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公开(公告)号：CN104272426B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201380021994.9
申请日：2013-03-25
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/04 , H01J37/244 , H01J37/295
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/21 , H01J37/263 , H01J37/28 , H01J2237/10 , H01J2237/24475 , H01J2237/24507 , H01J2237/2802 , H01J2237/2804 , H01J2237/2805 , H01J2237/2826
Abstract: 在现有技术中，通用的扫描电子显微镜中，可设定的最大加速电压低，因此在通常的高分辨率观察条件下可观察的晶体薄膜样本仅限于晶格面间隔大的样本。因此，没有高精度地进行倍率校正的手段。作为解决手段，本发明的特征在于，具备：电子源，其产生电子束；偏转器，其执行偏转，以便利用所述电子束在所述样本上进行扫描；物镜，其使所述电子束会聚在所述样本上；检测器，其检测透过了所述样本的散射电子以及非散射电子；和光圈，其配置在所述样本与所述检测器之间，对所述散射电子以及所述非散射电子的检测角进行控制；所述电子束以规定的开角入射至样本，以比在所述样本上电子束直径成为最小的第一开角大的第二开角来获取晶格像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107078011B
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201580052516.3
申请日：2015-10-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/22 , H01J37/28
Abstract: 提供一种能够以对试样的较少的带电粒子照射量获得高SN比的带电粒子束装置。带电粒子束装置具备带电粒子检测装置，所述带电粒子检测装置在一个一次电子入射到试样时的放出电子的检测(一个事件)中，检测出模拟脉冲波形信号(110)，将所述模拟脉冲波形信号(110)变换为数字信号(111)，使用与一个电子相当的单位波峰对所述数字信号(111)进行波峰区别(112)，并作为多值计数值而输出。
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公开(公告)号：CN103688335B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201280035541.7
申请日：2012-05-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/20 , H01J2237/0203
Abstract: 提供能够安装具有安全性（触电防止机构）且考虑操作性的高电压施加试样架。本发明的特征在于，具有：具有对装填试样的试样台施加电压的功能的试样架、供给要施加在上述试样台的电压的电压源、以及一端与上述试样架连接的电压电缆，并且，连接上述电压电缆的另一端的转接器设置于支撑电子显微镜的镜筒的台架上。
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公开(公告)号：CN104272426A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201380021994.9
申请日：2013-03-25
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/04 , H01J37/244 , H01J37/295
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/21 , H01J37/263 , H01J37/28 , H01J2237/10 , H01J2237/24475 , H01J2237/24507 , H01J2237/2802 , H01J2237/2804 , H01J2237/2805 , H01J2237/2826 , H01J37/09 , H01J37/244 , H01J2237/24455 , H01J2237/24465
Abstract: 在现有技术中，通用的扫描电子显微镜中，可设定的最大加速电压低，因此在通常的高分辨率观察条件下可观察的晶体薄膜样本仅限于晶格面间隔大的样本。因此，没有高精度地进行倍率校正的手段。作为解决手段，本发明的特征在于，具备：电子源，其产生电子束；偏转器，其执行偏转，以便利用所述电子束在所述样本上进行扫描；物镜，其使所述电子束会聚在所述样本上；检测器，其检测透过了所述样本的散射电子以及非散射电子；和光圈，其配置在所述样本与所述检测器之间，对所述散射电子以及所述非散射电子的检测角进行控制；所述电子束以规定的开角入射至样本，以比在所述样本上电子束直径成为最小的第一开角大的第二开角来获取晶格像。
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公开(公告)号：CN103688335A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201280035541.7
申请日：2012-05-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/20 , H01J2237/0203
Abstract: 本发明提供能够安装具有安全性（触电防止机构）且考虑操作性的高电压施加试样架。本发明的特征在于，具有：具有对装填试样的试样台施加电压的功能的试样架、供给要施加在上述试样台的电压的电压源、以及一端与上述试样架连接的电压电缆，并且，连接上述电压电缆的另一端的转接器设置于支撑电子显微镜的镜筒的台架上。
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公开(公告)号：CN107078011A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580052516.3
申请日：2015-10-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/22 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/06 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/2443 , H01J2237/2448 , H01J2237/24495 , H01J2237/24507
Abstract: 提供一种能够以对试样的较少的带电粒子照射量获得高SN比的带电粒子束装置。带电粒子束装置具备带电粒子检测装置，所述带电粒子检测装置在一个一次电子入射到试样时的放出电子的检测(一个事件)中，检测出模拟脉冲波形信号(110)，将所述模拟脉冲波形信号(110)变换为数字信号(111)，使用与一个电子相当的单位波峰对所述数字信号(111)进行波峰区别(112)，并作为多值计数值而输出。
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