公开(公告)号：CN102484025B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201080035234.X

申请日：2010-07-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 平户达也 ,  小室浩之 ,  川俣茂

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/153 ,  H01J37/22

CPC classification number: H01J37/28 ,  A61B6/022 ,  G02B27/2207 ,  G02B27/2214 ,  H01J37/1478 ,  H01J37/153 ,  H01J2237/2611

Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，其具有带电粒子源、对从带电粒子源放出的一次带电粒子束(3)进行聚焦的物镜(12)、在试样上扫描一次带电粒子束(3)的扫描偏转器(11)、检测通过一次带电粒子束的扫描而从试样发生的信号粒子的检测器，使用检测器的信号粒子取得试样图像，所述带电粒子束装置的特征在于，具备：使一次带电粒子束向试样的照射角偏转的偏转器(10)；使电流流过偏转器的独立的第一以及第二电源(24、36)；以及以一次带电粒子束的扫描的一行单位或一帧单位切换从两个电源施加的电压的开关(34)。

公开(公告)号：CN102484025A

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN201080035234.X

申请日：2010-07-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 平户达也 ,  小室浩之 ,  川俣茂

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/153 ,  H01J37/22

CPC classification number: H01J37/28 ,  A61B6/022 ,  G02B27/2207 ,  G02B27/2214 ,  H01J37/1478 ,  H01J37/153 ,  H01J2237/2611

Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，其具有带电粒子源、对从带电粒子源放出的一次带电粒子束(3)进行聚焦的物镜(12)、在试样上扫描一次带电粒子束(3)的扫描偏转器(11)、检测通过一次带电粒子束的扫描而从试样发生的信号粒子的检测器，使用检测器的信号粒子取得试样图像，所述带电粒子束装置的特征在于，具备：使一次带电粒子束向试样的照射角偏转的偏转器(10)；使电流流过偏转器的独立的第一以及第二电源(24、36)；以及以一次带电粒子束的扫描的一行单位或一帧单位切换从两个电源施加的电压的开关(34)。

公开(公告)号：CN305641186S

公开(公告)日：2020-03-13

申请号：CN201930402753.9

申请日：2019-07-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Designer： 小岛昭 ,  保刈纯平 ,  山本俊 ,  茅根范育 ,  平户达也

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：电子显微镜用控制器。
2.本外观设计产品的用途：本产品为一种电子显微镜用控制器，其用于将人的操作或指示传达给电子显微镜。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
5.在标示出各部名称参考图中，D‑操作旋钮，E‑操作模式切换按钮，F‑操作模式状态显示灯。
其中，斜线所示的E部及F部为透光性材质。

公开(公告)号：CN305261086S

公开(公告)日：2019-07-16

申请号：CN201930057638.2

申请日：2019-01-31

Applicant: 株式会社日立高新技术

Designer： 小岛昭 ,  保刈纯平 ,  增田蓝 ,  山本俊 ,  茅根范育 ,  平户达也

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：电子显微镜用架台。
2．本外观设计产品的用途：本产品为一种电子显微镜用架台。
如使用状态参考图1所示，本产品与镜筒、实验室的电子显微镜主体共同使用构成电子显微镜。
3．本外观设计产品的设计要点：如立体图所示内容最能体现本外观设计产品的设计要点。
4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。
5．在示出各部名称参考图中，B‑指示灯，C‑电源钥匙开关，D‑操作开关。
其中，斜线所示的B部及D部为透光性材质。
在使用状态参考图1中，E‑本外观设计产品。