公开(公告)号：CN111556963B

公开(公告)日：2023-05-02

申请号：CN201880085337.3

申请日：2018-03-27

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 孝桥照生 ,  森下英郎 ,  片根纯一

IPC: G01N23/2251 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明的扫描电子显微镜具备：自旋检测器，其测定从试样释放的二次电子自旋极化；分析装置，其对上述自旋检测器的测定数据进行分析。在上述测定数据中，上述分析装置确定上述二次电子自旋极化局部性变化的区域的宽度。并且，上述分析装置根据上述区域的宽度，对上述试样的应变进行评价。通过上述扫描电子显微镜的结构，能够在磁性材料中高精度地进行应变的分析。

公开(公告)号：CN111556963A

公开(公告)日：2020-08-18

申请号：CN201880085337.3

申请日：2018-03-27

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 孝桥照生 ,  森下英郎 ,  片根纯一

IPC: G01N23/2251 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明的扫描电子显微镜具备：自旋检测器，其测定从试样释放的二次电子自旋极化；分析装置，其对上述自旋检测器的测定数据进行分析。在上述测定数据中，上述分析装置确定上述二次电子自旋极化局部性变化的区域的宽度。并且，上述分析装置根据上述区域的宽度，对上述试样的应变进行评价。通过上述扫描电子显微镜的结构，能够在磁性材料中高精度地进行应变的分析。