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公开(公告)号：CN105144336B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201480023185.6
申请日：2014-04-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/073 , H01J27/26 , H01J37/06 , H01J37/063 , H01J37/08 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/073 , H01J27/02 , H01J27/26 , H01J29/481 , H01J37/06 , H01J37/063 , H01J37/08 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/062 , H01J2237/06341 , H01J2237/06375 , H01J2237/0802 , H01J2237/1508 , H01J2237/2007 , H01J2237/2801
Abstract: 本申请的目的是提供仅使用静电透镜的比较小型而像差小的带电粒子枪，并提供在大电流下也具有高亮度的场发射型带电粒子枪。带电粒子枪具有：带电粒子源；加速电极，其使从带电粒子源发射的带电粒子加速；控制电极，其配置在比加速电极靠近带电粒子源侧且具有比加速电极的开口直径大的开口直径；以及控制部，其根据施加于加速电极的电位对施加于控制电极的电位进行控制。
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公开(公告)号：CN105144336A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201480023185.6
申请日：2014-04-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/073 , H01J27/26 , H01J37/06 , H01J37/063 , H01J37/08 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/073 , H01J27/02 , H01J27/26 , H01J29/481 , H01J37/06 , H01J37/063 , H01J37/08 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/062 , H01J2237/06341 , H01J2237/06375 , H01J2237/0802 , H01J2237/1508 , H01J2237/2007 , H01J2237/2801
Abstract: 本申请的目的是提供仅使用静电透镜的比较小型而像差小的带电粒子枪，并提供在大电流下也具有高亮度的场发射型带电粒子枪。带电粒子枪具有：带电粒子源；加速电极，其使从带电粒子源发射的带电粒子加速；控制电极，其配置在比加速电极靠近带电粒子源侧且具有比加速电极的开口直径大的开口直径；以及控制部，其根据施加于加速电极的电位对施加于控制电极的电位进行控制。
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公开(公告)号：CN111556963B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN201880085337.3
申请日：2018-03-27
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/2251 , H01J37/244 , H01J37/28
Abstract: 本发明的扫描电子显微镜具备：自旋检测器，其测定从试样释放的二次电子自旋极化；分析装置，其对上述自旋检测器的测定数据进行分析。在上述测定数据中，上述分析装置确定上述二次电子自旋极化局部性变化的区域的宽度。并且，上述分析装置根据上述区域的宽度，对上述试样的应变进行评价。通过上述扫描电子显微镜的结构，能够在磁性材料中高精度地进行应变的分析。
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公开(公告)号：CN103733299A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201280039396.X
申请日：2012-05-28
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/04 , H01J37/244 , H01J2237/2443 , H01J2237/2444 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2804 , H01J2237/2806
Abstract: 本发明提供一种扫描电子显微镜，为了提供即便是低探针电流也能辨别检测反射电子和二次电子的低加速的扫描电子显微镜而具备：电子枪(29)、光阑(26)、样品台(3)、用于将电子束(31)会聚于样品(2)上的电子光学系统(4-1)、偏转部件(10)、二次电子检测器(8)、反射电子检测器(9)、和处于电子枪(29)与样品(2)之间的位置处的筒状的电子输送部件(5)，反射电子检测器(9)设置在电子输送部件(5)的内部、且与二次电子检测器(8)以及偏转部件(10)相比更靠电子枪(29)的远方侧，反射电子检测器(9)的感受面(9-1)在电气上被布线成与电子输送部件(5)相同电位。
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公开(公告)号：CN112106166A
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN201880093381.9
申请日：2018-05-21
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J1/34 , H01J37/073
Abstract: 在光激发电子源中，在以透过具有特定的厚度和折射率的透明基板为前提设计成最适合的聚光透镜中，若透明基板不同，就不能使激发光的焦点良好地形成在光电膜上。因此，在光电阴极(1)与聚光透镜(2)之间，配置在激发光的波长下具有与光电阴极的基板的折射率相等的折射率的光球面像差校正板(21)。或者，设置使向聚光透镜照射的平行光发散或会聚的光球面像差校正器(20)。由此，可抑制电子束的闪耀，能实现光激发电子源的高亮度化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111108579A
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201780094839.8
申请日：2017-09-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/05 , H01J37/12 , H01J37/141 , H01J37/147 , H01J37/28
Abstract: 本发明提供不应用减速法的扫描电子显微镜，其抑制因BSE而激发的SE3的检测量，具备针对在样品上产生的SE1的能量筛选检测功能。该扫描电子显微镜具有：电子光学系统，其具有产生照射电子束的电子源(21)和使照射电子束会聚于样品上的物镜(12)；检测器(13)，其配置于电子光学系统的光轴外，检测因照射电子束照射至样品而产生的信号电子；偏转电极，其形成将信号电子引导至检测器的偏转场(26)；圆盘状电极(23)，其配置于比偏转场靠电子源侧，具有使照射电子束穿过的开口部；以及控制电极，其在比偏转场靠样品侧沿光轴配置，样品及物镜被设为基准电位，对圆盘状电极施加比基准电位低的电位，对控制电极施加比基准电位高的电位。
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公开(公告)号：CN110431649B
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN201780088310.5
申请日：2017-03-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/12 , H01J37/153 , H01J37/28
Abstract: 带电粒子束装置具备：带电粒子源，其射出带电粒子束；助推电极，其配置于带电粒子源与试样之间，形成带电粒子束的通路，并且对上述带电粒子束进行加减速；第一磁极片，其形成为覆盖助推电极；第二磁极片，其形成为覆盖第一磁极片；第一透镜线圈，其配置于第一磁极片的外侧，并且配置于上述第二磁极片的内侧，且形成第一透镜；第二透镜线圈，其配置于第二磁极片的外侧且形成第二透镜；以及控制电极，其形成于第一磁极片的前端部与第二磁极片的前端部之间，且控制形成于试样与第二磁极片的前端部之间的电场。
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公开(公告)号：CN111108579B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN201780094839.8
申请日：2017-09-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/05 , H01J37/12 , H01J37/141 , H01J37/147 , H01J37/28
Abstract: 本发明提供不应用减速法的扫描电子显微镜，其抑制因BSE而激发的SE3的检测量，具备针对在样品上产生的SE1的能量筛选检测功能。该扫描电子显微镜具有：电子光学系统，其具有产生照射电子束的电子源(21)和使照射电子束会聚于样品上的物镜(12)；检测器(13)，其配置于电子光学系统的光轴外，检测因照射电子束照射至样品而产生的信号电子；偏转电极，其形成将信号电子引导至检测器的偏转场(26)；圆盘状电极(23)，其配置于比偏转场靠电子源侧，具有使照射电子束穿过的开口部；以及控制电极，其在比偏转场靠样品侧沿光轴配置，样品及物镜被设为基准电位，对圆盘状电极施加比基准电位低的电位，对控制电极施加比基准电位高的电位。
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公开(公告)号：CN111556963A
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN201880085337.3
申请日：2018-03-27
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/2251 , H01J37/244 , H01J37/28
Abstract: 本发明的扫描电子显微镜具备：自旋检测器，其测定从试样释放的二次电子自旋极化；分析装置，其对上述自旋检测器的测定数据进行分析。在上述测定数据中，上述分析装置确定上述二次电子自旋极化局部性变化的区域的宽度。并且，上述分析装置根据上述区域的宽度，对上述试样的应变进行评价。通过上述扫描电子显微镜的结构，能够在磁性材料中高精度地进行应变的分析。
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公开(公告)号：CN105340051A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201480036932.X
申请日：2014-07-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/22 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/0475 , H01J2237/103 , H01J2237/1534 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448
Abstract: 本发明的扫描电子显微镜具备：在电子束(5)通过物镜时使上述电子束减速的减速机构；配置于上述电子源与上述物镜之间且具有相对于上述电子束的光轴而轴对称的形状的感受面的第一检测器(8)以及第二检测器(7)。上述第一检测器设置在比上述第二检测器靠试样侧，专门对通过减速电场型能量过滤器(9A)后的高能量的信号电子进行检测。若将上述物镜的试样侧的前端部(13)与上述第一检测器的感受面之间的距离设为L1，并将上述物镜的上述试样侧的前端部与上述第二检测器的感受面之间的距离设为L2，则L1/L2≤5/9。由此，扫描式电子显微镜中，当应用减速法而进行低加速观察时，能够在几百倍程度的低倍率至十万倍以上的高倍率的大倍率范围内无阴影的影响地检测信号电子。并且，能够高效率地检测与二次电子相比产生量少的背向散射电子。
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