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公开(公告)号：CN111033677A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201780094118.7
申请日：2017-09-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/141 , H01J37/28 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供能够有效减少实施SEM观察时的残留磁场的作用的带电粒子线装置。本发明涉及的带电粒子线装置实施将第1线圈截止后在第2线圈流过直流电流的第1模式和将所述第1线圈截止后在所述第2线圈流过交流电流的第2模式中的至少任一种模式。
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公开(公告)号：CN105917437A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201480073481.7
申请日：2014-12-24
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/18 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/18 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J2237/24455 , H01J2237/2448 , H01J2237/2608
Abstract: 本发明提供一种能够简便地进行样本内部和表面的观察的带电粒子束装置。本发明的带电粒子束装置在以下模式下动作：根据来自通过被照射透射了样本(6)的内部的透射带电粒子而发光的发光构件(500)的光的检测信号(512)生成透射带电粒子图像的透射带电粒子图像模式；根据因来自样本(6)的二次带电粒子(517)或反射带电粒子而产生的检测信号(518)生成二次带电粒子图像的二次带电粒子图像模式。
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公开(公告)号：CN102308357A
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN201080006680.8
申请日：2010-01-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/18 , H01J37/244 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/244 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01J2237/2605
Abstract: 本发明的扫描带电粒子束装置包括样品室(8)和检测器，上述检测器兼具如下功能：在上述样品室被控制为低真空(1Pa～3000Pa)时，对由气体闪烁的发光现象得到的具有图像信息的光(17)中的、至少从真空紫外区域到可见光区域的光进行检测；对由电子和气体分子的级联放大而得到的具有图像信息的离子电流(11、13)进行检测。由此，能够实现能够应对各种样品的观察的装置，而且，通过设计上述检测部的最佳结构，能够对得到的图像赋予附加价值，将该观察图像提供给多种领域的利用者。另外，通过与高真空用检测器一起使用上述检测器，能够与真空模式无关地向各领域的利用者提供图像。
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公开(公告)号：CN110431649B
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN201780088310.5
申请日：2017-03-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/12 , H01J37/153 , H01J37/28
Abstract: 带电粒子束装置具备：带电粒子源，其射出带电粒子束；助推电极，其配置于带电粒子源与试样之间，形成带电粒子束的通路，并且对上述带电粒子束进行加减速；第一磁极片，其形成为覆盖助推电极；第二磁极片，其形成为覆盖第一磁极片；第一透镜线圈，其配置于第一磁极片的外侧，并且配置于上述第二磁极片的内侧，且形成第一透镜；第二透镜线圈，其配置于第二磁极片的外侧且形成第二透镜；以及控制电极，其形成于第一磁极片的前端部与第二磁极片的前端部之间，且控制形成于试样与第二磁极片的前端部之间的电场。
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公开(公告)号：CN111033677B
公开(公告)日：2022-08-23
申请号：CN201780094118.7
申请日：2017-09-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/141 , H01J37/28 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供能够有效减少实施SEM观察时的残留磁场的作用的带电粒子线装置。本发明涉及的带电粒子线装置实施将第1线圈截止后在第2线圈流过直流电流的第1模式和将所述第1线圈截止后在所述第2线圈流过交流电流的第2模式中的至少任一种模式。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111556963A
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN201880085337.3
申请日：2018-03-27
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/2251 , H01J37/244 , H01J37/28
Abstract: 本发明的扫描电子显微镜具备：自旋检测器，其测定从试样释放的二次电子自旋极化；分析装置，其对上述自旋检测器的测定数据进行分析。在上述测定数据中，上述分析装置确定上述二次电子自旋极化局部性变化的区域的宽度。并且，上述分析装置根据上述区域的宽度，对上述试样的应变进行评价。通过上述扫描电子显微镜的结构，能够在磁性材料中高精度地进行应变的分析。
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公开(公告)号：CN111033676A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201780094059.3
申请日：2017-09-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/141 , H01J37/317
Abstract: 本发明通过简单的构造来实现能够抑制来自形成SEM的物镜的磁极片的泄漏磁场的复合带电粒子线装置。本发明涉及的带电粒子线装置一面使电流流过构成物镜的第1线圈一面取得粒子束观察像，在多个电流值下实施通过使电流流过第2线圈来减少该像偏差的动作，基于所述动作间的差分来决定流过所述第2线圈的电流(参照图6)。
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公开(公告)号：CN110431649A
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201780088310.5
申请日：2017-03-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/12 , H01J37/153 , H01J37/28
Abstract: 带电粒子束装置具备：带电粒子源，其射出带电粒子束；助推电极，其配置于带电粒子源与试样之间，形成带电粒子束的通路，并且对上述带电粒子束进行加减速；第一磁极片，其形成为覆盖助推电极；第二磁极片，其形成为覆盖第一磁极片；第一透镜线圈，其配置于第一磁极片的外侧，并且配置于上述第二磁极片的内侧，且形成第一透镜；第二透镜线圈，其配置于第二磁极片的外侧且形成第二透镜；以及控制电极，其形成于第一磁极片的前端部与第二磁极片的前端部之间，且控制形成于试样与第二磁极片的前端部之间的电场。
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公开(公告)号：CN102308357B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201080006680.8
申请日：2010-01-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/18 , H01J37/244 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/244 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01J2237/2605
Abstract: 本发明的扫描带电粒子束装置包括样品室(8)和检测器，上述检测器兼具如下功能：在上述样品室被控制为低真空(1Pa～3000Pa)时，对由气体闪烁的发光现象得到的具有图像信息的光(17)中的、至少从真空紫外区域到可见光区域的光进行检测；对由电子和气体分子的级联放大而得到的具有图像信息的离子电流(11、13)进行检测。由此，能够实现能够应对各种样品的观察的装置，而且，通过设计上述检测部的最佳结构，能够对得到的图像赋予附加价值，将该观察图像提供给多种领域的利用者。另外，通过与高真空用检测器一起使用上述检测器，能够与真空模式无关地向各领域的利用者提供图像。
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公开(公告)号：CN103871811A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201410087769.1
申请日：2010-01-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/244 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01J2237/2605
Abstract: 本发明的扫描带电粒子束装置包括样品室（8）和检测器，上述检测器兼具如下功能：在上述样品室被控制为低真空（1Pa～3000Pa）时，对由气体闪烁的发光现象得到的具有图像信息的光（17）中的、至少从真空紫外区域到可见光区域的光进行检测；对由电子和气体分子的级联放大而得到的具有图像信息的离子电流（11、13）进行检测。由此，能够实现能够应对各种样品的观察的装置，而且，通过设计上述检测部的最佳结构，能够对得到的图像赋予附加价值，将该观察图像提供给多种领域的利用者。另外，通过与高真空用检测器一起使用上述检测器，能够与真空模式无关地向各领域的利用者提供图像。
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