公开(公告)号：CN104733271B

公开(公告)日：2018-01-23

申请号：CN201410785676.6

申请日：2014-12-18

申请人： FEI ,  公司

发明人： B.J.詹斯森 ,  I.拉兹 ,  G.范杜恩恩 ,  U.鲁伊肯 ,  R.D.萨瓦格 ,  S.H.L.范登布姆

IPC分类号： H01J37/244

CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/265 ,  H01J37/295 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/2614 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2806

摘要： 本发明公开了调查带电粒子射束的波阵面的方法。调查从源通过发光器被引导以便穿过样本平面并且降落到检测器上的带电粒子射束的波阵面的方法，检测器的输出与数学重建技术结合使用以便在沿着到检测器的波阵面路径的预先定义的位置处针对波阵面计算相位信息和振幅信息中的至少一个，在该方法中：‑使所述射束穿过设置在所述样本平面和所述检测器之间的粒子光学透镜系统；‑在从所述源到所述检测器的路径中的所选择位置处，调制器用于局部地产生波阵面的给定调制；‑在一系列测量阶段中，采用不同的此类调制，并且在所述数学重建中共同地使用相关联的检测器输出。

公开(公告)号：CN104865276B

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：CN201510087134.6

申请日：2015-02-25

申请人： FEI 公司

发明人： I.拉兹 ,  E.G.T.博思 ,  F.博格霍贝 ,  B.布伊斯塞 ,  K.S.塞德 ,  S.拉扎

IPC分类号： G01N23/04

CPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/2802

摘要： 一种在扫描透射类型的带电粒子显微镜中检查样本的方法，包括如下步骤：‑提供带电粒子射束，所述射束通过发光器从源被引导以便照射样本；‑提供检测器，用于检测带电粒子穿过样本的通量；‑使得所述射束横跨样本表面进行扫描，并且记录作为扫描位置的函数的检测器输出，从而产生样本的带电粒子图像的累积，该方法还包括如下步骤：‑把检测器体现为包括多个检测分段；‑组合来自检测器的不同分段的信号，以便在每个扫描位置处从检测器产生向量输出，并且编译这个数据以产生向量场；‑通过使所述向量场经受二维积分操作来以数学方式处理所述向量场，由此产生积分向量场图像。

公开(公告)号：CN106104746A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201480077095.5

申请日：2014-04-04

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 平山阳一 ,  玉置央和

IPC分类号： H01J37/153 ,  H01J37/28

CPC分类号： H01J37/153 ,  H01J37/14 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/2802

摘要： 构成带电粒子束装置的像差校正器的多极子透镜，通常只能设定一个满足球面像差校正条件和磁饱和这两方面的条件，因此无法对应于多个加速电压。为此，本发明提供一种球面像差校正器，其根据物镜的励磁电流的变更，对构成多极子透镜的多组极子群选择性地进行励磁，从而针对多个像差校正条件满足磁饱和状态。

公开(公告)号：CN105493225A

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201480046171.6

申请日：2014-05-19

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 长久保康平 ,  长冲功 ,  松本弘昭 ,  佐藤岳志

IPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/18

CPC分类号： H01J37/20 ,  G01N23/22 ,  G01N23/2204 ,  H01J37/18 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2806 ,  H01M8/04671

摘要： 本发明的目的为将试样附近保持为大气压、且高效地检测二次电子。在带电粒子装置的试样室中，试样支架(4)具备用于将试样(20)附近控制为大气压环境的气体导入导管与气体排出用导管，在试样(20)的上部共用能检测带电粒子通路孔(18)与能检测从试样(20)产生的二次电子(15)的微小孔口(18)，具有通过使孔径比试样(20)上部的微小孔口(18)大，积极地进行气体导入时的排气的带电粒子通路孔(19)。

公开(公告)号：CN105493224A

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201480044976.7

申请日：2014-03-10

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 河西晋佐 ,  大南佑介 ,  铃木宏征 ,  安岛雅彦

IPC分类号： H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28

CPC分类号： H01J37/20 ,  G01M3/02 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/2605 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/2802

摘要： 以往在更换隔膜时未充分考虑所需的成本、作业的便利性等，因此装置难以使用。在本发明中，通过隔离真空空间与大气压空间的隔膜(10)而将一次带电粒子线照射在放置于大气压空间的试样上的带电粒子线装置上所设置的隔膜安装部件(155)具有：安装TEM用膜片的隔膜设置部位；以及安装在带电粒子线装置的壳体上的壳体固定部位。并且，该隔膜设置部位具有对保持有隔膜(10)的基座(9)进行定位的定位结构(155a)。

公开(公告)号：CN105103263A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201480018726.6

申请日：2014-03-20

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 长冲功 ,  大八木敏行 ,  松本弘昭 ,  仲野靖孝 ,  佐藤岳志 ,  长久保康平

IPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/28

CPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/06 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J37/295 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2802

摘要： 具备：二次电子检测器，其检测通过来自电子枪的电子束照射试样(70)而发生的电子；监视器，其根据该检测器的输出，显示试样的二次电子像；气体导入装置(60)，其用于向试样(70)放出气体；以及气体控制装置(81)，其控制气体导入装置(60)的气体放出量，使得在该气体导入装置(60)的气体放出时，将设置了二次电子检测器的中间室内的真空度保持为不足设定值P1。由此，能够利用需要施加电压的检测器得到被置于气体环境中的试样的显微镜像。

公开(公告)号：CN104766776A

公开(公告)日：2015-07-08

申请号：CN201410007910.2

申请日：2014-01-07

申请人： 中国科学院物理研究所

发明人： 李建奇 ,  田焕芳 ,  曹高龙 ,  马超 ,  杨槐馨

IPC分类号： H01J37/06 ,  H01J37/065

CPC分类号： H01J37/06 ,  H01J37/073 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/2802

摘要： 本发明提供了一种多功能超快透射电子显微镜电子枪。该超快透射电子显微镜电子枪包括：激光源、电子枪本体和激光引入模块。电子枪本体包括：电子枪套筒，包括：第一段套筒和第二段套筒；以及自上而下依次设置的阴极、加速极和阳极，其中，阴极和加速极位于第一段套筒内，阳极位于第二段套筒内。激光引入模块，包括：引入模块套筒，密封连接于上述第一段套筒和第二段套筒之间，在该引入模块套筒的侧面开设激光入射窗；激光反射镜，位于引入模块套筒内，正对激光入射窗，且靠近引入模块套筒的中心轴线设置，其反射面与引入模块套筒中心轴线呈45°。本发明多功能超快透射电子显微镜电子枪所获得的光发射电子的相干性是目前性能最好的。

公开(公告)号：CN103779160A

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：CN201310497851.7

申请日：2013-10-22

申请人： FEI公司

发明人： L.图马 ,  J.塞斯塔克

IPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/141

CPC分类号： G21K5/08 ,  H01J37/1413 ,  H01J37/20 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/1035 ,  H01J2237/1415 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2813

摘要： 本发明涉及可配置带电粒子装置。可配置带电粒子装置具有至少第一配置和第二配置，在第一配置中的装置被装配以当样本被安装在第一载物台上时关于光轴来安置样本，在第二配置中的装置具有被安装在第一载物台上的第二透镜极，所述第二透镜极与光轴相交，并且在第二配置中的装置装配有用于在其上安装样本的第二载物台，所述第二载物台被装配以在第一透镜极和第二透镜极之间安置样本，所述第二载物台关于光轴可移动，其结果是磁浸没透镜的光学特性在第一和第二配置中不同，并且在第二配置中可以通过使用第一载物台来安置第二透镜极而被改变，因而改变磁路。

公开(公告)号：CN103681189A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310414456.8

申请日：2013-09-12

申请人： FEI公司

发明人： D.福尔德 ,  R.肖恩马克斯

IPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC分类号： G01N23/046 ,  G01N23/2251 ,  G01N2223/419 ,  G06T11/005 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2807

摘要： 一种执行带电粒子显微镜中的样本的断层成像的方法，包括下面的步骤：提供带电粒子束；在能够相对于所述束被倾斜的样本夹持器上提供所述样本；导向所述束通过所述样本并且以便在图像检测器处形成所述样本的图像；在第一系列的样本倾斜角的每一个处重复此过程以便获得对应的图像集合；数学地组合来自所述集合的图像以便构造合成图像，所述方法包括下面的步骤：选择第二系列的样本倾斜角；在所述第二系列的样本倾斜角的每一个处，使用频谱检测器来生成所述样本的频谱图，从而获得频谱图的集合；分析所述频谱图以得到与所述样本有关的合成数据；在构造所述合成图像中采用所述合成数据，所述频谱图例如可以使用从包括EDX、EELS、EFTEM及其组合的组中选择的技术而被获得。

公开(公告)号：CN103210467A

公开(公告)日：2013-07-17

申请号：CN201180054529.6

申请日：2011-11-21

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 渡边俊哉 ,  许斐麻美 ,  高须久幸 ,  上野敦史

IPC分类号： H01J37/305 ,  G01N1/28 ,  G01N1/36 ,  H01J37/20

CPC分类号： H01J37/3053 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/31745

摘要： 提供一种离子铣削装置以及离子铣削加工方法，通过使试料(3)相对于离子束(2)的光轴(Z轴)倾斜振动，重复进行在如下两状态间的试料(3)的加工面(3a)的倾斜以及倾斜复位，由此，离子束(2)低角度照射向加工面(3a)，抑制因空穴(61)、异种物质(62)产生的凹凸(63)，其中一状态是试料(3)的加工面(3a)朝向倾斜轴方向(Y轴向)的面状态，其二是从该面状态，加工面(3a)的试料台侧部分相比加工面(3a)的掩膜侧部分更向倾斜轴方向(Y轴向)突出的倾斜面状态。由此，在剖面试料制作时，可以抑制因空穴、异种物质产生的凹凸，可以制作适于观察/分析的试料剖面。