分别设置在滑动件(30a、30b)的上面、由连接螺栓固定,这样,门形架(2b)能够移动地安装在支承台(1)。另外,通过拆下该连接螺栓,能够从支承台(1)分离门形架(2b)。另一方的门形架(2a)也同样。
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公开(公告)号:CN101875535A
公开(公告)日:2010-11-03
申请号:CN201010126182.9
申请日:2010-02-24
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: C03C17/00
Abstract: 本发明提供涂浆装置及涂浆方法。在装置的运输时,能够将装置小型化,能够顺利地进行装置的运输。在支承台(1)的上面设有载置基板的基板保持机构(8),在其两侧设置X轴方向移动机构(6a、6b),分别设置沿其磁铁板(7)和导轨(7a、7b)移动的作为支承台侧支承构件(5a、5b)的滑动件(30a、30b)。另外,在门形架(2b)的横梁(3b)的各个前端部,设置横梁侧支承构件(4a、4b),这些前端部的L形配件(31a、31b)分别设置在滑动件(30a、30b)的上面、由连接螺栓固定,这样,门形架(2b)能够移动地安装在支承台(1)。另外,通过拆下该连接螺栓,能够从支承台(1)分离门形架(2b)。另一方的门形架(2a)也同样。
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