片状基板的移动装载装置及其贮存装置

    公开(公告)号:CN1393385A

    公开(公告)日:2003-01-29

    申请号:CN02123387.X

    申请日:2002-06-25

    CPC classification number: H01L21/67766 Y10S414/138

    Abstract: 本发明提供一种减少大型玻璃基板等的片状基板因其自重而产生的弯曲量,从而防止弯曲应力导致的片状基板变形或破损的片状基板移动装载装置。从贮存装置1两侧向相对方向分别延伸设置支撑部,通过使插入到贮存装置1的移动装载装置的机械手4在前述支撑部之间升降,而进行片状基板的取出和放入的片状基板5的移动装载装置中,前述支撑部由在相对支撑部之间设置间隙而形成的多个并列的支撑部件3a、3b构成,同时,前述机械手4由:在机械手4的升降位置上,位于前述并列的支撑部件3a、3b之间的多个宽度方向的横向机械手支撑部41;和位于前述相对的支撑部件3a、3b之间,连结前述横向机械手支撑部41的、长度方向的纵向机械手支撑部42构成。

    卡匣
    4.
    发明公开
    卡匣 无效

    公开(公告)号:CN102484088A

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN201080021591.0

    申请日:2010-05-17

    CPC classification number: H01L21/67373 H01L21/67379

    Abstract: 提供能减轻异物向所收纳的基板表面的附着并具有占有面积较小的开闭结构的收纳卡匣。收纳基板(40)的卡匣(100)具备:卡匣主体部(10),其在内部配置基板(40);卡匣开口部(20),其形成于卡匣主体部(10)的一部分;以及闸门结构(30),其包含封堵卡匣开口部(20)的封闭板(32),在卡匣主体部(10)中的位于卡匣开口部(20)的周缘的部位(12)和闸门结构(30)的相互相对的面上分别沿着封闭板(32)的开闭方向(50)形成有突起(14、34),位于卡匣主体部(10)侧的突起(14)和位于闸门结构(30)侧的突起(34)相互分开。

    卡匣
    5.
    发明公开
    卡匣 无效

    公开(公告)号:CN102308376A

    公开(公告)日:2012-01-04

    申请号:CN201080006703.5

    申请日:2010-02-05

    CPC classification number: H01L21/67379

    Abstract: 提供能简便地密闭和开闭底面的卡匣结构。收纳基板(40)的卡匣(100)具备:卡匣主体部(10),其内部配置基板(40);卡匣开口部(12),其形成于卡匣主体部(10)的侧面,用于取放基板(40);底面开口部(14),其形成于卡匣主体部(10)的底面;底板(20),其封堵底面开口部(14);以及底板支撑部(22),其支撑底板(20),设于卡匣主体部(10)的内壁。

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