公开(公告)号：CN104272426B

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201380021994.9

申请日：2013-03-25

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 小柏刚 ,  佐藤贡 ,  今野充

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/04 ,  H01J37/244 ,  H01J37/295

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/21 ,  H01J37/263 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2804 ,  H01J2237/2805 ,  H01J2237/2826

Abstract: 在现有技术中，通用的扫描电子显微镜中，可设定的最大加速电压低，因此在通常的高分辨率观察条件下可观察的晶体薄膜样本仅限于晶格面间隔大的样本。因此，没有高精度地进行倍率校正的手段。作为解决手段，本发明的特征在于，具备：电子源，其产生电子束；偏转器，其执行偏转，以便利用所述电子束在所述样本上进行扫描；物镜，其使所述电子束会聚在所述样本上；检测器，其检测透过了所述样本的散射电子以及非散射电子；和光圈，其配置在所述样本与所述检测器之间，对所述散射电子以及所述非散射电子的检测角进行控制；所述电子束以规定的开角入射至样本，以比在所述样本上电子束直径成为最小的第一开角大的第二开角来获取晶格像。

公开(公告)号：CN104272426A

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201380021994.9

申请日：2013-03-25

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 小柏刚 ,  佐藤贡 ,  今野充

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/04 ,  H01J37/244 ,  H01J37/295

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/21 ,  H01J37/263 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2804 ,  H01J2237/2805 ,  H01J2237/2826 ,  H01J37/09 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/24465

Abstract: 在现有技术中，通用的扫描电子显微镜中，可设定的最大加速电压低，因此在通常的高分辨率观察条件下可观察的晶体薄膜样本仅限于晶格面间隔大的样本。因此，没有高精度地进行倍率校正的手段。作为解决手段，本发明的特征在于，具备：电子源，其产生电子束；偏转器，其执行偏转，以便利用所述电子束在所述样本上进行扫描；物镜，其使所述电子束会聚在所述样本上；检测器，其检测透过了所述样本的散射电子以及非散射电子；和光圈，其配置在所述样本与所述检测器之间，对所述散射电子以及所述非散射电子的检测角进行控制；所述电子束以规定的开角入射至样本，以比在所述样本上电子束直径成为最小的第一开角大的第二开角来获取晶格像。