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公开(公告)号：CN101949002B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201010225087.4
申请日：2010-07-05
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明涉及镀膜装置、蒸发源装置，及其蒸发源容器。在真空内向被蒸镀基板表面包覆蒸镀材料的镀膜装置中使用的蒸发源装置具有加热箱(210)，该加热箱在其外部具有加热器(71H)，在其内部形成空间，在垂直方向层叠并容纳多个蒸发源容器(220)；各蒸发源容器具有：由高导热材料构成的容器(221)，其断面形成为大致“U”字形，并且在大致中央部形成用于放出气体的贯通孔(222)，并以围绕该贯通孔的方式形成；覆盖容器的上面开口，由高导热材料构成的盖体(225)；将在容器内产生的蒸镀材料的气体通过间隙引导到贯通孔，集中到设于上述加热箱上部的导向部(212)，通过喷出孔(213)供应到被蒸镀基板(100)的表面。
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公开(公告)号：CN101962749A
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN201010234426.5
申请日：2010-07-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明涉及镀膜装置及镀膜方法。本发明的目的在于提供减少喷嘴及周边的清理频度，运转率高或可以均匀地镀膜的镀膜装置及镀膜方法。本发明的镀膜装置，具有真空蒸镀室，该真空蒸镀室具备使蒸发源移动的蒸发源移动机构，所述蒸发源使蒸发源内部所具有的蒸发材料蒸发(升华)，从所述蒸发源的多个喷嘴喷出而蒸镀到基板上，镀膜装置的特征在于，所述真空蒸镀室具有喷嘴清理机构，喷嘴清理机构具备去除在所述喷嘴或喷嘴附近析出的析出蒸发材料的清理部。
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公开(公告)号：CN103710678A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201310339337.0
申请日：2013-08-06
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 在水平蒸镀型的有机EL膜成膜用蒸镀装置中，极力降低蒸镀源的无意义的蒸镀时间。有机EL膜成膜用的蒸镀装置具备：配置有真空机器人的机器人搬送室；与该机器人搬送室连接的2个蒸镀室；能够放置2张基板且水平收放在蒸镀室内的分度工作台；使分度工作台在水平方向上旋转的旋转单元；以及位于分度工作台的下方，能够在水平方向上移动地配置的蒸镀源。真空机器人能够在蒸镀室与机器人搬送室之间在水平方向搬入、搬出基板，在使用蒸镀源对放置在分度工作台上的2张基板中的一方进行蒸镀时，利用真空机器人将另一方的基板从蒸镀室搬出到机器人搬送室，取而代之将新的基板从机器人搬送室搬入蒸镀室。蒸镀结束后，旋转分度工作台。
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公开(公告)号：CN103255376A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201310052768.9
申请日：2013-02-18
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明是成膜装置、以及成膜装置用基板搬运机构。提供能够缩小转送室的高度以及处理腔室的高度、且能够缩小闸阀的开口的上下方向的大小的长行程搬运机构。从下方开始第二层的直动轴承的上下两个滚动体保持部背对背地固定安装于基体（第一移动件）上，接下来一层的直动轴承的上下两个轨道轴背对背地固定安装于基体（第二移动件）上，交替地组合第一移动件与第二移动件而形成交叉滚子导向件，在真空中将载置在平板上的基板搬运规定的距离。
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公开(公告)号：CN103255375A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201310046198.2
申请日：2013-02-05
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供能够在串联地配置真空搬运腔体与真空蒸镀腔体的真空蒸镀系统中降低材料损失的经济性好的真空蒸镀系统及真空蒸镀方法。本发明是一种真空蒸镀系统，其交替且串联地配置水平搬运工件的真空搬运腔体与对上述工件蒸镀蒸镀材料的真空蒸镀腔体，由具有多个上述真空蒸镀腔体的线构成，互相并列地设置N条上述线，其中N为2以上，上述真空蒸镀腔体是横跨各个上述N条线而设置的N条线真空蒸镀腔体，上述N条线真空蒸镀腔体在每条线上具有对工件进行蒸镀的蒸镀位置，当在上述N条线中的第一线对第一上述工件进行蒸镀期间，在与上述第一线不同的另一线上将第二工件搬出到下游侧的上述真空搬运腔体，并从上游侧的上述真空搬运腔体搬入第三工件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101962750B
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201010235894.4
申请日：2010-07-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供有机EL器件制造装置以及成膜装置，所述有机EL器件制造装置能够在基板上形成均匀膜厚的薄膜，在有机EL器件的制造装置中，对于从将蒸发的蒸镀材料通过线上配置的多个喷嘴向真空槽内部排放的蒸发源的各个喷嘴排放的有机EL材料的蒸发量，通过蒸发量监测设备监测各个喷嘴，并且利用监测到的各个喷嘴的有机EL材料的蒸发量信息，通过控制设备控制蒸发源。
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公开(公告)号：CN101949002A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN201010225087.4
申请日：2010-07-05
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明涉及镀膜装置、蒸发源装置，及其蒸发源容器。在真空内向被蒸镀基板表面包覆蒸镀材料的镀膜装置中使用的蒸发源装置具有加热箱(210)，该加热箱在其外部具有加热器(71H)，在其内部形成空间，在垂直方向层叠并容纳多个蒸发源容器(220)；各蒸发源容器具有：由高导热材料构成的容器(221)，其断面形成为大致“U”字形，并且在大致中央部形成用于放出气体的贯通孔(222)，并以围绕该贯通孔的方式形成；覆盖容器的上面开口，由高导热材料构成的盖体(225)；将在容器内产生的蒸镀材料的气体通过间隙引导到贯通孔，集中到设于上述加热箱上部的导向部(212)，通过喷出孔(213)供应到被蒸镀基板(100)的表面。
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公开(公告)号：CN103710666A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201310338522.8
申请日：2013-08-06
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明的课题是提供一种水晶振荡式膜厚监视器用传感器头，其能够长时间稳定地测定膜厚，能够延长有机EL制造装置的连续工作时间。作为解决本发明课题的手段涉及一种水晶振荡式膜厚监视器用传感器头，其特征在于，具有：检测来自被加热的坩锅的蒸发粒子的水晶振子；安装有该水晶振子的水晶振子保持架；覆盖该水晶振子保持架的金属制的盖；与该盖以热的方式连接的监视器本体；和在该监视器本体上安装的冷却构件，上述盖接近热源的部分采用不锈钢，与上述监视器本体接触的部分采用铝合金。
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公开(公告)号：CN103668080A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310336605.3
申请日：2013-08-05
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明的课题是提供一种成膜装置及其蒸镀方法，其能够实现蒸发速率的控制的稳定化，通过把向被成膜基板的蒸镀中的实际的蒸镀速率保持恒定，获得膜厚的均匀性。作为解决本发明课题的方法涉及一种蒸镀装置，其为具有保持被成膜基板的基板保持机构、设置在面对该被成膜基板的位置，并向该被成膜基板进行蒸镀的蒸发源、和使该蒸发源对于该被成膜基板相对移动的蒸发源移动机构的成膜装置，在该蒸发源移动机构使上述蒸发源移动的轨迹上，具有控制从该蒸发源蒸发的成膜材料的量的待机位置，在该待机位置的前方设置的防附着构件的表面上具有抑制从该防附着构件放射的反射热的反射热抑制构件。
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公开(公告)号：CN101962750A
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN201010235894.4
申请日：2010-07-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供有机EL器件制造装置以及成膜装置，所述有机EL器件制造装置能够在基板上形成均匀膜厚的薄膜，在有机EL器件的制造装置中，对于从将蒸发的蒸镀材料通过线上配置的多个喷嘴向真空槽内部排放的蒸发源的各个喷嘴排放的有机EL材料的蒸发量，通过蒸发量监测设备监测各个喷嘴，并且利用监测到的各个喷嘴的有机EL材料的蒸发量信息，通过控制设备控制蒸发源。
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