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公开(公告)号:CN1288052C
公开(公告)日:2006-12-06
申请号:CN02123387.X
申请日:2002-06-25
Applicant: 株式会社日立工业设备技术 , 夏普株式会社
CPC classification number: H01L21/67766 , Y10S414/138
Abstract: 本发明提供一种减少大型玻璃基板等的片状基板因其自重而产生的弯曲量,从而防止弯曲应力导致的片状基板变形或破损的片状基板移动装载装置。从贮存装置两侧向相对方向分别延伸设置支撑部,通过使插入到贮存装置的移动装载装置的机械手在前述支撑部之间升降,而进行片状基板的取出和放入的片状基板的移动装载装置中,前述支撑部由在相对支撑部之间设置间隙而形成的多个并列的支撑部件构成,同时,前述机械手由:在机械手的升降位置上,位于前述并列的支撑部件之间的多个宽度方向的横向机械手支撑部;和位于前述相对的支撑部件之间,连结前述横向机械手支撑部的、长度方向的纵向机械手支撑部构成。
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公开(公告)号:CN1891588B
公开(公告)日:2011-11-09
申请号:CN200510087699.0
申请日:2005-07-29
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
Abstract: 提供一种通过减轻桅杆上部行驶驱动装置的负载既可抑制源于该上部行驶驱动装置的振动与灰尘,又可抑制桅杆上部的振动的堆垛升降机。在堆垛升降机的桅杆1上部与下部分别设置上部行驶驱动装置2和下部行驶驱动装置3。用下部行驶驱动装置3实施堆垛升降机的行驶及位置控制的同时,根据下部行驶驱动装置3的速度信号驱动上部行驶驱动装置2,用上部行驶驱动装置2抑制桅杆1的振动。
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公开(公告)号:CN1891588A
公开(公告)日:2007-01-10
申请号:CN200510087699.0
申请日:2005-07-29
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
Abstract: 提供一种通过减轻桅杆上部行驶驱动装置的负载既可抑制源于该上部行驶驱动装置的振动与灰尘,又可抑制桅杆上部的振动的堆垛升降机。在堆垛升降机的桅杆1上部与下部分别设置上部行驶驱动装置2和下部行驶驱动装置3。用下部行驶驱动装置3实施堆垛升降机的行驶及位置控制的同时,根据下部行驶驱动装置3的速度信号驱动上部行驶驱动装置2,用上部行驶驱动装置2抑制桅杆1的振动。
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公开(公告)号:CN101161570B
公开(公告)日:2011-05-04
申请号:CN200710002072.X
申请日:2007-01-18
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: B65G35/00 , B65G49/00 , B65G49/07 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种桥式输送车的接通脱离装置,通过将输送车对行走轨的接通脱离自动进行,可以缩短工件装卸时间,而且确保安全,并且,可缩短干线停止时间。该装置具备:设于行走轨(1)的切口部(3);可分离地安装在该切口部的移动轨(4);使所述移动轨在对切口部进行安装的位置和其侧方的横移位置之间移动的移动装置(5);辅助移动轨(6),所述辅助移动轨(6)与所述移动轨并排设置,当所述移动轨(4)移动到横移位置时被安装到所述行走轨(1)的切口部(3);与移动到所述横移位置的移动轨(4)接连,在与该移动轨(4)之间进行输送车(2)的移载的升降轨(7);和使该升降轨(7)在与移动轨的接连位置和地上部之间升降的升降装置(8)。
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公开(公告)号:CN101161570A
公开(公告)日:2008-04-16
申请号:CN200710002072.X
申请日:2007-01-18
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: B65G35/00 , B65G49/00 , B65G49/07 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种桥式输送车的接通脱离装置,通过将输送车对行走轨的接通脱离自动进行,可以缩短工件装卸时间,而且确保安全,并且,可缩短干线停止时间。该装置具备:设于行走轨(1)的切口部(3);可分离地安装在该切口部的移动轨(4);使所述移动轨在对切口部进行安装的位置和其侧方的横移位置之间移动的移动装置(5);辅助移动轨(6),所述辅助移动轨(6)与所述移动轨并排设置,当所述移动轨(4)移动到横移位置时被安装到所述行走轨(1)的切口部(3);与移动到所述横移位置的移动轨(4)接连,在与该移动轨(4)之间进行输送车(2)的移载的升降轨(7);和使该升降轨(7)在与移动轨的接连位置和地上部之间升降的升降装置(8)。
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公开(公告)号:CN1393385A
公开(公告)日:2003-01-29
申请号:CN02123387.X
申请日:2002-06-25
Applicant: 日立机电工业株式会社 , 夏普株式会社
CPC classification number: H01L21/67766 , Y10S414/138
Abstract: 本发明提供一种减少大型玻璃基板等的片状基板因其自重而产生的弯曲量,从而防止弯曲应力导致的片状基板变形或破损的片状基板移动装载装置。从贮存装置1两侧向相对方向分别延伸设置支撑部,通过使插入到贮存装置1的移动装载装置的机械手4在前述支撑部之间升降,而进行片状基板的取出和放入的片状基板5的移动装载装置中,前述支撑部由在相对支撑部之间设置间隙而形成的多个并列的支撑部件3a、3b构成,同时,前述机械手4由:在机械手4的升降位置上,位于前述并列的支撑部件3a、3b之间的多个宽度方向的横向机械手支撑部41;和位于前述相对的支撑部件3a、3b之间,连结前述横向机械手支撑部41的、长度方向的纵向机械手支撑部42构成。
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公开(公告)号:CN301673010S
公开(公告)日:2011-09-14
申请号:CN201030224666.8
申请日:2010-06-23
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
Abstract: 1.本外观设计的名称为收集装置(用于空气悬浮物的);2.本外观设计用于收集悬浮在空气中的物质的收集装置,该物质包括诸如细菌和真菌的微生物、化学物质以及细颗粒等等;3.本外观设计的设计要点在于本外观设计的形状和构造的结合;4.“设计1左视图”为最能表现设计要点的视图;5.设计1为基本设计。
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